公开(公告)号：KR101905618B1

公开(公告)日：2018-10-10

申请号：KR1020147029380

申请日：2013-03-20

Applicant: 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.

Inventor： 크루트,피터 ,  스미츠,마크

IPC: G03F7/20 ,  H01J37/32 ,  H01J37/317 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01J37/3174 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  F15D1/025 ,  G03F7/70925 ,  G21K2201/06 ,  H01J9/38 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3177 ,  H01J37/32862 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/327 ,  Y10T137/2082 ,  Y10T137/87571

Abstract: 본발명은라디칼들을운반하기위한배열체에관한것이다. 이배열체는플라즈마발생기및 안내본체를포함한다. 플라즈마발생기는내부에플라즈마가형성될수 있는챔버(2)를포함한다. 챔버는입력가스를수용하기위한유입구(5) 및플라즈마및 그안에생성된라디칼들을중 하나이상의제거를위한하나또는둘 이상의유출구(6)들을갖는다. 안내본체는중공형이고플라즈마내에형성된라디칼들을오염물질퇴적물이제거될영역또는용적을향하여안내하기위해배열된다. 챔버유입구는안내몸체내에유동을생성하도록챔버내로펄스형압력을제공하기위한압력장치(40)에커플링된다.

公开(公告)号：KR101258927B1

公开(公告)日：2013-04-29

申请号：KR1020117011759

申请日：2009-10-27

Applicant: 캐논 가부시끼가이샤

Inventor： 오우치치다네 ,  이토히데노스케 ,  나가이켄타로 ,  덴토루

IPC: G01N23/04 ,  A61B6/00

CPC classification number: G06T7/0002 ,  A61B6/4291 ,  A61B6/484 ,  G01J9/02 ,  G01N23/04 ,  G01N23/20075 ,  G01N2223/401 ,  G21K1/06 ,  G21K2201/06 ,  G21K2201/067

Abstract: 적어도 1회의 촬상으로부터, 피검체의 미분 위상상 또는 위상상을 취득할 수 있는 X선 촬상장치 및 X선 촬상방법을 제공한다. 본 발명에 따른 X선 촬상장치는, 위상격자(130)와 흡수 격자(150)와 검출기(170)와 연산장치(180)를 가진다. 연산장치(180)는, 검출기에서 취득한 모아레의 강도분포를 푸리에 변환함에 의해, 공간주파수 스펙트럼을 취득하는 푸리에 변환 공정을 실행한다. 또한, 푸리에 변환 공정에 의해 얻어진 공간주파수 스펙트럼으로부터, 캐리어 주파수에 대응한 스펙트럼을 분리하고, 역 푸리에 변환을 사용해서 미분 위상상을 취득하는 위상회복공정을 실행한다.

公开(公告)号：KR1020110079742A

公开(公告)日：2011-07-07

申请号：KR1020117011759

申请日：2009-10-27

Applicant: 캐논 가부시끼가이샤

Inventor： 오우치치다네 ,  이토히데노스케 ,  나가이켄타로 ,  덴토루

IPC: G01N23/04 ,  A61B6/00

CPC classification number: G06T7/0002 ,  A61B6/4291 ,  A61B6/484 ,  G01J9/02 ,  G01N23/04 ,  G01N23/20075 ,  G01N2223/401 ,  G21K1/06 ,  G21K2201/06 ,  G21K2201/067

Abstract: An X-ray imaging apparatus and an X-ray imaging method that can acquire a differential phase image or a phase image of a subject by at least a single imaging operation are provided. The X-ray imaging apparatus according to the present invention includes a phase grating 130, an absorption grating 150, a detector 170, and an arithmetic unit 180. The arithmetic unit 180 executes a Fourier transform step of performing Fourier transform for an intensity distribution of a Moiré acquired by the detector, and acquiring a spatial frequency spectrum. Also, the arithmetic unit 180 executes a phase retrieval step of separating a spectrum corresponding to a carrier frequency from a spatial frequency spectrum acquired in the Fourier transform step, performing inverse Fourier transform for the separated spectrum, and acquiring a differential phase image.

公开(公告)号：KR100626264B1

公开(公告)日：2006-09-21

申请号：KR1020040074099

申请日：2004-09-16

Applicant: 캐논 가부시끼가이샤

Inventor： 쯔지도시히코

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70075 ,  G03F7/70083 ,  G03F7/702 ,  G21K2201/06

Abstract: 본 발명은 종래보다 마스크를 조명하는 광의 각도분포가 균일한 조명광학계 및 이것을 이용한 노광장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것으로, 피처리체면을 조명하는 조명광학계는, 광원부로부터의 광을 대략 평행한 광으로 변환하는 광학계를 구비하고, 상기 광학계는 제 1미러와 제 2미러를 가지며, 상기 제 1미러는 상기 제 2미러로 반사하는 광이 통과하는 개구부를 가진 것을 특징으로 하는 구성으로 하였다.

公开(公告)号：KR101193916B1

公开(公告)日：2012-10-29

申请号：KR1020077021531

申请日：2006-02-24

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 보워링노보트알. ,  한손브존에이.,엠. ,  바이카노프알렉산더엔. ,  코디킨올레 ,  엘쇼프알렉산더아이. ,  파틀로윌리엄엔.

IPC: H05G2/00 ,  H05H1/00

CPC classification number: G03F7/70925 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/70916 ,  G21K2201/06 ,  H05G2/001

Abstract: 플라즈마 형성에 의해 발생된 파편으로부터 EUV 광원 플라즈마 생성 챔버 광소자 표면을 보호하기 위한 시스템 및 방법이 개시되어 있다. 본 발명의 하나의 실시예에서, 쉴드가 개시되어 있는데 이것은 광소자와 플라즈마 형성 사이트 사이에서 위치된 적어도 하나의 중공 튜브를 포함하고 있다. 튜브는 파편을 포착하는 한편 비교적 작은 각도로 반사를 통해 튜브의 루멘을 광이 통과하도록 향해 있다. 본 발명의 다른 실시예에서, 쉴드는 쉴드에 퇴적된 파편 재료의 하나 이상의 종을 제거하기에 충분한 온도로 가열되도록 개시되어 있다. 본 발명의 다른 실시예에서, 쉴드가 광원 플라즈마 챔버로부터 쉴드가 청소되는 크리닝 챔버까지 움직이는 시스템이 개시되어 있다.
플라즈마, 파편, EUV 광원, 플라즈마 생성 챔버, 광소자, 쉴드, 플라즈마 형성 사이트, 광 통로

公开(公告)号：KR1020090010216A

公开(公告)日：2009-01-29

申请号：KR1020087028689

申请日：2008-03-26

Applicant: 가부시끼가이샤 도시바 ,  도시바 덴시칸 디바이스 가부시키가이샤

Inventor： 요시다아츠야 ,  호리우치히로시

IPC: G21K4/00 ,  G01T1/20 ,  H01L27/14 ,  H04N5/32

CPC classification number: G01T1/202 ,  C09K11/613 ,  C09K11/7733 ,  G21K4/00 ,  G21K2201/06

Abstract: A resin reflecting sheet (13) is bonded on one surface of a supporting substrate (12) which transmits radiation, and a resin sheet (14) made of a same material as that of the resin reflecting sheet (13) is bonded on the other surface of the supporting substrate (12). A fluorescent layer (15), which converts radiation into visible light is formed on the resin reflecting sheet (13) on the one surface of the supporting substrate (12). The fluorescent layer (15) is surrounded by a moisture prevention layer (17) covering the fluorescent layer (15) and the resin reflecting sheet (13). By arranging the resin reflecting sheet (13) between the supporting substrate (12) and the fluorescent layer (15), a scintillator panel (11) having high sensitivity characteristics and stable qualities can be provided at a lower cost.

Abstract translation: 树脂反射片（13）接合在透射辐射的支撑基板（12）的一个表面上，并且由与树脂反射片（13）相同的材料制成的树脂片（14） 支撑基板（12）的表面。 在支撑基板（12）的一个表面上的树脂反射片（13）上形成将辐射转换为可见光的荧光层（15）。 荧光层（15）由覆盖荧光层（15）和树脂反射片（13）的防湿层（17）包围。 通过将树脂反射片（13）配置在支撑基板（12）和荧光层（15）之间，可以以较低的成本提供具有高灵敏度特性和稳定品质的闪烁体面板（11）。

公开(公告)号：KR1020050028848A

公开(公告)日：2005-03-23

申请号：KR1020040074612

申请日：2004-09-17

Applicant: 캐논 가부시끼가이샤

Inventor： 쯔지도시히코

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/702 ,  G21K2201/06

Abstract: Provided are an exposure apparatus to make the imaging system between an aperture prescribing the region to be illuminated and a reticle be clear, and a method for preparing a device. The exposure apparatus comprises an illumination optical system which illuminates the pattern of a reflective mask by using the light from a light source and comprises a visual field iris prescribing the region illuminated on the reflective mask and having an aperture part, an imaging optical system of a co-axis optical system allowing the light from the aperture of the iris to be towards the reflective mask, and a projection optical system projecting the pattern of the reflective mask on a substrate, wherein the main light of the imaging system of the reflective mask forms a tilt angle to the co-axis of the co-axis optical system and the tilt angle is almost equal to the angle between the main light of the projection optical system at the reflective mask and the normal of the surface of the reflective mask..

Abstract translation: 提供了一种使成像系统在规定要照明的区域和掩模版清晰的孔之间的曝光装置，以及准备装置的方法。 曝光装置包括照明光学系统，其通过使用来自光源的光照亮反射掩模的图案，并且包括规定在反射掩模上照射的区域并具有开口部分的视场光圈，成像光学系统 同轴光学系统，允许来自虹膜的孔的光朝向反射掩模;以及投影光学系统，将反射掩模的图案投影在基板上，其中反射掩模的成像系统的主光线形成 与同轴光学系统的同轴的倾斜角和倾斜角几乎等于反射掩模上的投影光学系统的主光与反射掩模的表面的法线之间的角度。

公开(公告)号：KR1020030072319A

公开(公告)日：2003-09-13

申请号：KR1020037001587

申请日：2001-07-20

Applicant: 이유브이 리미티드 라이어빌러티 코포레이션

Inventor： 스웨트,윌리엄씨. ,  티체노,다니엘에이. ,  버나데즈,루이스제이.

IPC: G02B5/20

CPC classification number: G03F7/70158 ,  G02B27/30 ,  G03F7/70066 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/70875 ,  G21K1/06 ,  G21K1/10 ,  G21K2201/06 ,  G21K2201/064 ,  G21K2201/067

Abstract: 복사 빔을 발생시키는 응축기 시스템은 복사선 연속스펙트럼을 발생하는 복사선 소스; 복사선 소스로부터 복사선을 수집하고 복사 빔을 생성하기 위한 하나 이상의 일차 광학 부재; 및 복사선 연속 스펙트럼으로부터 특정 파장을 갖는 복사선을 일차로 분리하는 회절 분광 필터를 포함한다. 발생된 열을 제거하기 위하여 냉각 장치가 사용될 수 있다. 응축기 시스템은 프로젝션 리소그라피에서 링필드 카메라와 함께 사용할 수 있다.

公开(公告)号：NL2010488C

公开(公告)日：2014-10-21

申请号：NL2010488

申请日：2013-03-20

Applicant: MAPPER LITHOGRAPHY IP BV

Inventor： KRUIT PIETER ,  SMITS MARC

IPC: G03F7/20 ,  H01J37/317 ,  H01J37/32 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01J37/3174 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  F15D1/025 ,  G03F7/70925 ,  G21K2201/06 ,  H01J9/38 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3177 ,  H01J37/32862 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/327 ,  Y10T137/2082 ,  Y10T137/87571

公开(公告)号：US20160125968A1

公开(公告)日：2016-05-05

申请号：US14530426

申请日：2014-10-31

Applicant: Geraldine M. Hamilton

Inventor： Geraldine M. Hamilton

IPC: G21K4/00

CPC classification number: G21K4/00 ,  G21K2004/06 ,  G21K2004/12 ,  G21K2201/06

Abstract: An intensifying screen for exposing X-ray film includes a screen support backing, a luminescent layer having a luminescent material that emits light in the presence of X-rays, and a reflective layer disposed between the luminescent layer and the screen support backing, the reflective layer including a plurality of micro-prisms that reflect light emitted by the luminescent material. An X-ray film cassette includes at least one intensifying screen and a housing surrounding the at least one intensifying screen.

Abstract translation: 用于曝光X射线胶片的增强屏幕包括屏幕支撑背衬，具有在存在X射线的情况下发光的发光材料的发光层和设置在发光层和屏幕支撑背衬之间的反射层，反射 层包括反射由发光材料发射的光的多个微棱镜。 X射线胶片盒包括至少一个增强屏幕和围绕至少一个增强屏幕的壳体。