膜片阀和半导体制造装置用流量控制设备

    公开(公告)号:CN109477587A

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201780046535.4

    申请日:2017-08-17

    Inventor: 高朝克图

    CPC classification number: F16K7/14 F16K7/12 F16K31/06

    Abstract: 提供能够在避免因阀座的直径增大、冲程的增大等而导致的阀的大型化的同时、切实增大阀流量、而且还能够维持甚至提高阀的耐久性·寿命的简易且最优地构成的膜片阀和半导体制造装置用流量控制设备。即,本发明的膜片阀在具有流入流路和流出流路的主体的阀室中,具有挤压外周周围的膜片和阀座座部,将该膜片设置为通过阀杆的升降移动来自由地开关阀室,该膜片的形态呈具有近似平面状的中央区域、和比中央区域靠外周侧且曲率半径小的边界区域的截面近似扁平形状,边界区域位于阀座座部的外周侧附近。

    促动器用电磁阀的安装构造和带有促动器的阀门

    公开(公告)号:CN109424762A

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201811013655.7

    申请日:2018-08-31

    Abstract: 本发明提供一种促动器用电磁阀的安装构造和带有促动器的阀门,以能够对任意的促动器及电磁阀容易适用或解除该适用,并且整体极为简单地构成,并且不损害促动器的紧凑性而容易在任意侧面周方向位置自由拆装电磁阀。促动器用电磁阀的安装构造具备:设置在圆筒型促动器的下部的基座体;以及从促动器主体的外侧能够自由拆装地安装的安装构件,该安装构件具有以延伸设置在促动器主体的靠近侧面位置的状态形成的固定部、和安装在该固定部的流体控制用的电磁阀,固定该电磁阀的安装构件设置成能够围绕促动器主体的侧面转动。

    衬里型蝶形阀
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107208810A

    公开(公告)日:2017-09-26

    申请号:CN201680007568.3

    申请日:2016-01-26

    CPC classification number: F16K1/226

    Abstract: 提供一种蝶形阀,是具有相对于流体的耐腐蚀性的衬里型蝶形阀,能够同时提高天地密封性和轴密封性而切实地防止泄漏,在借助流体压而阀盘向二次侧移动的情况下也能够维持它们的密封性。在由阀座衬里(20)覆盖的筒形阀身(11)内经由阀杆(13)开闭自如地设有由衬里部(32)覆盖的阀盘(12)。将阀杆(13)的轴密封部位(18)夹入到圈体(22)与阀杆(13)之间,由此防止该轴密封部位(18)的扩径,并且用设在阀身(11)的轴装部(27)内的弹簧(44)的反弹力经由圈体(22)推压位于阀盘(12)的天地的凸台面(37)上的阀座衬里(20),由此保持该天地密封部位(19)的密封性。

    蝶阀的阀芯
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102374298A

    公开(公告)日:2012-03-14

    申请号:CN201110243914.7

    申请日:2011-08-24

    Abstract: 本发明提供一种能够使整体轻量化,谋求提高阀操作时的扭矩性,且使闭阀时的应力分散,提高强度的蝶阀的阀芯。本发明中,是在纵向连续地设置了圆板状阀芯(1)的顶底的凸台部(2)的蝶阀的阀芯,该蝶阀的阀芯(1)在凸台部(2)的中央区域(T)形成筒形状的截面六边形部(3),在该截面六边形部(3)以外的顶底的阀杆嵌合部(8)附近形成筒形状的截面圆形部(4)。与此同时,将凸台部(2)和阀芯的阀翼部(5)用连接R部(7)接续,该连接R部(7)由被设定成从截面圆形部(4)的顶底双方向截面六边形部(3)的中央部(3b)分别从小的连接R逐渐到大的R的渐变R(6)接续。

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