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公开(公告)号：KR100759587B1
公开(公告)日：2007-09-17
申请号：KR1020050032534
申请日：2005-04-19
Applicant: (주)선재하이테크
IPC: H05F3/00
CPC classification number: H01T23/00
Abstract: 이 발명은 방전전극, 접지전극, 고전압발생부 및 제어기를 구비하고 있고 코로나 방전식 정전기 제거 기술을 이용하는 막대형 이오나이저에 대한 것으로서, 바(bar)의 어드레스, 주파수, 듀티비, 알람, 런/스탑상태를 포함한 바 정보를 사용자가 보기가 편리하도록 바 자체에 장착된 FND부, 상기 바 정보를 사용자가 용이하게 조절하도록 하기 위한 별도의 버튼들, 에어분사소켓의 내부 침 주변에 원주형으로 설치되어 에어를 내보내기 위한 제1에어공급수단 및 침끝에 부착되는 먼지를 제거하기 위해 단면이 원형인 침 주위에 형성되어 침의 끝방향으로 에어를 내보내기 위한 제2에어공급수단을 구비하고 있으며, 상기 이오나이저의 단면이 유선형을 되도록 하여 내부 공기의 흐름이 원활하도록 하는 것이 특징이다.
이때 상기 제2에어공급수단은 타원형이며 타원형의 두 직경 가운데 작은 직경은 상기 침의 몸체의 직경보다 작으며, 침은 이 타원형 홈의 가운데에 위치하고, 침의 앞 부분은 이 타원형 홈에 끼워져서 고정되는 것이 특징이다.
바(bar), 이오나이저, 에어소켓, 팁, RMS 시스템.-
12.发明授权
公开(公告)号：KR101554508B1
公开(公告)日：2015-09-22
申请号：KR1020140085810
申请日：2014-07-09
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: [목적]
본 발명은 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이용 글래스 등이 안착 또는 탑재되는 스테이지의 하부에 설치되어 웨이퍼 또는 글래스를 승하강시키는 복수개의 리프트용 핀과 적어도 하나 이상의 이오나이저가 부설된 거치대를 이용하여 웨이퍼 또는 글래스의 하부면에 발생하는 정전기를 효율적으로 제거하기 위한 "제전 기능을 갖춘 거치대 및 이를 이용하는 기판 탑재용 스테이지에 대한 제전 장치"에 관한 것이다.
[구성]
본 발명에서 제안하는 실시예인 기판 탑재를 위한 평판 구조의 상판에 형성된 복수개의 관통홀을 갖는 스테이지의 하부에 설치되어 상기 스테이지 상판에 탑재되는 상기 기판을 승하강시키는 제전 기능을 갖춘 거치대에는 상기 복수개의 관통홀을 통하여 상기 기판의 하부면과 접하면서 상기 기판을 승하강시킬 수 있는 복수개의 핀과, 상기 복수개의 핀의 높이와 동일한 높이를 갖는 적어도 하나 이상의 이오나이저가 부설되며, 상기 적어도 하나 이상의 이오나이저는 상기 기판의 하부면을 제전시키는 역할을 수행한다.
[효과]
본 발명을 이용하는 경우, 스테이지에 안착되는 웨이퍼 또는 평판 디스플레이의 하부면에 대한 제전 효율을 개선할 수 있으며, 스테이지와 연동되는 거치대에 다양한 종류의 이오나이저를 적어도 하나 이상 설치함으로써 웨이퍼 또는 평판 디스플레이의 하부면에 대한 제전을 효율적으로 처리할 수 있다는 이점이 있다.Abstract translation: 本发明涉及一种具有离子化功能的针式保持器和用于使用该载物台加载载物台的电离装置，该载物台能够有效地除去在半导体晶片或平板显示器玻璃的下表面上产生的静电电荷， 多个提升销安装在台架的下部，其上放置或加载晶片或玻璃以垂直移动晶片或玻璃，以及在其上构造有至少一个离子发生器的销座。 根据本发明的实施例的具有电离功能的针保持器安装在具有形成在用于加载衬底的平板结构的上板上的多个穿透孔的台的下部，并且包括：多个 的销通过多个穿透孔与基板的下表面接触并垂直移动基板; 并且在其上构造具有与多个销相同高度的至少一个离子发生器，并且离子化基板的下表面。 根据本发明，可以提高相对于晶片的下表面或坐在台上的平板显示器的电离效率。 相对于晶片或平板显示器的下表面的离子化可以通过将一种或多种各种类型的电离器安装在与台架连接的销座上来有效地进行处理。
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公开(公告)号：KR200476986Y1
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：KR2020140002279
申请日：2014-03-21
Applicant: (주)선재하이테크
IPC: H05F3/00
Abstract: [목적] 본고안은코로나방전을위한방전침이이오나이저와체결되는노즐에탑재되어구조를갖는코로나방전용이오나이저에탈부착가능한노즐에관한것이다. [구성] 본고안에따른코로나방전용이오나이저에탈부착가능한노즐유닛은, 소정반경의제 1 중공이형성되는노즐바디와, 상기노즐바디의일 종단부에서상기노즐바디의길이방향으로연장되며상기제 1 중공과연통되는관통개구부가형성된제 1 체결부를갖는노즐과; 상기제 1 체결부와결합되는제 2 체결부를가지며제 2 중공부가형성된바디부와, 상기바디부의일 종단부에부설되는플레이트와, 상기플레이트의중심을관통하는도전부재와, 상기도전부재와결합되는방전침을갖는방전침삽입체를구비하는것을특징으로한다. [효과] 본고안에따른코로나방전용이오나이저에탈부착가능한노즐유닛을사용하는경우, 코로나방전용이오나이저에노즐유닛을수작업으로간단하게탈부착하는구조인관계로조립및 분해가용이하며, 노즐유닛을분리하여방전침에맺힌이물질을제거하는시간을단축시킬수 있다는이점이있다.
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公开(公告)号：KR101471382B1
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：KR1020130122604
申请日：2013-10-15
Applicant: (주)선재하이테크
CPC classification number: H05G1/26 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67288 , H05F3/06 , H01T23/00
Abstract: 본 발명은 연엑스선을 발생시키기 위한 고정압을 발생시키는 고전압 발생부와; 상기 고전압을 통해 연엑스선을 발생시켜 외부로 출사하는 연엑스선 발생부와; 상기 고전압 발생부와 상기 연엑스선 발생부를 연결하며, 상기 고전압을 상기 연엑스선 발생부로 전달하는 가요성 연결부; 및 상기 연엑스선 발생부에 설치되며, 소정의 설치 대상에 고정되는 고정부를 포함하는 진공챔버용 연엑스선 제전장치를 제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种用于真空室的软X射线中和器。 软X射线中和器包括产生用于产生软X射线的高电压的高电压产生单元; 软X射线产生单元，其通过高电压产生软X射线并将光射射到外部; 柔性连接单元，其连接高电压产生单元和软X射线产生单元，并将高电压传送到软X射线产生单元; 以及安装在软X射线产生单元中并固定到特定安装对象的固定单元。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1020130000832A
公开(公告)日：2013-01-03
申请号：KR1020110061596
申请日：2011-06-24
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: PURPOSE: A system for correcting body shape and relieving pains is provided to activate ion transfer through electronic stimulus. CONSTITUTION: A system for correcting body shape and relieving pains comprises multiple compressors(11,12), a vortex tube(20) which devices compressed air into warm and cold air and discharges the air, a first ionizer(31) for discharging cations and anions, a second ionizer(32) for discharging cations and anions, a first solenoid valve(41) which selectively controls the inflow of the cold air, a second solenoid valve(42), a third solenoid valve(43), a fourth solenoid valve(44) for releasing warm air to the outside, and a control module(50) for controlling the first and second ionizers. [Reference numerals] (AA) Manipulator
Abstract translation: 目的：提供用于矫正身体形状和缓解疼痛的系统，以通过电子刺激激活离子转移。 构成：用于校正身体形状和缓解疼痛的系统包括多个压缩机（11,12），将压缩空气装入暖和冷空气并排放空气的涡流管（20），用于排出阳离子的第一离子发生器（31） 阴离子，用于排出阳离子和阴离子的第二电离器（32），选择性地控制冷气流入的第一电磁阀（41），第二电磁阀（42），第三电磁阀（43），第四电磁阀 用于将暖气释放到外部的阀（44），以及用于控制第一和第二离子发生器的控制模块（50）。 （标号）（AA）机械手
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公开(公告)号：KR101175989B1
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：KR1020090119248
申请日：2009-12-03
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은이온발생장치용전극모듈을제공한다. 상기이온발생장치용전극모듈은일면에방전면이형성되고타면에대향면이형성되며, 일정길이및 일정두께를갖는유전체와; 일정폭을이루어상기유전체의길이방향을따라상기방전면에형성되며외부로부터고전압을인가받는패턴부; 및상기방전면과상기대향면에형성되며, 상기방전면의일단면으로부터상기대향면을따라전계를이루어상기전계를따라이온을발생하는전계형성부를포함한다. 따라서, 본발명은이온을발생시키는방전부분을면 형상을이루도록하여외부의이물질로인한오염발생을방지하여이온발생효율을증가시키고유지보수를용이하게할 수있다.
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公开(公告)号：KR1020110062746A
公开(公告)日：2011-06-10
申请号：KR1020090119565
申请日：2009-12-04
Applicant: (주)선재하이테크 , (주) 브이에스아이
Abstract: PURPOSE: An electronic beam generating module is provided to be easily exchanged with other module by selectively performing an attaching or detaching operation at a socket portion of an external ion generator. CONSTITUTION: An electronic beam generating module(100) includes a cap(200), an insulated tube(300), an electronic beam generating unit and an electrode connecting part. The electronic beam generating module gets selectively attached to or detached from an external light ion generator. The electronic beam generating module is combined in the light ion generator by a screw. A threaded hole combined with the light ion generator is formed in the edge of a cap body. The insulated tube is inserted into a socket portion of the light ion generator. A body of the socket portion is made of non-conductive material.
Abstract translation: 目的：提供电子束产生模块，通过选择性地在外部离子发生器的插座部分执行附接或拆卸操作，容易地与其他模块交换。 构成：电子束产生模块（100）包括盖（200），绝缘管（300），电子束产生单元和电极连接部。 电子束产生模块被选择性地附接到外部光离子发生器或从外部光离子发生器分离。 电子束产生模块通过螺钉组合在光离子发生器中。 在灯体的边缘形成有与光离子发生器结合的螺纹孔。 绝缘管插入光离子发生器的插座部分。 插座部分的主体由非导电材料制成。
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公开(公告)号：KR1020100113657A
公开(公告)日：2010-10-22
申请号：KR1020090032044
申请日：2009-04-14
Applicant: (주)선재하이테크
CPC classification number: B03C3/09 , B03C3/12 , B03C3/47 , B03C3/82 , B03C3/86 , B03C2201/14 , B03C2201/28
Abstract: PURPOSE: A device for collecting suspended particle is provided to set up various arrangement which is compatible and effective within the restricted space within the clean room. CONSTITUTION: A device for collecting suspended particle includes a housing(100), a emitter electrode unit(120), a collector electrode unit(130). The housing sets up the outer edge of the penetration unit. The emitter electrode unit is included to be attachable/detachable in penetration unit and has a frame which is included to a plurality of load electrode(121) across-connected to the penetration unit. The collector electrode unit is arranged to be attachable/detachable to the penetration unit but is installed to be faced with the arrangement load electrode and has a plurality of holes. The collector electrode unit forms the ion air of neighboring air and comprises a compensation electrode of a metal material collecting the suspended particles among the air.
Abstract translation: 目的：提供用于收集悬浮颗粒的装置，以建立在洁净室内的受限空间内相容和有效的各种布置。 构成：用于收集悬浮颗粒的装置包括壳体（100），发射极电极单元（120），集电极单元（130）。 外壳设置穿透单元的外边缘。 发射电极单元包括在穿透单元中可附接/拆卸，并且具有包括在跨越穿透单元的多个负载电极（121）中的框架。 集电极单元被布置成可连接/可拆卸到穿透单元，但是被安装成面对布置负载电极并且具有多个孔。 集电极单元形成相邻空气的离子空气，并且包括在空气中收集悬浮颗粒的金属材料的补偿电极。
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