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公开(公告)号：CN110166018B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN201910085638.2
申请日：2019-01-29
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，设置在所述第一电极的至少一部分上；以及第二电极，设置在所述压电层的至少一部分上。在所述第一电极和所述第二电极中的一个与所述压电层之间形成有第一间隙。所述第一间隙包括第一内间隙和第一外间隙，所述第一内间隙设置在所述体声波谐振器的有效区中，并且在所述第一电极和所述第二电极中的所述一个与所述压电层之间具有第一间隔距离，所述第一外间隙设置在所述有效区的外部，并且在所述第一电极和所述第二电极中的所述一个与所述压电层之间具有不同于所述第一间隔距离的第二间隔距离。
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公开(公告)号：CN116418311A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202211017191.3
申请日：2022-08-23
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；中央部，所述中央部包括依次层叠在所述基板上的第一电极的第一部分、压电层的第一部分和第二电极的第一部分；以及反射区域，设置在所述中央部的侧部并且包含所述第一电极的第二部分、插入层、所述压电层的第二部分和所述第二电极的第二部分。所述插入层的与中央部相邻的侧表面具有倾斜表面，所述第二电极的所述第一部分和第二电极的所述第二部分共面，并且所述第二电极的端部在所述反射区域中的与所述插入层的所述倾斜表面叠置。
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公开(公告)号：CN115733458A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202210533826.9
申请日：2022-05-16
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：板；谐振部，包括设置在所述板上的第一电极、压电层和第二电极；以及温度补偿层，设置在所述谐振部上，其中，所述温度补偿层包括利用电介质形成的温度补偿部和利用与所述温度补偿部的材料不同的材料形成的损耗补偿部，并且其中，所述温度补偿部和所述损耗补偿部中的每个包括多个线性图案，并且所述温度补偿部的所述线性图案和所述损耗补偿部的所述线性图案交替地设置。
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公开(公告)号：CN108696262B
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN201810224679.0
申请日：2018-03-19
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种用于减小谐波失真的体声波谐振器及体声波滤波器，所述体声波(BAW)谐振器包括：基板；第一BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第一气腔，还包括堆叠在所述第一气腔上的第一电极、第一压电层和第二电极；第二BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第二气腔，还包括堆叠在所述第二气腔上的第一电极、第二压电层和第二电极，其中，所述第二BAW谐振器并联连接到所述第一BAW谐振器并且具有与所述第一BAW谐振器的极性相反的极性；以及补偿电容器电路，连接在所述第一BAW谐振器与所述第二BAW谐振器之间。
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公开(公告)号：CN107733396B
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201710392277.7
申请日：2017-05-27
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器可包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在基板上的第一电极层、压电层和第二电极层，所述谐振部被分为有效区域和非有效区域；以及框架电极层，包括多个框架电极，所述多个框架电极被设置为在所述有效区域内沿着所述有效区域的外周部彼此分开。
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公开(公告)号：CN111327290A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201910584478.6
申请日：2019-07-01
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，包括在所述基板上顺序地堆叠有第一电极、压电层和第二电极的中央部和沿着所述中央部的外周设置的延伸部；以及第一金属层，设置在所述谐振部的外部，以电连接到所述第一电极。所述延伸部包括下插入层，所述下插入层设置在所述第一电极的上表面或所述第一电极的下表面上。所述压电层包括压电部和弯曲部，所述压电部设置在所述中央部中，所述弯曲部设置在所述延伸部中并且根据所述下插入层的形状而倾斜地从所述压电部延伸。所述下插入层利用导电材料形成，以使所述第一电极与所述第一金属层之间的电路径延伸。
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公开(公告)号：CN108696262A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810224679.0
申请日：2018-03-19
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02133 , H03H9/02086 , H03H9/205 , H03H9/542 , H03H9/587 , H03H9/605 , H03H9/171 , H03H9/54
Abstract: 本发明提供一种用于减小谐波失真的体声波谐振器及体声波滤波器，所述体声波(BAW)谐振器包括：基板；第一BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第一气腔，还包括堆叠在所述第一气腔上的第一电极、第一压电层和第二电极；第二BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第二气腔，还包括堆叠在所述第二气腔上的第一电极、第二压电层和第二电极，其中，所述第二BAW谐振器并联连接到所述第一BAW谐振器并且具有与所述第一BAW谐振器的极性相反的极性；以及补偿电容器电路，连接在所述第一BAW谐振器与所述第二BAW谐振器之间。
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