公开(公告)号：KR1020120036949A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：KR1020127000357

申请日：2010-05-25

Applicant: 씨8 메디센서스, 인크.

Inventor： 할슈타인사샤 ,  아이스도날드에이.

IPC: F21V8/00 ,  G02B6/12 ,  G01J3/04

CPC classification number: G02B6/26 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/024 ,  G01J3/04 ,  G02B6/0076 ,  G02B6/10 ,  G02B27/0994 ,  G02B6/12011 ,  G02B6/12016

Abstract: 출력이 수직으로 얻갈린, 적층된 슬래브 도파로들로 구성된 장치가 개시된다. 적층된 도파로들에 대한 입력에서, 각 스래브들에 대한 입구가 거의 동일한 수직 평면에 놓인다. 입력에 이미지를 생성하는 지점은 출력에서 밝기의 실질적 손실 없이, 엇갈린 직사각형의 세트(set of staggered rectangles)로 변환될 것이고, 엇갈린 직사각형들은 분광기 장치에 대한 편리한 입력으로 제공될 수 있다. 슬릿 마스크가 그 확산에 평행한 분광기 장치의 평면에서 원하는 횡단 폭을 표시하기 위해 그 출력들을 공간적으로 필터링하도록 추가될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020100125434A

公开(公告)日：2010-11-30

申请号：KR1020107023463

申请日：2009-03-11

Applicant: 코닌클리케 필립스 엔.브이.

Inventor： 잭,마틴,제이.,제이. ,  반덴빅겔라르,데오도루스,제이.,피. ,  메이저,에두아르드,제이. ,  티머링,유진

IPC: G01J1/06 ,  G01J3/02 ,  G01J3/06 ,  G01J3/50 ,  G01J3/51 ,  G01J1/04 ,  G02B13/22

CPC classification number: G01J1/06 ,  G01J1/02 ,  G01J1/0204 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0437 ,  G01J1/0448 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/06 ,  G01J3/505 ,  G01J3/51 ,  G01J3/513 ,  G02B13/22 ,  G02B26/004

Abstract: 적어도 하나의 파장 선택 광 검출기(10), 렌즈(20) 및 개구(30)를 포함하는 광 센서(1)가 제안된다. 파장 선택 광 검출기는 센서 위에 떨어지는 미리 정해진 파장 범위 내의 광을 검출하는 것을 허용한다. 렌즈는 광 검출기 위에 광을 투영하고 개구는 광 센서의 뷰의 필드를 한정한다. 광 검출기(10), 렌즈(20), 및 개구(30)는 텔레센트릭 구성으로 배치된다. 바람직하게는, 이것은 개구에 입사하는 광의 방향과 무관하게 미리 정해진 각도들의 범위 내의 광이 파장 선택 광 검출기 위에 부딪히게 하여, 파장 선택 광 검출기의 각도 의존 응답을 제거한다.

公开(公告)号：KR1020090004925A

公开(公告)日：2009-01-12

申请号：KR1020087024612

申请日：2007-03-09

Applicant: 테사레 엘엘씨

Inventor： 티베트클락

IPC: G01N21/00 ,  G01N33/48 ,  G01N33/548

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/10 ,  G01J3/2846 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/6452 ,  G01N21/6456 ,  G01N2201/0626 ,  G01N2201/0631

Abstract: An apparatus and method are provided for creating an image of a microarray. The apparatus includes at least one light source configured to direct light toward the microarray. The apparatus includes an excitation filter configured to filter the light into a first frequency band towards dichromatic mirror. The dichromatic mirror reflects light onto the microarray causing the microarray to emit electromagnetic energy. The apparatus includes emission filter configured to filter the electromagnetic energy within a second frequency band. The apparatus further includes an imaging unit having a charged coupled device (CCD), the CC having an Imaging surface masked by a pinhole blind such that when the pinhole blind receives electromagnetic energy from the emission filter, an image is created of the entire microarray.

Abstract translation: 提供了一种用于创建微阵列图像的装置和方法。 该装置包括被配置为将光引向微阵列的至少一个光源。 该装置包括被配置为将光过滤到朝向二色镜的第一频带的激励滤波器。 二色镜将光反射到微阵列上，导致微阵列发射电磁能。 该装置包括被配置为过滤第二频带内的电磁能的发射滤波器。 所述装置还包括具有电荷耦合器件（CCD）的成像单元，所述CC具有由针孔盲孔掩蔽的成像表面，使得当针孔盲孔从发射滤光片接收电磁能时，产生整个微阵列的图像。

公开(公告)号：KR1020080053471A

公开(公告)日：2008-06-13

申请号：KR1020087006614

申请日：2006-08-17

Applicant: 글루코스타츠 시스템 피티이 엘티디

Inventor： 쟝,씨퀸 ,  팅,춘멩

IPC: G01N21/359 ,  G01N21/00 ,  A61B5/1455 ,  G01N33/49

CPC classification number: G01J3/108 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/1455 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/0235

Abstract: The present invention relates to an arrangement for a selection of a wavelength including a wavelength source for providing a plurality of wavelengths, a wavelength selector for allowing a selection of a desired wavelength from the wavelength source, and a wavelength detector to detect a selected wavelength for subsequent use.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于选择包括用于提供多个波长的波长源的波长的布置，用于允许从波长源选择所需波长的波长选择器，以及用于检测所选波长的波长检测器 随后使用。

公开(公告)号：KR1020080015759A

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：KR1020070082424

申请日：2007-08-16

Applicant: 웨이퍼마스터스, 인코퍼레이티드

Inventor： 유우식

IPC: G01J3/44

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/10 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/32 ,  G01J3/36 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65

Abstract: A spectroscopy system and a method thereof are provided to carry out both low and high resolution spectroscopy by including a monochromater and a spectrometer having zoom-in and zoom-out functions. A spectroscopy system comprises an optical system, a first detector, and a second detector. The optical system receives lights scattered from a first area of a sample surface in response to receiving lights of different excitation wavelengths and scatters the lights according to their wave lengths. The first detector is mounted on a first moveable detector mount. The second detector is mounted on a second moveable detector mount. The first moveable detector mount moves the first detector to a first position related to the first excitation wavelength. The second moveable detector mount moves the second detector to a second position related to the second excitation wavelength. The first detector is set to detect a part where the light from the first area is received on the sample surface in response to receiving the first excitation wavelength light. The second detector is set to detect a part where the light from the first area is received on the sample surface in response to receiving the second excitation wavelength light.

Abstract translation: 提供了一种光谱系统及其方法，通过包括具有放大和缩小功能的单色仪和光谱仪来执行低分辨率和高分辨率光谱。 光谱系统包括光学系统，第一检测器和第二检测器。 光学系统响应于不同激发波长的接收光接收从样品表面的第一区域散射的光，并根据其波长散射光。 第一个检测器安装在第一个可移动的检测器支架上。 第二检测器安装在第二可移动检测器支架上。 第一可移动检测器安装座将第一检测器移动到与第一激发波长有关的第一位置。 第二可移动检测器安装座将第二检测器移动到与第二激发波长有关的第二位置。 第一检测器被设置为响应于接收到第一激发波长的光而检测来自第一区域的光被接收在样品表面上的部分。 第二检测器被设置为响应于接收到第二激发波长的光而检测来自第一区域的光被接收在样品表面上的部分。

公开(公告)号：KR1020040039451A

公开(公告)日：2004-05-10

申请号：KR1020047004625

申请日：2003-03-24

Applicant: 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤

Inventor： 후지무라,신지 ,  하리마,다츠야 ,  다구치,구니가즈

IPC: G01N21/00

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/04 ,  G01J2003/326 ,  G01N21/253 ,  G01N21/474 ,  G01N21/55 ,  G01N21/59 ,  G01N2201/043

Abstract: 본 발명은 광원(1,2)과 광원으로부터의 광을 샘플(A,B)의 복수점에 조사하기 위한 복수개의 투광 섬유(5, 6)와; 상기 복수점으로부터의 투과광, 반사광, 산란광 등을 채집하는 복수개의 수광 섬유(8, 9)와; 복수개의 수광 섬유(8, 9)중 하나로 채집한 광 빔을 수광 섬유(11)를 통과시키는 투과 구멍이 있는 회전원판(12)으로 이루어지는 빔 선택기(10)와 MCPD(4)를 구비한다. 광이 바람직한 채널에서 통과하는 지점으로 구멍이 이동하여 정지하도록 회전원판(12)을 회전시킬 때, 대응하는 수광 섬유(8,9,11)를 통과하는 광만을 측정할 수 있다. 다른 채널의 광은 소정 각도 만큼 회전원판(12)을 회전시킴으로써 측정될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020000057929A

公开(公告)日：2000-09-25

申请号：KR1020000005502

申请日：2000-02-03

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 에르쇼브알렉산더아이.

IPC: G01J3/28

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/027

Abstract: PURPOSE: A dual-pass etalon spectrometer is provided to generate a precise fringe data able to measure band widths having a precision required for microlithography with relation to delta lambda FWHM and delta lambda 95%. CONSTITUTION: In a dual-pass etalon spectrometer, an optical scattering system(34) makes laser beams(16) facing toward a plurality of directions for generating scattered beams, and spectrum components of the scattered beams are divided by an angle to be permeated via the etalon(25). A reverse reflection mirror(38) reflects the permeated light beam components reversely via the etalon. The twice permeated spectrum components is focused on an optical detector(44) formed of an optical diode array by a lens(42) to detect a fringe pattern(49). The reverse reflection mirror is to be a hollow reverse reflection mirror.

Abstract translation: 目的：提供双通道标准光谱仪，以产生精确的条纹数据，能够测量与ΔλFWHM和Δλ95％相关的微光刻所需精度的带宽。 构成：在双通道标准光谱仪中，光散射系统（34）使得激光束（16）面向多个方向产生散射光束，并且散射光束的光谱分量被除以被透过的角度 标准具（25）。 逆反射镜（38）通过标准具反向透过光束成分。 两次渗透的光谱分量聚焦在由透镜（42）由光二极管阵列形成的光学检测器（44）上以检测条纹图案（49）。 反射反射镜为中空反射镜。

公开(公告)号：KR20180033003A

公开(公告)日：2018-04-02

申请号：KR20160122432

申请日：2016-09-23

IPC: G01J3/427 ,  G01J1/44 ,  G02B3/00

CPC classification number: H04N9/735 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/2823 ,  H01L27/14605 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14645 ,  H04N5/2256 ,  H04N5/3696 ,  H04N9/045 ,  H04N9/07

Abstract: 일실시예에따른전자장치는, 다수의단위화소를포함한이미지센서, 및상기이미지센서와전기적으로연결된프로세서를포함할수 있다. 상기단위화소는, 입사광을집광하는마이크로렌즈, 및상기입사광에응답하여전기적신호를출력하는 2 이상의수광소자들을포함할수 있다. 상기프로세서는, 상기 2 이상의수광소자들로부터의출력값들에기반하여상기입사광의파장스펙트럼을검출할수 있다. 이외에도명세서를통해파악되는다양한실시예가가능하다.

Abstract translation: 一种用于检测入射光的波长谱的方法和电子设备。 所述电子设备包括：包括像素阵列的图像传感器，其中所述像素阵列包括单位像素，所述单位像素包括被配置为聚焦入射光的微透镜和被配置为响应于所述入射光输出电信号的两个或更多个光电检测器; 以及处理器，被配置为基于来自两个或更多个光电检测器的输出值来检测入射光的波长谱。

公开(公告)号：KR101799518B1

公开(公告)日：2017-11-21

申请号：KR1020110041994

申请日：2011-05-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김경호 ,  김준호 ,  남궁각 ,  정원석

IPC: G02B27/00 ,  G01N21/64 ,  G02B7/28 ,  G01N33/483

CPC classification number: G01N21/645 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/4406 ,  G01N21/05 ,  G01N2021/0346 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2021/6478 ,  G01N2201/0635

Abstract: 서로다른 2 이상의파장에대한형광검출이가능하며, 자동초점기능을통해항상일정한초점위치를구현할수 있는형광검출광학계및 이를포함하는다채널형광검출장치가개시된다. 개시된형광검출광학계는미세유체소자에서반사된광을수광하여, 비점수차방식또는나이프에지방식으로초점을판단하는자동초점유닛및 자동초점유닛의제어에따라대물렌즈의위치를조절하는액추에이터를포함할수 있다. 또한, 개시된형광검출광학계는, 적어도 2개의광원에서방출된광을각각미세유체소자에제공하고미세유체소자에서발생한형광을광검출기로전달하기위하여, 다수의이중대역통과필터, 다이크로익소자등을포함할수 있다.

Abstract translation: 可用荧光检测对于其他两个中的每个波长以上，并且包括能够实现，并且它总是公开通过自动聚焦功能的某些焦点位置的荧光检测光学系统的多通道荧光检测装置。 公开的荧光通过接收从微流控装置的反射光，根据自动对焦单元的控制和用于确定聚焦的像散法或者刀口法的自动对焦单元，其检测光学系统包括致动器，用于调整物镜的位置 可以。 此外，所公开的荧光检测光学系统，至少从在微流体装置分别设置在光源发射的第二光，并传输所述荧光光从微流体装置发射到光检测器中，多个双带通滤波器的，翼元件如二向色 。“

公开(公告)号：KR101719388B1

公开(公告)日：2017-03-23

申请号：KR1020127008257

申请日：2010-09-01

Applicant: 마이크로소프트 테크놀로지 라이센싱, 엘엘씨

Inventor： 맥엘다우니스코트 ,  지아이모에드워드

IPC: H04N5/30 ,  H04N5/225

CPC classification number: G01J3/0205 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0235 ,  H04N5/332 ,  H04N13/254

Abstract: 이중모드는가시광이필터링될수 있는구조화된조명을투사하도록구성된광원을포함한다. 이중모드영상기는또한장면으로부터구조화된조명및 가시광의둘 다를포착하도록구성된검출기를포함한다. 시간적또는공간적필터는선택적으로검출기의하나이상의부분으로부터가시광을차단하면서구조화된조명을검출기의하나이상의부분으로통과시키는데이용된다.

Abstract translation: 双工模式包括配置为投射结构光与可见光被过滤的光源。 双模式图像组还包括被配置为捕获光并从场景结构的可见光的两个检测器。 时间或空间滤波器用于选择性地通过的结构化万亿人而从检测器的一个或多个部分至该检测器的一个或多个部分阻挡可见光。