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公开(公告)号：KR100906508B1
公开(公告)日：2009-07-07
申请号：KR1020080055066
申请日：2008-06-12
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: A 3D measurement system using digital holography is provided to improve measuring speed and lateral resolution and to minimize the test space for reflective sample. A 3D measurement system using digital holography comprises a first wave plate(30) which performs right-hand circular polarization of the beam linearly polarized by 45°, a beam separation/composition unit(20) dividing the polarized beam into a reference beam and a measurement beam, a second wave plate(31) making the reference beam of P-type waveform and the reference beam of S-type waveform with a phase difference of 90° incident to the beam separation/composition unit, a first polarizer(32) making the measurement beam of P-type waveform and the measurement beam of S-type waveform with a phase difference of 0° incident to the beam separation/composition unit, and interference beam separation units(40) separating an interference beam from the beam separation/composition unit into first and second interference beam.
Abstract translation: 提供了使用数字全息术的3D测量系统，以提高测量速度和横向分辨率，并使反射样品的测试空间最小化。 使用数字全息术的3D测量系统包括执行线偏振45°的光束的右旋圆偏振的第一波片（30），将偏振光束分成参考光束的光束分离/合成单元（20） 测量光束，使得P型波形的参考光束和入射到光束分离/合成单元的90°的相位差的S型波形的参考光束的第二波片（31），第一偏振器（32） 使P型波形的测量光束和入射到光束分离/合成单元的相位差为0°的S型波形的测量光束，以及将干涉光束与光束分离分离的干涉光束分离单元（40） /组合单元转换成第一和第二干涉光束。
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公开(公告)号：KR100838586B1
公开(公告)日：2008-06-19
申请号：KR1020070104273
申请日：2007-10-17
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
CPC classification number: G03B35/24 , G02B27/2292 , G02B27/28 , G03H1/0005 , G03H1/0443
Abstract: A 3D measurement apparatus using digital holography and a 3D measurement method thereof are provided to solve a measurement speed problem of an on-axis method and a horizontal resolution problem of an off-axis method. A 3D measurement apparatus using digital holography includes first and second imaging units(23,24), a beam source(10), a beam splitter(13), a first wave plate(18), a prism unit(19), and a second wave plate(20). The beam splitter splits the beam emitted from the beam source into reference beam and measuring beam to enter a reference surface(3) and a measurement object(1) respectively. The first wave plate polarizes the reference beam and the measuring beam to right circularly polarized beam and left circularly polarized beam so that the reference beam and the measuring beam interfere with each other to form interference beam. The prism unit splits the interference beam into first interference beam and second interference beam with a phase difference of 180 degrees. The second wave plate is interposed between one of the first and second imaging units and the prism unit and delays a phase of one of the first interference beam and the second interference beam so that the first interference beam and the second interference beam have a phase difference of 90 degrees.
Abstract translation: 提供了使用数字全息术的3D测量装置及其3D测量方法来解决轴上方法的测量速度问题和离轴方法的水平分辨率问题。 使用数字全息术的3D测量装置包括第一和第二成像单元（23,24），光束源（10），分束器（13），第一波片（18），棱镜单元（19）和 第二波片（20）。 分束器将从光束源发射的光束分成参考光束和测量光束，分别进入参考表面（3）和测量对象（1）。 第一波片将参考光束和测量光束偏振到右圆偏振光束和左圆偏振光束，使得参考光束和测量光束彼此干涉以形成干涉光束。 棱镜单元将干涉光束分成第一干涉光束和第二干涉光束，相位差为180度。 第二波片介于第一和第二成像单元之一和棱镜单元之间，并且延迟第一干涉波束和第二干涉波束之一的相位，使得第一干涉波束和第二干涉波束具有相位差 90度。
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公开(公告)号：KR100747044B1
公开(公告)日：2007-08-07
申请号：KR1020050004237
申请日：2005-01-17
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 두께 및 형상 측정 시스템은 광을 방출하는 광원과; 입사되는 광의 경로에 대한 수직 방향에 대해 소정 각도 기울어져 배치되는 기준 미러와; 상기 광원으로부터의 상기 광을 측정 대상물 및 상기 기준 미러로 분리 조사하는 광 분할부와, 상기 기준 미러와 상기 광 분할부 사이에 배치되어 소정의 간섭 파장 범위의 광을 투과하는 간섭 필터를 갖는 광 간섭모듈과; 상기 간섭 파장 범위를 포함하는 파장 분산 범위를 가지며, 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광과 상기 기준 미러로부터 반사되는 광을 분광하는 분광부와; 상기 분광부에 의해 분광된 광이 결상되는 결상부와; 상기 결상부에 결상된 광의 파장 범위 중 상기 간섭 파장 범위를 제외한 파장 범위의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 두께에 대한 정보를 산출하고, 상기 산출된 두께에 대한 정보와 상기 결상부에 결상된 광 중 상기 간섭 파장 범위 내의 광에 기초하여 공간-캐리어 위상 측정법(Spatial-carrier phase measurement methods)에 따라 상기 측정 대상물의 형상에 대한 정보를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 두께 및 형상을 측정하는데 소요되는 시간을 감소시키면서도 제조 비용을 절감할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种厚度和形状测量系统。 根据本发明的厚度和形状测量系统包括：发光的光源; 参考反射镜，相对于入射光的路径相对于垂直方向成角度地设置; 光分被设置在分割和参考反射镜和分割光学干涉已被测定，其用于照射来自光源的光分离到物体透射光的预定干扰波长范围内的干涉滤波器的光与参照反射镜之间 一个模块; 具有包括所述干涉波长范围的波长色散范围并用于分离从所述测量对象反射的光和从所述参考反射镜反射的光的光谱部分; 图像形成单元，用于由分光单元形成光束; 光范围成像到上述结果的波长的基础上，具有的波长范围以外的干扰波范围计算关于所述对象的厚度信息光的被测定，并且所述信息和所述光形成以上的结果为计算出的厚度的图像 以及控制器，用于基于干涉波长范围内的光根据空间载波相位测量方法计算关于测量对象的形状的信息。 因此，可以减少测量厚度和形状所需的时间，同时降低制造成本。
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公开(公告)号：KR100681884B1
公开(公告)日：2007-02-12
申请号：KR1020060013878
申请日：2006-02-13
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/24
Abstract: An apparatus for measuring surface profile and a control method thereof are provided to extend an exchange period of a light source and reduce the whole measurement time by allowing more than two photographing units to photograph interference light alternately. In an apparatus for measurement of a surface profile, a light source(10) emits light. A first light dividing unit(50a) makes the light of the light source face an object(1). A light interference module(20) irradiates light to the object by the light of the first light dividing unit, and forms interference light on the basis of the light reflected by the object. A first photographing unit(40a) photographs the interference light emitted from the light interference module. At least one second photographing unit(40b) photographs the interference light emitted from the light interference module. A second light dividing unit(50b) divides the interference light emitted from the light interference module and passing through the first light dividing unit to face the first and second photographing units. A transporting unit(30) adjusts a gap between the light interference module and the object. A control unit(60a) receives information about the gap from the transporting unit, makes the first and second photographing units alternately photograph the interference light under a condition of synchronizing an alternate photographing timing of the first and second photographing units with an on timing of the light source on the basis of the information about the gap between the light interference module and the object.
Abstract translation: 提供了一种测量表面轮廓的设备及其控制方法，以通过允许多于两个拍摄单元交替地拍摄干涉光来延长光源的交换周期并减少整个测量时间。 在用于测量表面轮廓的设备中，光源（10）发光。 第一分光单元（50a）使光源的光面向物体（1）。 光干涉模块（20）通过第一分光单元的光向对象照射光，并且基于由对象反射的光形成干涉光。 第一拍摄单元（40a）拍摄从光干涉模块发出的干涉光。 至少一个第二拍摄单元（40b）拍摄从光干涉模块发出的干涉光。 第二分光单元（50b）将从光干涉模块发出并穿过第一分光单元的干涉光分开以面对第一和第二拍摄单元。 传送单元（30）调整光干涉模块和物体之间的间隙。 控制单元（60a）从传送单元接收关于间隙的信息，使得第一和第二拍摄单元在使第一和第二拍摄单元的交替拍摄定时同步的条件下交替地拍摄干涉光， 基于光干涉模块与物体之间的间隙的信息来确定光源的位置。
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公开(公告)号：KR100598572B1
公开(公告)日：2006-07-07
申请号：KR1020050070290
申请日：2005-08-01
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/24
Abstract: 본 발명은 표면형상 측정장치 및 그 제어방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표면형상 측정장치는 광을 방출하는 광원과; 상기 광원으로부터의 광을 상기 측정 대상물로 향하게 하는 광 분할부와; 상기 광 분할부로부터의 광을 상기 측정 대상물에 조사하고, 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광에 기초하여 간섭광을 형성하는 광 간섭모듈과; 상기 광 간섭모듈과 상기 측정 대상물 간의 이격 거리를 조절하는 이송유닛과; 상기 광 간섭모듈로부터의 상기 간섭광이 촬상되는 촬상부와; 상기 이송유닛으로부터 상기 이격 거리에 대한 정보를 제공받고, 상기 이격 거리에 대한 정보에 기초하여 상기 광원의 온 타이밍과 상기 촬상부의 촬상 타이밍을 동기시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 측정 대상물의 표면 형상을 측정하는데 보다 정밀한 측정이 가능하고, 측정 시간을 단축할 수 있다.
Abstract translation: 表面形状测量设备及其控制方法技术领域本发明涉 根据本发明的表面形状测量设备包括：发射光的光源; 分光单元，用于将来自光源的光引导至待测物体; 光干涉模块，其将来自所述分光部的光照射到所述测定对象物上，基于来自所述测定对象物的反射光形成干涉光; 传送单元，用于调节光学干涉模块与待测量对象之间的距离; 成像单元，用于成像来自光学干涉模块的干涉光; 以及控制单元，用于接收关于与传送单元的分离距离的信息，并且用于基于关于分离距离的信息来同步光源的开启时刻和成像单元的成像时刻。 因此，可以在测量测量对象的表面形状时进行更精确的测量，并且可以缩短测量时间。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101017300B1
公开(公告)日：2011-02-28
申请号：KR1020080098020
申请日：2008-10-07
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 측정대상물의 표면의 2D 이미지를 촬상하는 표면형상 측정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표면형상 측정장치는 제1 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제1 광원과; 상기 제1 단색광과 상이한 색상의 제2 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제2 광원과; 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광과 상이한 색상의 제3 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제3 광원과; 상기 제1 광원, 상기 제2 광원 및 상기 제3 광원으로부터 조사되어 상기 측정대상물의 표면으로부터 반사된 상기 제1 단색광, 상기 제2 단색광 및 상기 제3 단색광을 촬상하는 흑백 카메라와; 상기 제1 단색광, 상기 제2 단색광 및 상기 제3 단색광이 상기 측정대상물의 표면에 각각 조사되는 상태에서 상기 제1 단색광, 상기 제2 단색광 및 상기 제3 단색광에 각각 대응하는 제1 흑백 이미지 데이터, 제2 흑백 이미지 데이터 및 제3 흑백 이미지 데이터가 획득되도록 상기 제1 광원, 상기 제2 광원, 상기 제3 광원 및 상기 흑백 카메라를 제어하며, 상기 제1 흑백 이미지 데이터, 상기 제2 흑백 이미지 데이터 및 상기 제3 흑백 이미지 데이터를 상호 대응하는 픽셀에 대한 R,G,B 데이터로 처리하여 상기 측정대상물의 표면에 대한 합성 컬러 이미지를 생성하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 저비용의 흑백 카메라를 이용하여 컬러 2D 이미지를 획득 가능하게 되고, 컬러 카메라보다 처리 속도가 빠른 흑백 카메라를 이용함으로써 처리 속도 또한 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR101005146B1
公开(公告)日：2011-01-04
申请号：KR1020090014764
申请日：2009-02-23
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 2 대 이상의 카메라로부터 각각 획득된 홀로그램을 이용하여 표면 형상을 측정하는 3D 측정 광학 시스템에 적용되는 2 대의 카메라를 정렬하는 카메라 정렬방법에 있어서, (a) 상기 3D 측정 광학 시스템의 광 경로 상에 배치된 편광 요소가 동일한 편광 상태를 갖도록 상기 편광 요소의 편광 방향을 정렬하는 단계와, (b) 광원부로부터 빔이 조사되어 상기 2 대의 카메라에 의해 홀로그램이 획득되는 단계와, (c) 상기 한 쌍의 홀로그램에 대해 상관관계(Correlation) 기법을 적용하여, 상기 한 쌍의 카메라 간의 인 플레인 미스얼라인먼트(In plane misalignment)와 아웃 오브 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment) 중 적어도 하나를 정렬하는 단계를 포함하며; 상기 (c) 단계에서 상기 인 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment)를 정렬하는 단계는 (c1) 상기 상관관계(Correlation) 기법 상의 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 크기에 기초하여 빔의 상기 카메라로의 입사 방향을 축으로 하는 회전 방향으로의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계와, (c2) 상기 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 상기 홀로그램 상의 위치에 기초하여 상기 입사 방향에 수직한 좌표 평면 상의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 중 적어도 하나를 포함하며; 상기 (c) 단계에서 아웃 오브 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment)를 정렬하는 단계는 (c3) 상기 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 크기에 기초하여 상기 각 카메라로 입사되는 빔의 광 경로의 거리에 대한 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 와, (c4) 상기 한 쌍의 홀로그램 내의 동일한 위치에 복수의 단위 섹터를 선택하고, 상호 대응하는 단위 섹터에 대해 상기 상관관계(Correlation) 기법을 적용하여 추출한 상기 각 단위 섹터에 대한 상관관계 피크값에 기초하여, 상기 좌표 평면의 두 축을 중심으로 하는 회전 방향으로의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020100087791A
公开(公告)日：2010-08-06
申请号：KR1020090006775
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A birefringence measuring method and apparatus using off-axis digital holography are provided to enable measurement of a large object such as LCD glass and minimize causes of noise. CONSTITUTION: A birefringence measuring apparatus using off-axis digital holography comprises a first photographing unit(50), a second photographing unit(60), a light source(10), a first beam splitter(20), a reference mirror(30), a second beam splitter(21), a reflection mirror(40), a third beam splitter(22), a vertical linear polarizer(51), a horizontal linear polarizer(61), and a controller. The light source generates a linear polarized beam having a polarization direction of 45°. The first beam splitter outputs the linear polarized beam by dividing it into a measurement beam route and a reference beam route. The reference mirror is arranged to incline to the reference beam route in order to apply off-axis technique. The second beam splitter faces the linear polarized beam to a reference mirror. The reflection mirror reflects the linear polarized beam to a measurement object(100). The third beam splitter outputs the measurement beam by dividing it into the first photographing unit and the second photographing unit. The vertical linear polarizer passes the vertical polarization component of interference light and outputs it to the first photographing unit. The horizontal linear polarizer passes through the horizontality polarization component of interference light and outputs it to the second photographing unit. The controller calculates the level of birefringence on the measurement object.
Abstract translation: 目的：提供使用离轴数字全息术的双折射测量方法和装置，以便能够测量诸如LCD玻璃的大型物体并且最小化噪声的原因。 构成：使用离轴数字全息术的双折射测量装置包括第一拍摄单元（50），第二拍摄单元（60），光源（10），第一分束器（20），参考反射镜（30） ，第二分束器（21），反射镜（40），第三分束器（22），垂直线偏振器（51），水平线性偏振器（61）和控制器。 光源产生偏振方向为45°的线偏振光束。 第一分束器通过将线偏振光束分成测量光束路径和参考光束路径来输出。 参考镜被布置成倾斜到参考光束路径以便应用离轴技术。 第二分束器将线偏振光束面对参考反射镜。 反射镜将线偏振光束反射到测量对象（100）。 第三分束器通过将测量光束分成第一拍摄单元和第二拍摄单元来输出测量光束。 垂直线偏振器通过干涉光的垂直偏振分量并将其输出到第一拍摄单元。 水平线性偏振器通过干涉光的水平偏振分量并将其输出到第二拍摄单元。 控制器计算测量对象上的双折射水平。
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公开(公告)号：KR100902170B1
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：KR1020080046004
申请日：2008-05-19
Applicant: (주)펨트론
CPC classification number: G01B11/24 , G01B11/2509 , G01N21/956 , G01N2021/95638
Abstract: A surface shape measuring apparatus is provided to improve the processing speed and to obtain a two-dimension image by using a black and white camera. A surface shape measuring apparatus is composed of a first light source(31) irradiating a first single color light to the surface of the object, a second light source(32) irradiating the second single color light to the surface of the object, a black and white camera(10) taking a picture of the first and second single color lights, and a control unit(40) producing a mixed color image.
Abstract translation: 提供了一种表面形状测量装置，以通过使用黑白相机提高处理速度并获得二维图像。 表面形状测量装置由将第一单色光照射到物体的表面上的第一光源（31），将第二单色光照射到物体表面的第二光源（32），黑色 和白相机（10）拍摄第一和第二单色光的图像，以及产生混合彩色图像的控制单元（40）。
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