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公开(公告)号：JP6340985B2
公开(公告)日：2018-06-13
申请号：JP2014164066
申请日：2014-08-12
Applicant: セイコーエプソン株式会社
CPC classification number: G01L9/0042 , G01C5/06 , G01L9/0054 , G01L19/147
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公开(公告)号：JP2016099147A
公开(公告)日：2016-05-30
申请号：JP2014234264
申请日：2014-11-19
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Abstract: 【課題】検出感度を向上させることができる物理量センサーを提供すること、また、かか る物理量センサーを備える圧力センサー、高度計、電子機器および移動体を提供すること 。 【解決手段】本発明の物理量センサー1は、平面視で輪郭が内側に入り込んでいる部分2 6e、26f、26g、26hを有し、受圧により撓み変形するダイヤフラム部20と、 平面視で内側に入り込んでいる部分26e、26f、26g、26hに沿って配置されて いて、歪みにより電気信号を出力するピエゾ抵抗素子5e1、5e2、5f1、5f2、 5g1、5g2、5h1、5h2と、を備える。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供能够提高检测灵敏度的物理量传感器，以及提供包括这种物理量传感器的压力传感器，高度计，电子设备和移动体。解决方案：物理量传感器1具有部件 2 6e，26f，26g和26h，其轮廓以较平的视图进入内侧。 物理量传感器包括：隔膜20，其在接受压力时翘曲和变形; 以及多个压阻元件5e1,5e2,5f1,5f2,5g1,5g2,5h1和5h2，它们沿着26e，26f，26g和26h的部分设置，其轮廓以较平面的视图进入内侧，并且每个 其中由于应变而输出电信号。选择图：图2
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公开(公告)号：JP2018155677A
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：JP2017053931
申请日：2017-03-21
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor： 林 和也
CPC classification number: G01L19/0681 , G01L9/0055 , G01L19/0654
Abstract: 【課題】優れた圧力検出精度を発揮することのできる圧力センサー、圧力センサーの製造方法、圧力センサーモジュール、電子機器および移動体を提供する。 【解決手段】圧力センサーは、受圧により撓み変形するダイアフラムを有する基板と、前記基板の一方の面側に配置され、前記基板の平面視で前記ダイアフラムを囲む側壁部と、空間を介して前記ダイアフラムに対向して配置され、前記空間を封止する封止層と、前記側壁部と前記封止層との間に位置し、前記基板の平面視で前記ダイアフラムを囲むように配置されている金属層と、を有し、前記基板の平面視で、前記金属層の内周端は、前記ダイアフラムの外側に位置している。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2015068799A
公开(公告)日：2015-04-13
申请号：JP2013205752
申请日：2013-09-30
Applicant: セイコーエプソン株式会社
CPC classification number: G01L9/0073
Abstract: 【課題】感度のよい物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体を提供すること。 【解決手段】物理量センサー1は、受圧により撓み変形するダイヤフラム部64を有する基板6と、ダイヤフラム部64に設けられた固定電極71と、固定電極71と空隙を隔てて対向配置されている可動部722を有する可動電極72と、を有し、ダイヤフラム部64の平面視形状は、所定方向に延びた長手形状をなし、固定電極71の平面視形状は、所定方向に延びた長手形状をなしていること特徴とする。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供具有高灵敏度的物理量传感器，压力传感器，高度计，电子设备和移动体。解决方案：物理量传感器1的特征在于物理量传感器包括基板 6具有隔膜部分64，在施加压力时弯曲变形，设置在隔膜部分64中的固定电极71和可移动电极72，可动电极72具有面对固定电极71设置在其间的间隙的可动部分722，隔膜部分 在平面图中形成沿预定方向延伸的纵向形状，并且在平面图中形成沿预定方向延伸的纵向形状的固定电极71。
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公开(公告)号：JP2018165681A
公开(公告)日：2018-10-25
申请号：JP2017063331
申请日：2017-03-28
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor： 林 和也
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C2201/0133 , G01L9/0055
Abstract: 【課題】優れた圧力検出精度を発揮することのできる圧力センサー、圧力センサーの製造方法、圧力センサーモジュール、電子機器および移動体を提供する。 【解決手段】圧力センサーは、受圧により撓み変形するダイアフラムを有する基板と、前記基板の一方の面側に配置され、前記基板の平面視で前記ダイアフラムを囲む側壁部と、空間を介して前記ダイアフラムに対向して配置され、前記空間を封止する封止層と、前記側壁部と前記封止層との間に位置している枠状の金属層と、を有し、前記封止層は、前記空間に臨む貫通孔を有している第1封止層と、前記第1封止層に対して前記空間とは反対側に位置し、前記貫通孔を封止する第2封止層と、を有し、前記基板の平面視で、前記金属層の内周端は、前記貫通孔と前記ダイアフラムの外縁との間に位置している。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2016095270A
公开(公告)日：2016-05-26
申请号：JP2014232740
申请日：2014-11-17
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor： 林 和也
Abstract: 【課題】検出感度を向上させることができる物理量センサーを提供すること、また、かかる物理量センサーを備える圧力センサー、高度計、電子機器および移動体を提供すること。 【解決手段】本発明の物理量センサー1は、受圧により撓み変形するダイヤフラム部20を有する基板2と、ダイヤフラム部20の一方の面側に配置されていて歪みにより電気信号を出力するピエゾ抵抗素子5と、基板2の一方の面側に基板2の平面視でピエゾ抵抗素子5を囲んで配置されている壁部と、壁部に対して基板2とは反対側に配置されていて空洞部Sを壁部とともに構成している被覆層641と、を備え、ダイヤフラム部20は、空洞部Sとは反対側に厚さ方向に突出している凸部26を有し、ピエゾ抵抗素子5は、平面視で、凸部26と並んでいる。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够提高检测灵敏度并提供压力传感器，高度计，电子设备和包括这种物理量传感器的移动体的物理量传感器。解决方案：本发明的物理量传感器1 本发明包括：具有隔膜20的基板2，其在接收压力时翘曲和变形; 压电元件5，其设置在隔膜20的一个表面上，并且由于应变而输出电信号; 壁部，其设置在基板2的一侧，其以较平的视图包围基板2上的压阻元件5; 以及与壁部相对于壁部配置在与基板2相反的一侧的涂层641，与壁部一起形成空腔部S. 隔膜20具有在与空腔部分S相对的一侧在厚度方向上突出的凸起26.压阻元件5以较平的视图与凸起26对齐。选择的图示：图1
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公开(公告)号：JP2016031279A
公开(公告)日：2016-03-07
申请号：JP2014153666
申请日：2014-07-29
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor： 林 和也
Abstract: 【課題】優れた検出感度を有する物理量センサーを提供すること、また、かかる物理量センサーを備える圧力センサー、高度計、電子機器および移動体を提供すること。 【解決手段】本発明の物理量センサー1は、一方の面に開口している凹部24を有する基板2と、凹部24の底部を含んでいて、受圧により撓み変形するダイヤフラム部20と、ダイヤフラム部20に配置されているピエゾ抵抗素子5と、基板2の他方の面側でダイヤフラム部20の外周に沿って配置されていて、ダイヤフラム部20に対してダイヤフラム部20の厚さ方向に凹部24の深さdよりも小さい高さhで突出している段差部30と、を備える。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2015137949A
公开(公告)日：2015-07-30
申请号：JP2014009911
申请日：2014-01-22
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor： 林 和也
Abstract: 【課題】感度の良い物理量センサー、高度計、電子機器および移動体を提供すること。 【解決手段】物理量センサー1は、受圧により撓み変形する受圧面641を備えているダイアフラム部64を有する基板6、ダイアフラム部64の受圧面641とは反対の面側に配置されているセンサー素子7と、基板6のセンサー素子7側に配置されていて、平面視でセンサー素子7を囲んでいる素子側壁部88と、受圧面641側に配置され、平面視でダイアフラム部64を囲んでいる受圧面側壁部68と、を備え、素子側壁部88の素子側壁端部872が、受圧面側壁部68の受圧面側壁端部673よりもダイアフラム部64の中心側に位置しており、平面視において、向い合う素子側壁端部872どうしの距離をLとし、素子側壁端部872と受圧面側壁端部673との距離をDとしたとき、0.1≦(D/L)×100の関係を満足することを特徴とする。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供具有优异灵敏度的物理量传感器，并且还提供高度计，电子设备和移动体。解决方案：物理量传感器1包括：基板6，其具有设置有 压力接收表面641通过接收压力而弯曲变形; 传感器元件7，设置在与隔膜部分64的压力接收表面641相对的表面侧; 元件侧壁部88设置在基板6的传感器元件7侧并且在俯视图中观察时围绕传感器元件7; 压力接收表面侧壁部分68设置在压力接收表面641侧并且在俯视图中观察时围绕隔膜部分64。 元件侧壁部88的元件侧壁端部872比受压面侧壁部68的受压面侧壁端部673更靠近隔膜部64的中心侧。当元件侧壁部88之间的距离 面对的侧壁端部872由L表示，元件侧壁端部872和受压面侧壁端部673之间的距离由俯视图中的D表示，L和D满足关系 为0.1≤（D / L）×100。
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公开(公告)号：JP2015068798A
公开(公告)日：2015-04-13
申请号：JP2013205751
申请日：2013-09-30
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Abstract: 【課題】感度のよい物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体を提供すること。 【解決手段】物理量センサー1は、受圧により撓み変形するダイヤフラム部64を有する基板6と、ダイヤフラム部64の一方の主面上に設けられた固定電極71と、固定電極71とダイヤフラム部64の中心との間に設けられた支持部721、固定電極71と空隙を隔てて対向配置されている可動部722および可動部722と支持部721とを連結する連結部723を有する可動電極72とを有することを特徴とする物理量センサー。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供具有高灵敏度的物理量传感器，压力传感器，高度计，电子设备和移动体。解决方案：物理量传感器1的特征在于物理量传感器包括基板 6，其具有在施加压力时弯曲变形的隔膜部分64，设置在隔膜部分64的一个主表面上的固定电极71和具有设置在固定电极71和固定电极71的中心之间的支撑部分721的可移动电极72 隔膜部分64，与固定电极71相对设置的可移动部分722，其间具有间隙，以及用于联接可动部分722和支撑部分721的联接部分723。
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公开(公告)号：JP2016099302A
公开(公告)日：2016-05-30
申请号：JP2014238480
申请日：2014-11-26
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor： 林 和也
Abstract: 【課題】検出感度を向上させることができる物理量センサーを提供すること、また、かか る物理量センサーを備える圧力センサー、高度計、電子機器および移動体を提供すること 。 【解決手段】本発明の物理量センサー1は、厚さ方向に開口している凹部26を有し、受 圧により撓み変形するダイヤフラム部20と、平面視で凹部26に重なってダイヤフラム 部20に配置されていて歪みにより電気信号を出力するピエゾ抵抗素子5と、を備える。 【選択図】図4
Abstract translation: 要解决的问题：提供能够提高检测灵敏度的物理量传感器，以及提供包括这种物理量传感器的压力传感器，高度计，电子设备和移动体。解决方案：物理量传感器1具有 凹部26，其在厚度方向上开口。 物理量传感器1包括：膜片部20，其在接收压力时翘曲变形; 并且设置在隔膜部分20上的压阻元件5以较平的视图与凹部26重叠，并且由于应变而输出电信号。图4
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