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公开(公告)号:KR1019900017139A
公开(公告)日:1990-11-15
申请号:KR1019890004487
申请日:1989-04-04
Applicant: 한국전자통신연구원
Inventor: 심규환 , 양전욱 , 이진희 , 이재신 , 최영규 , 강진영
IPC: H01L21/304
Abstract: 내용 없음.