웨이퍼 가공 방법
    142.
    发明公开
    웨이퍼 가공 방법 审中-实审
    WAFER加工方法

    公开(公告)号:KR1020140049343A

    公开(公告)日:2014-04-25

    申请号:KR1020120115487

    申请日:2012-10-17

    Abstract: The technical idea of the present invention is to prevent the breakage of a device wafer in the backside grinding process of the device wafer and its post process, and provides a wafer processing method for preventing contamination due to adhesive in a grinding process and a post process. The wafer processing method includes a step of bonding a wafer onto a carrier wafer by using the adhesive in order to make the wafer face the carrier wafer; a step of cutting the carrier wafer, the adhesive, and the edge part of the wafer with a preset angle with regard to the backside of the wafer and performing a cutting process for making the backside of the wafer and the cutting side inclined. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S110) Bonding a wafer onto a carrier wafer; (S120) Cutting the carrier wafer, the adhesive, and the edge part of the wafer with a preset angle; (S130) Grinding the backside of the device wafer; (S140) Performing next processes on the device wafer; (S150) Detaching the carrier wafer and the adhesive from the device wafer

    Abstract translation: 本发明的技术思想是防止在器件晶片及其后工序的背面研磨工艺中器件晶片的破损,并且提供了用于在研磨过程和后处理中防止由粘合剂引起的污染的晶片加工方法 。 晶片处理方法包括通过使用粘合剂将晶片接合到载体晶片上以使晶片面向载体晶片的步骤; 相对于晶片的背面以预定角度切割晶片的载体晶片,粘合剂和边缘部分的步骤,并且执行用于使晶片的背面和切割侧倾斜的切割工艺。 (附图标记)(AA)开始; (BB)结束; (S110)将晶片接合到载体晶片上; (S120)以预设角度切割载体晶片,粘合剂和晶片的边缘部分; (S130)研磨器件晶片的背面; (S140)在器件晶片上进行下一步处理; (S150)从装置晶片分离载体晶片和粘合剂

    H2 원격 플라즈마 처리를 이용한 반도체 소자의 콘택플러그 형성방법
    144.
    发明授权
    H2 원격 플라즈마 처리를 이용한 반도체 소자의 콘택플러그 형성방법 有权
    使用H2远程等离子体处理形成半导体器件接触插塞的方法

    公开(公告)号:KR101225642B1

    公开(公告)日:2013-01-24

    申请号:KR1020070116762

    申请日:2007-11-15

    CPC classification number: H01L21/76843 H01L21/7684 H01L21/76862

    Abstract: 반도체 소자의 콘택 플러그 형성방법을 개시한다. 본 발명에 의한 반도체 소자의 콘택 플러그 형성방법은 하부 구조가 형성된 반도체 기판 상에 층간 절연막을 형성하는 단계; 상기 층간 절연막에 상기 하부 구조와 연결되는 콘택홀을 형성하는 단계; 상기 콘택홀 내에 W/WN의 장벽층을 순차적으로 형성하는 단계; 상기 W/WN의 장벽층을 H2 원격 플라즈마로 처리하는 단계; 상기 H2 원격 플라즈마로 처리된 W/WN의 장벽층 위에 상기 콘택홀을 채우도록 플러그 W을 증착하는 단계; 및 상기 층간 절연막이 노출되도록 상기 플러그 W 및 상기 W/WN 장벽층을 순차적으로 CMP 하는 단계;를 포함한다. W/WN의 장벽층을 H2 원격 플라즈마로 처리하여 불순물을 제거하여 함으로써 플러그 W의 CMP시 사용되는 습식 화학 물질에 대한 장벽층 W의 식각 선택비를 높여서 장벽층 W가 습식 화학 물질에 녹아서 콘택 플러그가 콘택홀로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
    콘택 플러그, H2 원격 플라즈마, W/WN의 장벽층, CMP, 습식 화학 물질

    반도체 소자의 게이트 전극의 형성 방법
    145.
    发明公开
    반도체 소자의 게이트 전극의 형성 방법 有权
    在半导体器件中形成栅极电极的方法

    公开(公告)号:KR1020100002828A

    公开(公告)日:2010-01-07

    申请号:KR1020080062866

    申请日:2008-06-30

    Abstract: PURPOSE: A method of forming a gate electrode in a semiconductor device is provided to prevent a void in an inter insulating layer by using a hard mask pattern as a sacrificed pattern for forming a final control gate. CONSTITUTION: A tunnel insulating layer, a first silicon layer for floating gate, an insulating layer(115), a second silicon layer for a control gate, a hard mask layer are laminated on a semiconductor substrate. A first interlayer insulating film(120) is formed so that an upper part of the hard mask layer between a plurality of laminating structures is exposed. The hard mask layer having an upper part exposed to the outside is etched selectively.

    Abstract translation: 目的:提供一种在半导体器件中形成栅电极的方法,以通过使用硬掩模图案作为用于形成最终控制栅极的牺牲图案来防止绝缘层中的空隙。 构成:在半导体基板上层叠隧道绝缘层,浮栅用第一硅层,绝缘层(115),第二控制栅极硅层,硬掩模层。 第一层间绝缘膜(120)被形成为使得多个层压结构之间的硬掩模层的上部被暴露。 选择性地蚀刻具有暴露于外部的上部的硬掩模层。

    액정 표시 장치
    146.
    发明授权
    액정 표시 장치 有权
    液晶显示器

    公开(公告)号:KR100920351B1

    公开(公告)日:2009-10-07

    申请号:KR1020030005442

    申请日:2003-01-28

    Inventor: 박종국 박진호

    Abstract: 화상을 표시하는 액정 표시 패널; 액정 표시 패널의 화상 표시에 필요한 하나 이상의 전원을 공급하는 전원부; 전원부와 전원 배선 및 접지선에 의해 연결되며 소정의 화상을 표시하도록 제어하는 화상 구동부; 화상 구동부와 연결되며, 외부로부터 제공되는 화상 신호를 액정 표시 패널에 적합한 신호 형태로 변환하여 화상 구동부에 제공하는 신호 처리부를 포함하고, 화상 구동부의 각각의 소스 드라이브 IC에 전원 배선이 병렬로 연결되어 있고, 화상 구동부의 각각의 소스 드라이브 IC에 접지선이 병렬로 연결되어 있는 액정 표시 장치.
    전원 배선, 접지선, 그라운드, EMI

    Abstract translation: 一种用于显示图像的液晶显示面板; 电源单元,用于供应液晶显示面板的图像显示所需的至少一个电源; 图像驱动单元,连接到电源单元,电源线和地线以控制预定图像的显示; 被连接到图像驱动单元,将从外部提供到适于液晶显示面板和在图像驱动提供了一种信号处理单元的信号形式的图像信号转换,电源线被并联连接到各个源的驱动图像驱动器的IC 并且地线与图像驱动器的各个源驱动IC并联连接。

    잉크젯 화상형성장치 및 잉크 유동 제어방법
    147.
    发明公开
    잉크젯 화상형성장치 및 잉크 유동 제어방법 有权
    喷墨打印机和墨水控制方法

    公开(公告)号:KR1020090043197A

    公开(公告)日:2009-05-06

    申请号:KR1020070108919

    申请日:2007-10-29

    CPC classification number: B41J2/175 B41J2/17513 B41J2/17596

    Abstract: 개시된 본 발명에 의한 잉크젯 화상형성장치는 잉크를 분사하는 복수의 노즐을 갖는 프린트헤드와, 잉크를 저장하는 잉크탱크와, 잉크탱크의 잉크를 프린트헤드로 공급하기 위한 잉크공급유로와, 프린트헤드의 잉크를 잉크탱크로 회수하기 위한 잉크회수유로와, 프린트헤드로 공급되는 잉크의 유동을 조절하기 위해 잉크공급유로 상에 설치는 레귤레이터와, 레귤레이터로 공급되는 잉크의 유동을 차단할 수 있도록 잉크공급유로 상의 잉크탱크와 레귤레이터의 사이에 설치되는 유로차단밸브와, 잉크회수유로 상에 설치되고 잉크회수유로의 잉크를 강제 유동시키되 잉크의 유동 방향을 바꿀 수 있도록 정방향 운전 및 역방향 운전이 가능한 잉크펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명에 의한 잉크젯 화상형성장치는 유로차단밸브가 잉크공급유로 내의 잉크 유동을 강제로 차단함으로써, 잉크탱크의 잉크가 비정상적으로 프린트헤드로 유동하여 프린트헤드에서 잉크가 누출되는 문제가 줄어든다.
    잉크젯, 잉크공급유로, 잉크회수유로, 유로차단밸브, 잉크펌프

    잉크 공급/차단장치 및 화상형성장치
    148.
    发明公开
    잉크 공급/차단장치 및 화상형성장치 无效
    墨汁供应/密封装置及其形成装置

    公开(公告)号:KR1020080069388A

    公开(公告)日:2008-07-28

    申请号:KR1020070007045

    申请日:2007-01-23

    CPC classification number: B41J29/38 B41J2/175

    Abstract: An ink supplying/sealing apparatus and an image forming apparatus having the same are provided to prevent ink from leaking through a print head by blocking the movement of ink by sealing an ink supply tube while a printing operation is not performed. An ink supplying/sealing apparatus supplies and intercepts ink of an ink tank(100) to a channel unit(200) supported by a print head. A negative pressure generation unit(310) supplies the ink with a predetermined amount to the print head through the channel unit by generating the negative pressure to the print head. An ink supplying tube(330) connects the negative pressure generation unit to the ink tank. A sealing unit(340) selectively intercepts and opens the ink supplying tube. A sensor detects the operation state of the sealing unit.

    Abstract translation: 提供一种墨水供应/密封装置和具有该墨水供应/密封装置的图像形成装置,以防止在不执行打印操作时通过密封墨水供给管来阻止墨水的移动而导致墨水泄漏通过打印头。 墨水供应/密封装置将油墨罐(100)的墨水供给并拦截到由打印头支撑的通道单元(200)。 负压产生单元(310)通过向打印头产生负压,通过通道单元向打印头供应预定量的墨水。 供墨管(330)将负压产生单元连接到墨罐。 密封单元(340)选择性地拦截并打开供墨管。 传感器检测密封单元的操作状态。

    표시 장치
    149.
    发明公开
    표시 장치 无效
    显示设备

    公开(公告)号:KR1020080052902A

    公开(公告)日:2008-06-12

    申请号:KR1020060124664

    申请日:2006-12-08

    Inventor: 박진호

    Abstract: A display apparatus is provided to radiate heat of a light emitting diode easily by changing a structure of a radiating member so as to improve an operation property of the light emitting diode. A display apparatus includes a display panel and at least one light source unit(50). The light source unit is applied to supply the light to the display panel. The light source unit includes a light emitting diode(52) and a printed circuit board(54). The light emitting diode radiates the light. The printed circuit board has a pattern(154) to transmit a driving signal to the light emitting diode. The light emitting diode includes a radiating member and the radiating member is coupled with the printed circuit board integrally. The light emitting diode has a light emitting diode chip, a lens(58), a frame(60), a first lead member(62), a second lead member(64), and the radiating member.

    Abstract translation: 提供了一种显示装置,通过改变散热构件的结构容易地散发发光二极管的热量,从而改善发光二极管的操作性能。 显示装置包括显示面板和至少一个光源单元(50)。 应用光源单元将光提供给显示面板。 光源单元包括发光二极管(52)和印刷电路板(54)。 发光二极管照射光。 印刷电路板具有将驱动信号传输到发光二极管的图案(154)。 发光二极管包括散热构件,散热构件与印刷电路板一体地连接。 发光二极管具有发光二极管芯片,透镜(58),框架(60),第一引线构件(62),第二引线构件(64)和散热构件。

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