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公开(公告)号：KR101005161B1
公开(公告)日：2011-01-04
申请号：KR1020090006775
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 Off-axis 방식의 디지털 홀로그래피를 이용한 복굴절 측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 복굴절 측정 장치는 수직 편광 및 수평 편광 방향 각각에 대하여 45°기울어진 편광 방향을 갖는 선형 편광 빔을 생성하는 광원부와; 상기 광원부로부터의 상기 선형 편광 빔을 측정 빔 경로와 기준 빔 경로로 분할하여 출력하는 제1 빔 스플리터와; Off-axis 방식이 적용 가능하도록 상기 기준 빔 경로에 대해 기울어져 배치된 기준 미러와; 상기 제1 광 분할부로부터 출광된 상기 선형 편광 빔이 상기 기준 미러에 의해 반사되도록 상기 제1 광 분할부로부터 출광된 상기 선형 편광 빔을 상기 기준 미러 방향으로 향하게 하는 제2 빔 스플리터와; 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 선형 편광 빔이 상기 측정 대상물을 투과하도록 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 선형 편광 빔을 상기 측정 대상물 방향으로 반사시키는 반사 미러와; 상기 선형 편광 빔이 상기 기준 미러로부터 반사되어 형성된 기준빔 및 상기 선형 편광 빔이 상기 측정 대상물을 투과하여 형성된 측정빔을 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부 방향으로 분할하여 출력하기 위한 제3 빔 스플리터와; 상기 제1 촬상부와 상기 제3 빔 스플리터 사이에 배치되어 상기 측정빔 및 상기 기준빔 간의 간섭에 의해 형성된 간섭광 중 수직 편광 성분을 통과시켜 상기 제1 촬상부로 출력하는 수직 편광판과; 상기 제1 촬상부와 상기 제3 빔 스플리터 사이에 배치되어 상기 간섭광 중 수평 편광 성분을 통과시켜 상기 제2 촬상부로 출력하는 수평방향 선편광판; 상기 제1 촬상부에 의해 촬상된 상기 수직 편광 성분과 상기 제2 촬상부에 의해 촬상된 상기 수평 편광 성분 각각에 대해 Off-axis 방식의 디지털 홀로그래피 해석 방식이 적용되어 상기 수직 편광 성분에 대한 수직 편광 위상 정보와 상기 수평 편광 성분에 대한 수평 편광 위상 정보가 추출하고, 상기 수직 편광 위상 정보 및 상기 수평 편광 위상 정보에 기초하여 상기 측정 대상물에 대한 복굴절의 크기를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020100095775A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：KR1020090014764
申请日：2009-02-23
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A camera aligning method for aligning two cameras applied to an optical system for 3D measurement is provided to remove in-plane mis-alignment and out-of-plane misalignment occurring between two cameras with 6 degrees of freedom. CONSTITUTION: The first camera(51) photographs a hologram about a vertical polarizing element of interference light. The second camera(52) photographs a hologram about a horizontal polarizing element of the interference light. In-plane mis-alignment and out-of-plane misalignment between the first and second cameras are aligned using a correlation technique for a pair of holograms.
Abstract translation: 目的：提供一种用于对准应用于三维测量光学系统的两台摄像机的摄像机对准方法，以消除在6个自由度的两台摄像机之间发生的平面内错误对准和平面外失准。 构成：第一台相机（51）拍摄一幅关于干涉光垂直偏振元件的全息图。 第二相机（52）拍摄关于干涉光的水平偏振元件的全息图。 使用一对全息图的相关技术来对齐第一和第二相机之间的平面内错误对准和平面外的未对准。
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公开(公告)号：KR1020100085595A
公开(公告)日：2010-07-29
申请号：KR1020090004976
申请日：2009-01-21
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: An optical critical dimension metrology method and an apparatus using a spectral interferometry are provided to increase measuring speed while obtaining SE parameter through one single shot. CONSTITUTION: A first spectrometer(16) and a second spectrometer(17) are arranged. A light source(10) projects the white light. A polariscope(12) polarizes the white light from the light source to a TM polarizer and a direction of 45 degrees from the TM polarizer. A beam splitter(13) makes a polarized linear white light to a measurement object. An OCD interferometer(14) forms a light interference with a measured light reflected from the target and a reference light reflected from a reference mirror.
Abstract translation: 目的：提供光学关键尺寸测量方法和使用光谱干涉测量的装置，以通过一次拍摄获得SE参数来提高测量速度。 构成：布置第一光谱仪（16）和第二光谱仪（17）。 光源（10）投射白光。 偏振器（12）将来自光源的白光偏振到TM偏振器，并且与TM偏振器成45度的方向。 分束器（13）对测量对象产生偏振线性白光。 OCD干涉仪（14）与从目标反射的测量光和从参考反射镜反射的参考光形成光干涉。
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公开(公告)号：KR100647493B1
公开(公告)日：2006-11-23
申请号：KR1020040026014
申请日：2004-04-16
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/06
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 측정방법은 적어도 3 이상의 상호 상이한 파장의 광에 대해 위상 천이 간섭법을 이용하여 위상 데이터를 획득하는 단계와; 상기 위상 데이터를 분석하여 상기 박막의 두께 및 형상을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 측정시간, 측정된 데이터의 량, 측정된 데이터를 분석하기 위한 데이터의 처리시간을 현저히 감소시켜, 실제 반도체 등의 제조 공정에 용이하게 적용할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100955272B1
公开(公告)日：2010-04-30
申请号：KR1020090006789
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 측정대상물의 표면의 2D 이미지를 촬상하는 표면형상 측정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표면형상 측정장치는 제1 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제1 광원과; 상기 제1 단색광과 상이한 색상의 제2 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제2 광원과; 상기 제1 광원 및 상기 제2 광원으로부터 조사되어 상기 측정대상물의 표면으로부터 반사된 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광을 촬상하는 흑백 카메라와; 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광이 상기 측정대상물의 표면에 각각 조사되는 상태에서 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광에 각각 대응하는 제1 흑백 이미지 데이터 및 제2 흑백 이미지 데이터가 획득되도록 상기 제1 광원, 상기 제2 광원 및 상기 흑백 카메라를 제어하며, 상기 제1 흑백 이미지 데이터 및 상기 제2 흑백 이미지 데이터에 기초하여 제3 흑백 이미지 데이터를 산출하며, 상기 제1 흑백 이미지 데이터, 상기 제2 흑백 이미지 데이터 및 상기 제3 흑백 이미지 데이터를 상호 대응하는 픽셀에 대한 R,G,B 데이터로 처리하여 상기 측정대상물의 표면에 대한 합성 컬러 이미지를 생성하는 제어부를 포함하며, 상기 제1 단색광은 녹색광 및 청색광 중 어느 하나이고, 상기 제2 단색광은 적색광인 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 저비용의 흑백 카메라를 이용하여 컬러 2D 이미지를 획득 가능하게 되고, 컬러 카메라보다 처리 속도가 빠른 흑백 카메라를 이용함으로써 처리 속도 또한 향상시킬 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090120383A
公开(公告)日：2009-11-24
申请号：KR1020080098020
申请日：2008-10-07
Applicant: (주)펨트론
Abstract: PURPOSE: A surface profile measuring apparatus is provided to obtain a 2D(2-Dimensional) color image by using an inexpensive monochrome camera. CONSTITUTION: A surface profile measuring apparatus is composed of first, second, and third light sources(31,32,33), a monochrome camera(10), and a control unit(40). The first light source irradiates a first monochromatic light to the surface of an object(100). The second light source irradiates the first monochromatic light and a second monochromatic light having another color to the surface of the object. The third light source irradiates a third monochromatic light which is different from the first and second monochromatic lights to the surface of the object. The monochrome camera photographs the first, second, and third monochromatic lights reflected from the surface of the object. The control unit controls the first, second, and third light sources and the monochrome camera to obtain the first, second, and third black-and-white image data corresponded to the first, second, and third monochromatic lights. The control unit generates a color composite image about the surface of the object by processing the black-and-white image data as RGB(Red Green Blue) data about the corresponded pixel.
Abstract translation: 目的：提供一种表面轮廓测量装置，通过使用廉价的单色相机来获得2D（2维）彩色图像。 构成：表面轮廓测量装置由第一，第二和第三光源（31,32,33），单色相机（10）和控制单元（40）组成。 第一光源将第一单色光照射到物体（100）的表面。 第二光源将第一单色光和具有另一颜色的第二单色光照射到物体的表面。 第三光源将与第一和第二单色光不同的第三单色光照射到物体的表面。 单色相机拍摄从物体表面反射的第一，第二和第三单色光。 控制单元控制第一，第二和第三光源和单色相机，以获得对应于第一，第二和第三单色光的第一，第二和第三黑白图像数据。 控制单元通过处理黑白图像数据作为关于对应像素的RGB（红绿蓝）数据来生成关于对象表面的彩色合成图像。
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公开(公告)号：KR1020060083514A
公开(公告)日：2006-07-21
申请号：KR1020050004237
申请日：2005-01-17
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 두께 및 형상 측정 시스템은 광을 방출하는 광원과; 입사되는 광의 경로에 대한 수직 방향에 대해 소정 각도 기울어져 배치되는 기준 미러와; 상기 광원으로부터의 상기 광을 상기 측정부 및 상기 기준 미러로 분리 조사하는 광 분할부와, 상기 기준 미러와 상기 광 분할부 사이에 배치되어 소정의 간섭 파장 범위의 광을 투과하는 간섭 필터를 갖는 광 간섭모듈과; 상기 간섭 파장 범위를 포함하는 파장 분산 범위를 가지며, 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광과 상기 기준 미러로부터 반사되는 광을 분광하는 분광부와; 상기 분광부에 의해 분광된 광이 결상되는 결상부와; 상기 결상부에 결상된 광의 파장 범위 중 상기 간섭 파장 범위를 제외한 파장 범위의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 두께에 대한 정보를 산출하고, 상기 산출된 두께에 대한 정보와 상기 결상부에 결상된 광 중 상기 간섭 파장 범위 내의 광에 기초하여 공간-캐리어 위상 측정법(Spatial-carrier phase measurement methods)에 따라 상기 측정 대상물의 형상에 대한 정보를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 두께 및 형상을 측정하는데 소요되는 시간을 감소시키면서도 제조 비용을 절감할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020130112375A
公开(公告)日：2013-10-14
申请号：KR1020120034693
申请日：2012-04-04
Applicant: (주)펨트론
Abstract: PURPOSE: A dual lane inspection facility for a surface mounted component is provided to enable the inspection of products from two production lines at the same time by being placed at the two surface mounted component production lines. CONSTITUTION: A first inspection rail (100) has a first inlet, a first inspection unit, and a first outlet (150). The first inspection rail transfers inspection objects in a first direction. The first inspection rail section is installed on a base plate. A second inspection rail (300) faces the first inspection rail. The second inspection rail is installed on the base plate along the first direction.
Abstract translation: 目的：提供用于表面安装部件的双车道检测设备，以便通过放置在两个表面安装的部件生产线上同时检查来自两条生产线的产品。 构成：第一检查轨道（100）具有第一入口，第一检查单元和第一出口（150）。 第一检查轨在第一方向上传送检查对象。 第一检查轨道部分安装在基板上。 第二检查轨道（300）面向第一检查轨道。 第二检查轨沿着第一方向安装在基板上。
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公开(公告)号：KR1020090120394A
公开(公告)日：2009-11-24
申请号：KR1020090006789
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론
Abstract: PURPOSE: A surface profile measuring device is provided to produce synthesis color image using black and white image data obtained form a monochrome camera. CONSTITUTION: A surface profile measuring device comprises a first light source(31), a second light source(32), a monochrome camera(10) and a controller(40) are included. The first light source emits a first monochrome light on the surface of an object(100) to be measured. The second light source emits a second monochrome light which is different from the first monochrome light on the surface of the object to be measured. The monochrome camera photographs the first and the second monochrome lights reflected from the surface of the object. The controller controls the first and the second light sources and the monochrome camera to obtain first black and white image data and second black and white image data.
Abstract translation: 目的：提供表面轮廓测量装置，以使用从单色相机获得的黑白图像数据产生合成彩色图像。 构成：包括第一光源（31），第二光源（32），单色照相机（10）和控制器（40）的表面轮廓测量装置。 第一光源在要测量的物体（100）的表面上发射第一单色光。 第二光源发射与被测量物体表面上的第一单色光不同的第二单色光。 单色相机拍摄从物体表面反射的第一个和第二个单色光。 控制器控制第一和第二光源和单色相机以获得第一黑白图像数据和第二黑白图像数据。
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公开(公告)号：KR100747044B1
公开(公告)日：2007-08-07
申请号：KR1020050004237
申请日：2005-01-17
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 두께 및 형상 측정 시스템은 광을 방출하는 광원과; 입사되는 광의 경로에 대한 수직 방향에 대해 소정 각도 기울어져 배치되는 기준 미러와; 상기 광원으로부터의 상기 광을 측정 대상물 및 상기 기준 미러로 분리 조사하는 광 분할부와, 상기 기준 미러와 상기 광 분할부 사이에 배치되어 소정의 간섭 파장 범위의 광을 투과하는 간섭 필터를 갖는 광 간섭모듈과; 상기 간섭 파장 범위를 포함하는 파장 분산 범위를 가지며, 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광과 상기 기준 미러로부터 반사되는 광을 분광하는 분광부와; 상기 분광부에 의해 분광된 광이 결상되는 결상부와; 상기 결상부에 결상된 광의 파장 범위 중 상기 간섭 파장 범위를 제외한 파장 범위의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 두께에 대한 정보를 산출하고, 상기 산출된 두께에 대한 정보와 상기 결상부에 결상된 광 중 상기 간섭 파장 범위 내의 광에 기초하여 공간-캐리어 위상 측정법(Spatial-carrier phase measurement methods)에 따라 상기 측정 대상물의 형상에 대한 정보를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 두께 및 형상을 측정하는데 소요되는 시간을 감소시키면서도 제조 비용을 절감할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种厚度和形状测量系统。 根据本发明的厚度和形状测量系统包括：发光的光源; 参考反射镜，相对于入射光的路径相对于垂直方向成角度地设置; 光分被设置在分割和参考反射镜和分割光学干涉已被测定，其用于照射来自光源的光分离到物体透射光的预定干扰波长范围内的干涉滤波器的光与参照反射镜之间 一个模块; 具有包括所述干涉波长范围的波长色散范围并用于分离从所述测量对象反射的光和从所述参考反射镜反射的光的光谱部分; 图像形成单元，用于由分光单元形成光束; 光范围成像到上述结果的波长的基础上，具有的波长范围以外的干扰波范围计算关于所述对象的厚度信息光的被测定，并且所述信息和所述光形成以上的结果为计算出的厚度的图像 以及控制器，用于基于干涉波长范围内的光根据空间载波相位测量方法计算关于测量对象的形状的信息。 因此，可以减少测量厚度和形状所需的时间，同时降低制造成本。
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