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公开(公告)号：KR100256705B1
公开(公告)日：2000-05-15
申请号：KR1019970058901
申请日：1997-11-08
IPC: B23K26/08
Abstract: PURPOSE: A laser welding machine and a method for producing a multi-channel optical module package are provided to reduce a displacement and to arrange and to weld multi-channel optical fibers. CONSTITUTION: A laser welding machine contains an auxiliary module holder(21) located in a base to install an auxiliary module substrate; an optical direction converter(10) to arrange an optical fiber housing holder(11) by installing in both sides of the auxiliary module holder(21); many beam heads(41) installed in the optical fiber housing holder(11) and to irradiate laser beams for welding an optical fiber housing(61) and an auxiliary module substrate; a beam delivery(40) to offer directional force by installing in the beam head(41) and to fix a focus of laser beams; and positional displacement devices(30,33,34) of the beam delivery to move the beam delivery(40). Thereby, the multi-channel optical fibers are stuck to various multi-channel elements. Moreover, various welding portions are formed by simply controlling a stage of the beam delivery.
Abstract translation: 目的：提供激光焊接机和多通道光模块封装的制造方法，以减少位移，并布置和焊接多通道光纤。 规定：激光焊接机包含位于基座中的辅助模块支架（21），用于安装辅助模块基板; 光学方向转换器（10），通过安装在辅助模块保持器（21）的两侧来布置光纤壳体保持器（11）; 许多光束头（41）安装在光纤壳体保持器（11）中并照射用于焊接光纤壳体（61）和辅助模块基板的激光束; 光束传送（40），通过安装在光束头（41）中并固定激光束的焦点来提供定向力; 以及所述光束传送的位移位移装置（30,33,34）以移动所述光束传送（40）。 由此，多声道光纤被粘贴到各种多声道元件上。 此外，通过简单地控制束输送的阶段来形成各种焊接部分。
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公开(公告)号：KR1020000015617A
公开(公告)日：2000-03-15
申请号：KR1019980035644
申请日：1998-08-31
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01F21/00
Abstract: PURPOSE: An adjustable inductor is provided to adjust values of an inductor on a circuit substrate, such as MCM, loading an electric element of an analog IC(Integrated Circuit) or an electric element of a super high frequency MMIC(Monolithic Microwave IC). CONSTITUTION: An inductor built in a circuit substrate, loading an electric element, connects a length adjusting wiring in several places having different length locations, in a main wiring of a standard-typed inductor circuit, connects the length adjusting wiring and the main wiring to a output terminal commonly in parallel, by using each connection wiring, and leaves one connection wiring, connected in parallel with an output terminal, and opens the rest of the connection wiring, electrically.
Abstract translation: 目的：提供可调电感器来调节电路基板上的电感值，例如MCM，加载模拟IC（集成电路）的电气元件或超高频MMIC（单片微波IC）的电气元件。 构成：在标准型电感器电路的主配线中，内置在电路基板中的电感器，装载电气元件，将长度调节布线连接在具有不同长度位置的多个位置，将长度调节布线和主布线连接到 通过并联连接的输出端子，通过使用每个连接布线，并且留下与输出端子并联连接的一个连接布线，并电连接其余的连接布线。
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公开(公告)号：KR100249518B1
公开(公告)日：2000-03-15
申请号：KR1019970061818
申请日：1997-11-21
CPC classification number: G02B6/4201 , G02B6/30 , G02B6/4225 , G02B6/4237 , G02B6/4249 , G02B6/4256 , G02B6/4267 , G02B6/4268 , G02B6/4271
Abstract: 본 발명은 모듈 특성을 열화시키지 않으면서 모듈 외부의 열적 환경 변화에 대해서 매우 안정된 특성을 유지하도록, 열변형을 최소화하기 위한 완충 장치를 갖는 광스위치 모듈을 제공하고자 하는 것으로, 이를 위해 본 발명은, 광스위치 소자에 광섬유 어레이를 고정하기 위한 광스위치 모듈에 있어서, 상기 광섬유 어레이를 고정하는 광섬유 고정대; 상기 광섬유 고정대와 동종접합을 이루며, 제1 열변형완충장치를 갖는 제1지지수단; 및 상기 제1지지수단과 이종접합을 이루어 상기 제1지지수단을 지지하고, 상기 광스위치 소자를 지지하며, 제2 열변형완충장치를 갖는 제2지지수단을 포함하여 이루어진다. 바람직하게, 상기 제1지지수단은 제1 열변형완충장치로서 그 주연부에 국부적으로 다수의 슬롯을 갖는다. 또한, 상기 제2지지수단은 그 중앙부에서 상기 광스위치 소자를 지지하고 양측단부에서 상기 제1지지수단을 지지하며, 상기 양측단부에서 상기 제2 열변형 완충 장치로서의 오픈부를 갖는다. 상기 광섬유고정대는 SUS304L 재질이고, 상기 제1지지수단은 SUS304L 재질의 플레이트이고, 상기 제2지지수단은 Cu-W 재질을 갖는다. 상기 제1지지수단과 상기 제2지지수단은 상기 제1지지수단의 모서리에서 용접되어 서로 고정된다.
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公开(公告)号：KR1020000013387A
公开(公告)日：2000-03-06
申请号：KR1019980032220
申请日：1998-08-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/28
Abstract: PURPOSE: A method for forming metal line of semiconductor device is provided to extend life of a semiconductor device by suppressing move of electron. CONSTITUTION: A first barrier metal layer, a metal layer, and a second barrier metal layer are deposed on upper surface of a silicon substrate. A metal line is patterned to form. And a metal spacer is formed on a side of the metal line. The metal spacer is formed by performing a plasma etch-back process after deposing TiW. The first barrier metal layer is formed 2000 Angstrom thick using TiW.
Abstract translation: 目的：提供一种用于形成半导体器件的金属线的方法，以通过抑制电子的移动来延长半导体器件的寿命。 构成：第一阻挡金属层，金属层和第二阻挡金属层被放置在硅衬底的上表面上。 图案化金属线。 并且在金属线的一侧上形成金属间隔物。 金属间隔物通过在除去TiW之后进行等离子体回蚀处理而形成。 使用TiW形成2000埃厚的第一阻挡金属层。
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公开(公告)号：KR100211974B1
公开(公告)日：1999-08-02
申请号：KR1019960061030
申请日：1996-12-02
IPC: G02B6/24
Abstract: 본 발명은 단위 광소자용 보조장치에 관한 것으로, 특히, 초소형의 단위 광소자를 광모듈로 조립하기 전에 선행되는 각종 시험과 같은 반복적인 취급 과정을 용이하게 수행할 수 있는 단위 광소자용 보조장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 단위 광소자용 보조장치는, 광소자의 구동시 발생된 열을 분산시키기 위한 받침대(21)와, 받침대(21)상에 장착되고, 상부에는 전기적인 연결을 위한 적어도 한개의 전극용 금속선(27,28)이 형성되며, 상기한 한 개의 전극용 금속선(28)에는 시험용 단위 광소자가 위치하는 탐사침 접점부위(48)가 형성된, 전극용 보조 받침대(24)와, 탐사침(46)이 중앙부에 하향으로 삽입 고정되고 그 후방 일측에는 회전봉(42)이 삽입 설치된 회전판(41)과, 상기한 회전봉(42)의 양단을 지지하기 위한 지지대(29,30)와, 상기한 지지대(29,30)와 상기한 전극용 보조받침대(24)를 상기한 받침대(21)에 고정하기 위한 고정수단으로 구성되어, 시험용 단위 광소자의 착탈시에는 상기한 회전판(41)이 회전봉(42)을 중심으로 회동하여 열림 상태로 되는 한편, 시험용 단위 광소자가 � �기한 전극용 보조받침대(24)의 탐사침 접점부위(48) 상에 탑재된 경우에는 상기한 회전판(41)이 회전봉(42)을 중심으로 회동하여 상기한 탐사침(46)이 단위 광소자와 접촉하는 닫힘 상태로 전환되도록 구성된 것을 특징으로 한다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100211943B1
公开(公告)日：1999-08-02
申请号：KR1019960068950
申请日：1996-12-20
IPC: G02B6/42
Abstract: 본 발명은 광통신용 레이저 광원인 광송신 모듈에서 플립칩 본딩된 레이저 다이오드와 광섬유의 광결합 장치 및 광결합 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 광결합 장치는, 와이어 본딩 패드와, 상기한 레이저 다이오드의 솔더범프와 접폭하는 플립칩 본딩용 접합부가 일면에 구비되고, 그 일측 중앙부에는 상기한 테이퍼드 광섬유가 삽입되어 레이저 다이오드의 활성영역과 광정렬이 수행되도록 하는 브이홈이 형성된 실리콘 기판과, 전체적으로 L자 형태를 지니고, 그 일측에는 테이퍼드 광섬유가 고정된 실리콘 기판이 고정 장착되는 실리콘 기판 장착부가 구비되고, 타측에는, 테이퍼드 광섬유가 삽입되는 광섬유 삽입공이 중앙에 천설되고, 그 상면 일측에는 광섬유 삽입공을 통해 삽입된 테이퍼드 광섬유를 고정하기 위한 에폭시가 주입되는 에폭시 주입공이 구비되어 정렬이 완료된 광섬유를 고정 지지하기 위한 광섬유 지지봉이 돌출 설치된 지지부재로 구성된다. 또한 본 발명에 따른 레이저 다이오드와 광섬유의 광결합 방법은, 레이저 다이오드를 실리콘 기판에 플립칩 본딩하는 단계와, 테이퍼드 광섬유를 지지부재의 광섬유 삽입공을 통해 삽입하는 단계와, 레이저 다이오드가 플립칩 본딩된 실리콘 기판을 실리콘 기판 지지수단 위에 재치하고 광섬유를 상기한 실리콘 기판의 브이홈에 위치시킨 후, 광섬유를 능동정렬하는 단계와, 광섬유를 실리콘 기판에 고정시키는 단계와, 실리콘 기판을 상기한 지지부재의 실리콘 기판 장착부 상에 장착하는 단계와, 실리콘 기판과 지지부재 및 광섬유와 지지부재를 고정시키는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1019990041254A
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019970061818
申请日：1997-11-21
Abstract: 본 발명은 모듈 특성을 열화시키지 않으면서 모듈 외부의 열적 환경 변화에 대해서 매우 안정된 특성을 유지하도록, 열변형을 최소화하기 위한 완충 장치를 갖는 광스위치 모듈을 제공하고자 하는 것으로, 이를 위해 본 발명은, 광스위치 소자에 광섬유 어레이를 고정하기 위한 광스위치 모듈에 있어서, 상기 광섬유 어레이를 고정하는 광섬유 고정대; 상기 광섬유 고정대와 동종접합을 이루며, 제1 열변형완충장치를 갖는 제1지지수단; 및 상기 제1지지수단과 이종접합을 이루어 상기 제1지지수단을 지지하고, 상기 광스위치 소자를 지지하며, 제2 열변형완충장치를 갖는 제2지지수단을 포함하여 이루어진다. 바람직하게, 상기 제1지지수단은 제1 열변형완충장치로서 그 주연부에 국부적으로 다수의 슬롯을 갖는다. 또한, 상기 제2지지수단은 그 중앙부에서 상기 광스위치 소자를 지지하고 양측단부에서 상기 제1지지수단을 지지하며, 상기 양측단부에서 상기 제2 열변형 완충 장치로서의 오픈부를 갖는다. 상기 광섬유고정대는 SUS304L 재질이고, 상기 제1지지수단은 SUS304L 재질의 플레이트이고, 상기 제2지지수단은 Cu-W 재질을 갖는다. 상기 제1지지수단과 상기 제2지지수단은 상기 제1지지수단의 모서리에서 용접되어 서로 고정된다.
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公开(公告)号：KR1019990041032A
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019970061560
申请日：1997-11-20
IPC: G01J1/42
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
레이저 다이오드의 양방향 광에너지 측정장치
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 요지
본 발명은 측정대상으로부터 발산되는 광에너지를 흡수하는 경로로서, 수정막대를 레이저 다이오드의 양측에 밀착시켜, 상기 레이저 다이오드로부터 발생되는 양방향의 광에너지를 동시에 측정하는 것이 용이하면서도 정확한 레이저 다이오드의 양방향 광에너지 출력장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은 레이저 다이오드를 고정하며, 홀이 형성된 레이저 다이오드 지지수단; 전원을 인가받는 전극판; 상기 레이저 다이오드 지지수단의 양측 관통홀에 각각 끼워지며, 각각의 일단면 중심이 상기 레이지 다이오드에 근접되게 위치되어 레이저 다이오드로부터 발산되는 광에너지가 흡수되어 이동되는 경로를 제공하는 수정막대; 및 상기 양측 수정막대에서 출력되는 광에너지를 수광하는 포토 다이오드를 포함하는 레이저 다이오드의 양방향 광에너지 측정장치를 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 레이저 다이오드의 광에너지 측정장치에 적용되는 것임.-
169.发明公开
公开(公告)号：KR1019990038985A
公开(公告)日：1999-06-05
申请号：KR1019970058901
申请日：1997-11-08
IPC: B23K26/08
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
다채널 광모듈 패키지 제작용 레이저 용접장치 및 그를 이용한 다채널 광모듈 패키지 제작방법
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 요지
본 발명은 레이저 용접시의 변위를 줄임과 동시에 다채널 광섬유를 정렬 및 용접할 수 있도록한 다채널 광모듈 패키지를 제작용 레이저 용접장치 및 그를 이용한 다채널 광모듈 패키지 제작방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은 부모듈기판에 광섬유 하우징의 입/출력단이 정렬 및 고정되도록 잡아주는 광섬유하우징 홀더; 상기 광섬유 하우징 홀더를 임의방향으로 구동시키는 임의방향 변환수단; 광섬유하우징과 부모듈기판을 용접할 수 있도록 레이저 빔을 주사하는 빔 헤드; 레이저 빔의 초점을 고정시키는 빔 딜리버리; 및 상기 빔 딜리버리에 소정 각도방향 위치로 변위시키는 수단을 포함하는 다채널 광모듈 패키지 제작용 레이저 용접장치를 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 소자의 종류에 따라 다양한 용접부위를 형성할 수 있는 것임.-
公开(公告)号：KR1019990024689A
公开(公告)日：1999-04-06
申请号：KR1019970045973
申请日：1997-09-05
IPC: G02B6/35
Abstract: 1. 청구 범위에 기재된 발명이 속한 기술 분야
광소자 제조 분야에 관한 것임
2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
다채널 광스위치 소자와 광섬유간에 높은 광결합 효율을 얻기 위하여 모든 방향으로 광정렬이 가능한 광 스위치 모듈을 제공하고자 함.
3. 발명의 해결 방법의 요지
각기 분리된 광스위치 모듈 기판, 광스위치 소자가 연결 칩캐리어 기판, 광섬유 캐리어 기판, 광섬유 캐리어 기판을 지지하는 지지수단과 연결되며 광섬유 캐리어 기판으로 정렬된 광섬유를 정렬하는 광섬유 하우징, 광섬유 하우징 지지대, 광섬유 하우징과 광섬유 하우징 지지대 및 광스위치 모듈 기판과 광섬유 하우징 지지대를 각각 고정하는 고정수단을 포함하여 이루어지는 광스위치 모듈을 구성한다.
4. 발명의 중요한 용도
광소자 및 그 제조 방법에 이용됨.
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