Abstract:
The technical idea of the present invention is to prevent the breakage of a device wafer in the backside grinding process of the device wafer and its post process, and provides a wafer processing method for preventing contamination due to adhesive in a grinding process and a post process. The wafer processing method includes a step of bonding a wafer onto a carrier wafer by using the adhesive in order to make the wafer face the carrier wafer; a step of cutting the carrier wafer, the adhesive, and the edge part of the wafer with a preset angle with regard to the backside of the wafer and performing a cutting process for making the backside of the wafer and the cutting side inclined. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S110) Bonding a wafer onto a carrier wafer; (S120) Cutting the carrier wafer, the adhesive, and the edge part of the wafer with a preset angle; (S130) Grinding the backside of the device wafer; (S140) Performing next processes on the device wafer; (S150) Detaching the carrier wafer and the adhesive from the device wafer
Abstract:
본 발명은 마찰롤러를 이용하여 구동롤러의 동력을 피동롤러로 전달하는 동력전달장치를 개시한다. 본 발명은 구동롤러; 상기 구동롤러와 일정 간격을 두고 배치된 피동롤러; 및 상기 구동롤러의 동력을 상기 피동롤러로 전달하는 마찰롤러;를 포함하며, 상기 마찰롤러는 상기 구동롤러와 상기 피동롤러의 센터라인 위에 위치된 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 구동롤러와 피동롤러의 회전에 의해 마찰롤러가 두 롤러 사이에 끼여 동력을 전달함으로써 별도의 가압스프링이 필요없는 등 구조가 간단하면서도 동력 손실이 거의 없는 동력전달장치를 제공할 수 있다. 동력, 전달, 마찰, 롤러, 화상, 형성, 배지, 장치, 풀리, 이송
Abstract:
반도체 소자의 콘택 플러그 형성방법을 개시한다. 본 발명에 의한 반도체 소자의 콘택 플러그 형성방법은 하부 구조가 형성된 반도체 기판 상에 층간 절연막을 형성하는 단계; 상기 층간 절연막에 상기 하부 구조와 연결되는 콘택홀을 형성하는 단계; 상기 콘택홀 내에 W/WN의 장벽층을 순차적으로 형성하는 단계; 상기 W/WN의 장벽층을 H2 원격 플라즈마로 처리하는 단계; 상기 H2 원격 플라즈마로 처리된 W/WN의 장벽층 위에 상기 콘택홀을 채우도록 플러그 W을 증착하는 단계; 및 상기 층간 절연막이 노출되도록 상기 플러그 W 및 상기 W/WN 장벽층을 순차적으로 CMP 하는 단계;를 포함한다. W/WN의 장벽층을 H2 원격 플라즈마로 처리하여 불순물을 제거하여 함으로써 플러그 W의 CMP시 사용되는 습식 화학 물질에 대한 장벽층 W의 식각 선택비를 높여서 장벽층 W가 습식 화학 물질에 녹아서 콘택 플러그가 콘택홀로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 콘택 플러그, H2 원격 플라즈마, W/WN의 장벽층, CMP, 습식 화학 물질
Abstract:
PURPOSE: A method of forming a gate electrode in a semiconductor device is provided to prevent a void in an inter insulating layer by using a hard mask pattern as a sacrificed pattern for forming a final control gate. CONSTITUTION: A tunnel insulating layer, a first silicon layer for floating gate, an insulating layer(115), a second silicon layer for a control gate, a hard mask layer are laminated on a semiconductor substrate. A first interlayer insulating film(120) is formed so that an upper part of the hard mask layer between a plurality of laminating structures is exposed. The hard mask layer having an upper part exposed to the outside is etched selectively.
Abstract:
화상을 표시하는 액정 표시 패널; 액정 표시 패널의 화상 표시에 필요한 하나 이상의 전원을 공급하는 전원부; 전원부와 전원 배선 및 접지선에 의해 연결되며 소정의 화상을 표시하도록 제어하는 화상 구동부; 화상 구동부와 연결되며, 외부로부터 제공되는 화상 신호를 액정 표시 패널에 적합한 신호 형태로 변환하여 화상 구동부에 제공하는 신호 처리부를 포함하고, 화상 구동부의 각각의 소스 드라이브 IC에 전원 배선이 병렬로 연결되어 있고, 화상 구동부의 각각의 소스 드라이브 IC에 접지선이 병렬로 연결되어 있는 액정 표시 장치. 전원 배선, 접지선, 그라운드, EMI
Abstract:
개시된 본 발명에 의한 잉크젯 화상형성장치는 잉크를 분사하는 복수의 노즐을 갖는 프린트헤드와, 잉크를 저장하는 잉크탱크와, 잉크탱크의 잉크를 프린트헤드로 공급하기 위한 잉크공급유로와, 프린트헤드의 잉크를 잉크탱크로 회수하기 위한 잉크회수유로와, 프린트헤드로 공급되는 잉크의 유동을 조절하기 위해 잉크공급유로 상에 설치는 레귤레이터와, 레귤레이터로 공급되는 잉크의 유동을 차단할 수 있도록 잉크공급유로 상의 잉크탱크와 레귤레이터의 사이에 설치되는 유로차단밸브와, 잉크회수유로 상에 설치되고 잉크회수유로의 잉크를 강제 유동시키되 잉크의 유동 방향을 바꿀 수 있도록 정방향 운전 및 역방향 운전이 가능한 잉크펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명에 의한 잉크젯 화상형성장치는 유로차단밸브가 잉크공급유로 내의 잉크 유동을 강제로 차단함으로써, 잉크탱크의 잉크가 비정상적으로 프린트헤드로 유동하여 프린트헤드에서 잉크가 누출되는 문제가 줄어든다. 잉크젯, 잉크공급유로, 잉크회수유로, 유로차단밸브, 잉크펌프
Abstract:
An ink supplying/sealing apparatus and an image forming apparatus having the same are provided to prevent ink from leaking through a print head by blocking the movement of ink by sealing an ink supply tube while a printing operation is not performed. An ink supplying/sealing apparatus supplies and intercepts ink of an ink tank(100) to a channel unit(200) supported by a print head. A negative pressure generation unit(310) supplies the ink with a predetermined amount to the print head through the channel unit by generating the negative pressure to the print head. An ink supplying tube(330) connects the negative pressure generation unit to the ink tank. A sealing unit(340) selectively intercepts and opens the ink supplying tube. A sensor detects the operation state of the sealing unit.
Abstract:
A display apparatus is provided to radiate heat of a light emitting diode easily by changing a structure of a radiating member so as to improve an operation property of the light emitting diode. A display apparatus includes a display panel and at least one light source unit(50). The light source unit is applied to supply the light to the display panel. The light source unit includes a light emitting diode(52) and a printed circuit board(54). The light emitting diode radiates the light. The printed circuit board has a pattern(154) to transmit a driving signal to the light emitting diode. The light emitting diode includes a radiating member and the radiating member is coupled with the printed circuit board integrally. The light emitting diode has a light emitting diode chip, a lens(58), a frame(60), a first lead member(62), a second lead member(64), and the radiating member.
Abstract:
잉크젯 화상형성장치 및 잉크젯 화상형성장치의 화상 전위 인쇄 방법에 대해서 개시된다. 개시된 잉크젯 화상형성장치 및 잉크젯 화상형성장치의 화상 전위 인쇄 방법은 동일한 데이터를 반복 인쇄시 인쇄매체의 폭에 해당되는 길이의 노즐부를 갖는 프린트 헤드를 이동시키거나, 각 노즐부에 구비된 노즐을 전위시키며 인쇄함으로써 특정 노즐에 부하가 집중되어 수명이 단축되는 것을 방지할 수 있다.