光源装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102043346A

    公开(公告)日:2011-05-04

    申请号:CN201010510483.1

    申请日:2010-10-13

    CPC classification number: H01J65/04 H01J61/025

    Abstract: 提供光源装置,在发光管内能以大立体角聚光光束,防止能量密度高的光束碰到发光管的壁。发光管(1)是凸型弯月形构造,作为聚光单元(31)起作用。从激光振荡部(2)放射的激光束通过聚光单元(31)在发光管(1)的内部以增大立体角的方式被聚光。由此形成高温等离子体状态,使得发光管发光。将发光管(1)的壁自身作为聚光单元,因而可增大聚光时的立体角,并且所聚光的光束不照射发光管(1)的壁,可防止发光管的加热或破损。作为聚光单元,只要是凸透镜、棒形透镜等可将光聚光的形状即可,也可使用其他,也可以设置多个聚光单元。并且,将聚光单元安装于发光管的内表面也可得到同样的效果。

    放电灯
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101673656A

    公开(公告)日:2010-03-17

    申请号:CN200910170718.4

    申请日:2009-09-09

    CPC classification number: H01J61/26 H01J7/186

    Abstract: 本发明提供一种放电灯,其即使为大型且亮灯压力高的放电灯,也可通过简便且安全的手段良好地去除氢,而没有闪烁。一种放电灯,在发光管内部具有一对电极及集氢器,其特征在于:上述集氢器(4)具备:由具有氢透过性的金属构成的容器(41):及封入在该容器的内部的由具有氢吸收能力的金属构成的氢吸收体(42),该氢吸收体(42)熔融固接在该容器(41)的内壁。

    放电灯
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105340055B

    公开(公告)日:2017-07-11

    申请号:CN201480036542.2

    申请日:2014-06-17

    CPC classification number: H01J61/0737 H01J61/0732 H01J61/0735

    Abstract: 本发明提供在发光管内的阴极中添加除了钍以外的发射体而成的放电灯,其在防止发射体自阴极过剩地蒸发而早期发生枯竭的同时,在最初点灯时也可进行稳定点灯。阴极(3)中的主体部(31)由不含钍的高熔点金属材料构成,前端部(32)由含有发射体(除了钍之外)的高熔点金属材料构成,并且在形成于所述主体部(31)及/或前端部(32)的内部的密闭空间(33)内埋设有含有较所述前端部(32)中所含的发射体更高浓度的发射体(除了钍之外)的烧结体(34),所述烧结体(34)与所述前端部(32)抵接。

    激光驱动光源
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101866819B

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:CN201010163326.8

    申请日:2010-04-14

    CPC classification number: H01J65/04 H01J61/025 H01J61/18

    Abstract: 本发明是一种激光驱动光源,使激光光线聚光到管球内封入的放,电介质,通过激光光线激励放电介质,生成等离子体,其目的在于遮蔽管球内生成的未被等离子体吸收而透过的激光光线,为此提供一种激光驱动光源,其具有封入有放电介质的管球,通过聚光到上述管球的激光光线在上述管球内生成等离子体,其特征在于,上述管球内设有光线遮蔽部件,遮蔽透过上述管球内生成的等离子体的激光光线。

    短弧型放电灯
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103426714A

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201310191414.2

    申请日:2013-05-22

    CPC classification number: H01J61/06 H01J61/0732 H01J61/86

    Abstract: 本发明提供一种短弧型放电灯,具有由钨构成的主体部和由敷钍钨构成的前端部固相接合而形成的阴极结构,其中,提高阴极的主体部和前端部的接合强度而达到与作为主体部母材的钨同等的机械强度,从而防止在切削加工时在接合界面的脱落、破损的事故。在与上述阴极的主体部和前端部的接合界面相垂直的截面上,在沿该接合界面500μm以上的任意区域内,当该任意区域的长度为L0,跨越该接合界面存在的钨结晶粒的沿该接合界面的长度的总和为L时,(L/L0)≥0.16。

    短弧型放电灯
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102024662A

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:CN201010283491.7

    申请日:2010-09-15

    CPC classification number: H01J61/86 H01J61/0732

    Abstract: 提供一种短弧型放电灯,其放射照度维持率高、维持放射亮度,累计放射量多,提高曝光装置的生产性。该灯在发光管(11)内配置阳极(3)及阴极(2),阳极在阳极前端面(3D)阳极中心轴(L)形成凹部(30),凹部具有形成于圆周方向的阳极内壁面(30A)、相对阳极中心轴向径向扩展而平坦形成的阳极内底面(30B)、在阳极内壁面(30A)及阳极前端面(3D)边界从阳极中心轴(L)向径向远离而形成于圆周方向的环状角部(30C),由上述三个构成的凹部从阳极前端面(3D)向着电极内方侧凹下形成,将表示电弧(AR)大小的指标设为D0,将凹部直径设为D1(mm)时,比值D1/D0满足0.25≤D1/D0≤1.2,表示电弧大小的指标D0由下述规定:D0=1.4+2.5(P-1.6)0.5,P为灯功率(kW)。

    短弧型放电灯用的阳极及短弧型放电灯

    公开(公告)号:CN101937827A

    公开(公告)日:2011-01-05

    申请号:CN201010215357.3

    申请日:2010-06-24

    CPC classification number: H01J61/0732

    Abstract: 本发明的目的在于,提供一种短弧型放电灯用的阳极及短弧型放电灯,所述放电灯可得到与现有的放电灯的辉度同等的辉度并能够抑制阳极的消耗。所述短弧型放电灯用的阳极,在阳极前端面的阳极中心轴上形成有凹部,其特征在于,所述阳极具备:阳极内壁面,从所述阳极前端面朝向内方侧凹陷并沿周方向形成;平坦的阳极内底面,与所述阳极内壁面接续且相比所述阳极前端面在内方侧形成;以及环状角部,在所述阳极内壁面及所述阳极前端面的边界上沿周方向形成,且从阳极中心轴向着径方向外方分离。

    放电灯
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105340055A

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201480036542.2

    申请日:2014-06-17

    CPC classification number: H01J61/0737 H01J61/0732 H01J61/0735

    Abstract: 本发明提供在发光管内的阴极中添加除了钍以外的发射体而成的放电灯,其在防止发射体自阴极过剩地蒸发而早期发生枯竭的同时,在最初点灯时也可进行稳定点灯。阴极(3)中的主体部(31)由不含钍的高熔点金属材料构成,前端部(32)由含有发射体(除了钍之外)的高熔点金属材料构成,并且在形成于所述主体部(31)及/或前端部(32)的内部的密闭空间(33)内埋设有含有较所述前端部(32)中所含的发射体更高浓度的发射体(除了钍之外)的烧结体(34),所述烧结体(34)与所述前端部(32)抵接。

    放电灯
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105340054A

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201480036170.3

    申请日:2014-06-17

    Abstract: 本发明提供一种在发光管内的阴极添加除了钍以外的发射体而成的放电灯,其可以在防止发射体自阴极过度地蒸发而早期枯竭的同时,在最初点灯时也可顺利地点灯。阴极(3)中的主体部(31)由不含钍的高熔点金属材料构成,前端部(32)由含有发射体(除了钍之外)的高熔点金属材料构成,并且在形成于所述主体部(31)及/或前端部(32)内部的密闭空间(33)内埋设有含有较所述前端部(32)中所含的发射体更高浓度的发射体(除了钍之外)的烧结体(34)。

    短弧型水银灯
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103545167A

    公开(公告)日:2014-01-29

    申请号:CN201310288845.0

    申请日:2013-07-10

    CPC classification number: H01J61/06 H01J61/0732 H01J61/86

    Abstract: 提供一种短弧型水银灯,在发光管内相对配置有阴极和阳极,并且在该发光管内封入水银及稀有气体,其中,即使在封入氪作为稀有气体的情况下,也得到与封入氩的灯同等以上的初期放射光照度,并且即使经过预定时间后放射光照度也不会急剧降低,与封入氩的灯相比规格寿命非常长。上述阳极前端侧的锥部的前端面的半径设为r(mm),上述阳极的电极轴心和锥面所成的角度设为θ(°),极间距离设为d0(mm),此时,满足1-r/(do×tanθ)≥0.66。

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