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公开(公告)号:CN116418311A
公开(公告)日:2023-07-11
申请号:CN202211017191.3
申请日:2022-08-23
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板;中央部,所述中央部包括依次层叠在所述基板上的第一电极的第一部分、压电层的第一部分和第二电极的第一部分;以及反射区域,设置在所述中央部的侧部并且包含所述第一电极的第二部分、插入层、所述压电层的第二部分和所述第二电极的第二部分。所述插入层的与中央部相邻的侧表面具有倾斜表面,所述第二电极的所述第一部分和第二电极的所述第二部分共面,并且所述第二电极的端部在所述反射区域中的与所述插入层的所述倾斜表面叠置。
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公开(公告)号:CN113497600A
公开(公告)日:2021-10-12
申请号:CN202011011069.6
申请日:2020-09-23
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;第一电极,设置在所述基板上;压电层,设置为覆盖所述第一电极的至少一部分;第二电极,设置为覆盖所述压电层的至少一部分;金属焊盘,连接到所述第一电极和所述第二电极;以及保护层,设置为至少覆盖所述金属焊盘。
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公开(公告)号:CN108123695A
公开(公告)日:2018-06-05
申请号:CN201711211798.4
申请日:2017-11-28
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02007 , H01L41/047 , H03H9/02015 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/17 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/54
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:膜层,与基板一起形成腔;下电极,设置在所述膜层上;压电层,设置在所述下电极的平坦表面上;以及上电极,覆盖所述压电层的一部分。所述压电层的侧部的整个区域暴露于空气。所述压电层的所述侧部相对于所述下电极的顶表面具有65°到90°的倾斜度。
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公开(公告)号:CN111211756B
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN201910931599.3
申请日:2019-09-29
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;绝缘层,设置在所述基板上;谐振部,设置在所述绝缘层上并且包括堆叠在所述绝缘层上的第一电极、压电层和第二电极;腔,设置在所述绝缘层和所述谐振部之间;突起部,包括设置在所述腔的下表面上的多个突起;以及疏水层,设置在所述腔的上表面和所述突起部的表面上。
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公开(公告)号:CN110504936B
公开(公告)日:2024-03-15
申请号:CN201910404727.9
申请日:2019-05-16
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器及其制造方法,所述体声波谐振器包括:基板;下电极,设置在所述基板上;压电层,被设置为覆盖所述下电极的至少一部分;上电极,被设置为覆盖所述压电层的至少一部分;以及钝化层,被设置为覆盖所述上电极的至少一部分,其中,所述钝化层包括非修整加工部,所述非修整加工部设置在所述体声波谐振器的有效区的外部,并且所述非修整加工部的厚度比所述钝化层的设置在所述有效区中的部分的厚度厚,其中,所述有效区叠置有所述下电极的部分、所述压电层的部分和所述上电极的部分。
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公开(公告)号:CN117674755A
公开(公告)日:2024-03-08
申请号:CN202310467838.0
申请日:2023-04-27
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器以及体声波谐振器制造方法。所述体声波(BAW)谐振器包括中央部分和延伸部分,在所述中央部分中,第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上,所述延伸部分从所述中央部分向外延伸,并且插入层和防损膜在所述延伸部分中设置在所述基板与所述第二电极之间。所述防损膜形成为具有 至 的厚度。所述插入层堆叠在所述防损膜上,并且具有与所述中央部分相对的侧表面,所述侧表面形成为具有第一倾斜角度的第一倾斜表面。所述防损膜具有与所述中央部分相对的侧表面,所述防损膜的所述侧表面形成为具有第二倾斜角度的第二倾斜表面。所述第二倾斜角度形成为大于所述第一倾斜角度。
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公开(公告)号:CN108336982B
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN201810039429.X
申请日:2018-01-16
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器,包括:基板;膜层,与所述基板一起形成腔;下电极,设置在所述膜层上;压电层,设置在所述下电极的平坦表面上;以及上电极,覆盖所述压电层的部分并使所述压电层的侧部暴露于空气,其中,所述压电层包括台阶部,所述台阶部从所述压电层的所述侧部延伸并设置在所述下电极的所述平坦表面上。
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公开(公告)号:CN1673784A
公开(公告)日:2005-09-28
申请号:CN200410056517.9
申请日:2004-08-06
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: G02B6/00
CPC classification number: G02B6/266 , G02B6/3502 , G02B6/3552 , G02B6/3572 , G02B6/3594
Abstract: 公开了一种悬臂型PLC光衰减器。光衰减器包括由硅制成的基础衬底、输入波导和输出波导。绕输出波导的上下硅衬底的前面部分薄于绕输出波导的上下硅衬底的后面部分。在下悬臂衬底部的底面上提供的第一电极,以及在基础衬底上提供的第二电极以便电磁对应于第一电极。当在第一和第二电极间施加电压时,通过电磁力上下移动悬臂部,从而控制输出光。
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公开(公告)号:CN221378288U
公开(公告)日:2024-07-19
申请号:CN202323388711.4
申请日:2023-12-13
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开涉及透镜,该透镜包括:透镜单元;抗反射(AR)涂层,设置在透镜单元的一个表面上,并且包括交替地堆叠一次或更多次的第一涂层和第二涂层,其中第一涂层的折射率与第二涂层的折射率不同;以及中间层,设置在透镜单元和AR涂层之间,并且由与第一涂层或第二涂层的材料相同的材料形成。中间层通过化学气相沉积(CVD)设置在透镜单元上。本公开还涉及包括透镜的透镜组件以及包括配置成显示来自透镜组件的信息的显示单元的便携式电子设备。
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