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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2016031278A
公开(公告)日：2016-03-07
申请号：JP2014153665
申请日：2014-07-29
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor： 林 和也
Abstract: 【課題】優れた検出感度を有する物理量センサーを提供すること、また、かかる物理量センサーを備える圧力センサー、高度計、電子機器および移動体を提供すること。 【解決手段】本発明の物理量センサー1は、一方の面に開口している凹部24を有する基板2と、凹部24の底部を含んでいて、受圧により撓み変形するダイヤフラム部20と、ダイヤフラム部20に配置されているピエゾ抵抗素子5と、基板2の他方の面側でダイヤフラム部20の外周に沿って配置されていて、ダイヤフラム部20に対してダイヤフラム部20の厚さ方向に凹部24の深さdよりも小さい高さhで突出している段差部30と、を備える。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供具有优异的检测灵敏度的物理量传感器，并提供设置有物理量传感器的压力传感器，高度计，电子设备和移动物体。解决方案：物理量传感器1 包括：基板2，其包括在一个面上开口的凹部24;隔膜部20，其包括凹部24的底部并且通过接受压力而挠曲变形;压阻元件5，布置在隔膜部分中 以及台阶部30，其沿着膜部20的周边配置在基板2的另一面上，并且在隔膜部20的厚度方向上从隔膜部20突出小于 凹入部分24的深度d。选择的图示：图1
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公开(公告)号：JP2019060790A
公开(公告)日：2019-04-18
申请号：JP2017187173
申请日：2017-09-27
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor： 林 和也
Abstract: 【課題】被接触物との接触を精度よく検知することができる外力検知装置、移動体およびロボットを提供する。 【解決手段】外力検知装置は、内部空間を有する接触検知部と、流体供給部およびバルブを備え、前記内部空間内に流体を供給することで前記内部空間内を加圧する加圧装置と、前記内部空間と前記加圧装置とを接続する第1接続部と、前記内部空間内の圧力を検出する圧力検出装置と、前記内部空間と前記圧力検出装置とを接続する第2接続部と、を有している。また、前記第1接続部および前記第2接続部は、それぞれ、可撓性を有するチューブで構成されている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2016102768A
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：JP2014242323
申请日：2014-11-28
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor： 林 和也
CPC classification number: G01L9/0054 , G01C5/06 , G01L9/0019 , G01L9/0048
Abstract: 【課題】優れた信頼性を有する電子デバイスおよび物理量センサーを提供すること、また、かかる電子デバイスを備える圧力センサー、振動子、高度計、電子機器および移動体を提供すること。 【解決手段】本発明の物理量センサー1は、基板2と、基板2の一方の面側に配置されているピエゾ抵抗素子5と、基板2の一方の面側に基板2の平面視でピエゾ抵抗素子5を囲んで配置されている壁部と、壁部に対して基板2とは反対側に配置されていて空洞部Sを壁部とともに構成している天井部と、天井部の基板2側に配置されていて、天井部よりも熱膨張率の小さい材料を含む内側梁部644と、を備える。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供具有优异的可靠性的电子设备和物理量传感器，并且提供一种压力传感器，振动器，高度计，电子设备和包括电子设备的移动体。解决方案：物理量传感器 本发明的第一实施例包括基板2，设置在基板2的一个表面侧的压阻元件5，设置在基板2的一个表面侧上并且在基板2的平面图中包围压阻元件5的壁 ，设置在与基板2相对的壁的相对侧并与壁一起构成空腔S的天花板以及设置在天花板的基板2侧的内梁644，其包括具有较小热膨胀系数的材料 比上限。图1
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公开(公告)号：JP2016040521A
公开(公告)日：2016-03-24
申请号：JP2014164066
申请日：2014-08-12
Applicant: セイコーエプソン株式会社
CPC classification number: G01L9/0042 , G01C5/06 , G01L9/0054 , G01L19/147
Abstract: 【課題】優れた温度特性を有する物理量センサーを提供すること、また、かかる物理量センサーを備える圧力センサー、高度計、電子機器および移動体を提供すること。 【解決手段】本発明の物理量センサー1は、一方の面に開口している凹部24を有する基板2と、凹部24の底部を含んでいて、受圧により撓み変形するダイヤフラム部20と、ダイヤフラム部20に配置されているピエゾ抵抗素子5と、空洞部Sを介してダイヤフラム部20に対向している被覆層641と、基板2と被覆層641との間に配置されていて、基板2および被覆層641とともに空洞部Sを構成している配線層62、64と、を備え、配線層62、64が金属を含んで構成され、平面視において、凹部24の底部の外周縁241は、配線層62の内壁面の基板2側の端621よりもダイヤフラム部20の中心側に位置している。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供具有优异的温度特性的物理量传感器，并提供包括物理量传感器的压力传感器，高度计，电子设备和移动体。解决方案：本发明的物理量传感器1 包括：具有在基板的一个表面上开口的凹部24的基板2; 隔膜20，其包括凹部24的底部并且承受变形和变形的压力; 设置在隔膜20上的压阻元件5; 经由空腔S与隔膜20相对的涂层641; 以及布置在基板2和涂层641之间并与基板2和涂层641一起构成空腔S的布线层62,64。布线层62,64包括金属。 在平面图中，凹部24的底部的外周缘241位于比布线层62的内壁的基板2侧的端部621更靠近隔膜20的中心的位置。图示：图 1
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公开(公告)号：JP2015143635A
公开(公告)日：2015-08-06
申请号：JP2014016647
申请日：2014-01-31
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor： 林 和也
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L19/08 , A61B5/00 , B81B3/0072 , B81C1/00158 , G01C21/00 , G01C5/06 , G01L19/04 , G01L9/0042 , G01L9/0054 , H01L21/00 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127
Abstract: 【課題】熱膨張に起因するダイアフラムの不本意な変形を低減することのできる物理量センサー、この物理量センサーを備えた信頼性の高い高度計、電子機器および移動体を提供する。 【解決手段】物理量センサー1は、ダイアフラム24を有する基板2と、ダイアフラム24上に配置されているセンサー素子3と、基板2上に配置され、センサー素子3を囲んでいる空洞部7を有する壁部5と、壁部5と連続している被覆部6と、被覆部6の一部と重なって配置され、被覆部6の構成材料よりも熱膨張率の小さい材料を含んでいる補強部8と、を有している。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种物理量传感器，其能够减少由于热膨胀导致的隔膜的非预期变形，并且还提供具有物理量传感器并具有高可靠性的高度计，电子设备和可移动体。 解决方案：物理量传感器1包括：具有隔膜24的基板2; 设置在隔膜24上的传感器元件3; 壁部5设置在基板2上并且具有围绕传感器元件3的空腔部分7; 从壁部5延伸的涂布部6; 并且加强部分8设置成与涂覆部分6的部分重叠并且包含热膨胀系数小于涂层部分6的构成成分的热膨胀系数的材料。
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