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公开(公告)号：CN102004398B
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201010250677.2
申请日：2010-08-10
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 提供一种具有掩模库的两面曝光装置，缩短工件的曝光处理所需要的整体时间，防止生产能力的降低。将被搬运至工件搬入搬出部(20)的工件(W)搬运至工件平台(4)，将形成于从掩模库(6)所取出的第1面(表面)曝光用掩模的图案对工件(W)进行曝光。并且，在反转平台部(30)反转(翻转)工件(W)，并将工件(W)保管在工件保管部(40)。这样，曝光1批量的所有工件的第1面(表面)。之后，将掩模更换成第2面(背面)曝光用的掩模，从工件保管部(40)取出第1面曝光结束的工件，曝光工件的第2面(背面)。完成背面的曝光的工件(W)，利用第1工件搬运机构(50b)，被搬运到工件搬入搬出部(20)。
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公开(公告)号：CN102709150B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201210164380.3
申请日：2009-04-09
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供具备准分子灯及具备该准分子灯的灯单元，该准分子灯被靠近配置于被照射物的导线保持体。一种准分子灯包括：具有在长度方向上延伸的上下两表面，而且在内部封入发光气体的放电容器；设于上述上下两表面的外部电极；及设于放电容器的端部侧的引线保持体，其特征为：引线保持体包括具有电绝缘性的引线保持部与金属薄板所形成的平坦支撑部，通过由引线保持部与平坦支撑部夹持放电容器，引线保持部是将与一个外部电极电连接的一个引线保持在与放电容器的一个面之间，平坦支撑部是与另一个外部电极电连接，而且抵接于放电容器的另一个平坦面。
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公开(公告)号：CN101738882B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN200910212112.2
申请日：2009-11-10
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 筱山理惠
Abstract: 本发明提供一种可进行正确的工件标记检测的对准标记的检测方法及装置。其解决手段为使用对准显微镜(10)，进行工件(W)的表面影像显像，将作为工件标记(WAM)应登记的呈现方式(形状或明暗或色调)不同的多个图形，作为工件标记WAM1～n登记到控制部(11)的存储部(11b)。检测工件标记时，使用该工件标记WAM1～n，进行检索区域内图形的检索，以比较·评估部(11c)比较所登记的工件标记WAM1～n与检索区域内的图形求得一致度的点数，点数例如超过预定值时，判定该图形为工件(W)上的工件标记(WAM)。对位控制部(11e)使用该工件标记(WAM)进行掩模(M)与工件(W)的对位。
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公开(公告)号：CN101599414B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN200910146026.6
申请日：2009-06-05
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H01J65/046 , H01J61/35
Abstract: 提供一种准分子灯，具备由含有二氧化硅的微小粒子构成的紫外线反射层，即使长时间点灯，也可抑制照度下降的程度，有效地射出真空紫外光。一种准分子灯(10)，包括具有放电空间(S)的、由二氧化硅玻璃构成的放电容器(20)，以夹着形成该放电容器(20)的二氧化硅玻璃的状态设有一对电极(11、12)，并且在放电空间(S)内封入有放电用气体，在放电容器(20)的内表面形成有紫外线反射层(30)，所述准分子灯(10)的特征在于，紫外线反射层(30)由含有OH基的二氧化硅粒子和融点比二氧化硅高的微小粒子构成，构成紫外线反射层(30)的二氧化硅粒子中的OH基浓度是10wt ppm以上。
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公开(公告)号：CN103370989A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201180058393.6
申请日：2011-11-01
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H05B41/24
CPC classification number: H05B41/36 , H05B41/2883 , H05B41/2887 , H05B41/2925 , Y02B20/208
Abstract: 提供一种放电灯点亮装置，在从供给额定电力的交流电力的第一点亮模式切换为供给低于额定电力的交流电力的第二点亮模式时，防止或抑制在第二点亮模式的放电灯的点亮过程中产生闪烁。一种放电灯点亮装置，包括：放电灯，具有分别在前端形成有突起的钨制的一对电极；和供电装置，向该放电灯供给交流电力，其特征在于，上述供电装置具有在向上述放电灯供给额定电力的第一点亮模式与向上述放电灯供给低于额定电力的电力的第二点亮模式之间进行切换来点亮上述放电灯的功能，在从上述第一点亮模式向上述第二点亮模式切换的模式切换期间，在平均电力变化率为0.01～2.1W/s的条件下控制供给至上述放电灯的电力。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN103244905A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310033992.3
申请日：2013-01-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 森纯一郎
IPC: F21V7/00
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明提供一种加速寿命试验用光照射装置，其在使用模拟太阳光源的太阳能电池模块的加速寿命试验中，能够重现接近实际使用的环境，因而能够提高加速度。本发明的光照射装置将从光照射单元放出的光照射到太阳能电池模块的正面，其特征在于，在比包含上述太阳能电池模块的背面的假想平面靠背面侧处设置有反射构件，该反射构件使来自上述光照射单元的光朝向该太阳能电池模块的背面反射。
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公开(公告)号：CN101752181B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN200910206371.4
申请日：2009-10-15
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J61/073
CPC classification number: H01J61/0732 , H01J61/86
Abstract: 一种高压放电灯(10)，即使是具有由纯度在99.99％以上的钨构成的电极(1)的高压放电灯，也不会发生电极(1)折断。本发明的高压放电灯(10)包括：放电容器，在发光部(4)的两端连续设置有密封部(5)；和由纯度为99.99％以上的钨构成的电极(1)，基端埋设在所述密封部(5)中，前端相对配置在所述发光部(4)内，高压放电灯(10)的特征在于，所述电极(1)由形成在该电极(1)的前端的大径部(2)和比该大径部(2)细的轴部(3)一体形成，在所述大径部(2)的表面的一部分上，以在圆周方向上具有槽的部分(23a)和没有槽的部分(23b)相对于电极(1)的轴不对称的方式形成有凹凸结构(22)。
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公开(公告)号：CN102192444B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201110036147.2
申请日：2011-02-11
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G03B27/54 , H04N1/04 , G06K9/20 , F21S8/00 , F21Y101/02
CPC classification number: F21V7/07
Abstract: 本发明提供光源装置，用于原稿读取装置，能够形成副扫描方向上的宽度大的高照度照明区域，并且得到高的光利用效率。该光源装置具有：棒状的导光体，在该导光体的一端配置有发光元件；第一反射镜和第二反射镜，与导光体并列配置，用于将来自导光体的光朝向原稿面反射；导光体具有：光出射面，沿着长度方向形成；第一光反射面，形成在与光出射面相对置的周面，用于将来自发光元件的光朝向原稿载置面反射；第二光反射面，用于将来自发光元件的光朝向第一反射镜和第二反射镜反射；第一反射镜和第二反射镜配置成，使得在原稿载置面上，来自第一光反射面的光的光轴位置位于来自第一反射镜的反射光的光轴位置与来自第二反射镜的反射光的光轴位置之间。
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公开(公告)号：CN101603640B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN200910141353.2
申请日：2009-06-02
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 山森贤治
Abstract: 本发明提供一种紫外线照射装置，它密闭电气设备部，并冷却该密闭的电气设备部的内部。第1发明的紫外线照射装置包括：准分子灯，包括放电容器和隔着该放电容器的放电空间而相对配置的电极；变压器，分别被电连接在多个该准分子灯上；机壳，保持该多个准分子灯和该多个变压器，并具备设在该多个准分子灯和该多个变压器之间的隔壁；以及电气设备部，在该机壳内通过该隔壁而包围该多个变压器；该紫外线照射装置的特征在于，在该电气设备部中，设有冷却机构；在该各变压器的外边，设有风洞体，该风洞体分别包围该各变压器，并且具备隔着该变压器而对置的一对开口部；在该电气设备部的内部，设有从该风洞体的一个开口部向另一个开口部送风的送风机构。
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