公开(公告)号：CN117060876A

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202310370482.9

申请日：2023-04-07

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金光洙 ,  吉宰亨 ,  李文喆 ,  金龙石 ,  朴东铉 ,  李泰京

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/13

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；下电极，设置在所述基板上，包括第一倾斜表面和第二倾斜表面；以及插入层，设置在所述下电极的边缘上。所述第一倾斜表面在设置在所述插入层内侧的区域中从所述插入层的倾斜表面延伸。所述第二倾斜表面在所述第一倾斜表面的内侧的区域中从所述第一倾斜表面延伸。

公开(公告)号：CN108964628B

公开(公告)日：2022-04-22

申请号：CN201810001918.6

申请日：2018-01-02

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰勋 ,  林昶贤 ,  金泰润 ,  李文喆

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括具有第一过孔和第二过孔的基板、下电极连接构件、下电极、压电层、上电极和与所述下电极连接构件分开的上电极连接构件。所述下电极、所述压电层和所述上电极构成谐振部。所述下电极连接构件将所述下电极电连接到所述第一过孔并支撑所述谐振部的第一边缘部。所述上电极连接构件将所述上电极电连接到所述第二过孔并支撑所述谐振部的第二边缘部。所述上电极连接构件和所述下电极连接构件中的任意一者或两者包括连接到设置在所述谐振部下方的所述第一过孔和所述第二过孔中的相应的一个的相应的延伸部。

公开(公告)号：CN113794457A

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN202110148861.4

申请日：2021-02-03

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  申兰姬 ,  林昶贤 ,  金泰润 ,  尹湘基 ,  李文喆 ,  严在君

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/02

Abstract: 本公开提供一种声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法，所述声波谐振器包括：基板；以及谐振器部，第一电极、压电层和第二电极在所述谐振器部中顺序堆叠在所述基板上。所述压电层利用包含钪(SC)的氮化铝(AlN)形成。所述声波谐振器满足以下表达式：漏电流密度×钪(SC)含量

公开(公告)号：CN107592091B

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：CN201710532587.4

申请日：2017-07-03

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 林昶贤 ,  李文喆 ,  韩源 ,  李泰京 ,  金大虎

IPC: H03H9/17

Abstract: 本公开提供一种体声波滤波器装置及其制造方法，所述体声波滤波器装置包括：基板；下电极，在所述基板上；压电层，覆盖所述下电极的至少部分；及上电极，覆盖所述压电层的至少部分。所述上电极具有密度减小层，所述密度减小层设置在所述上电极的除所述体声波滤波器装置的谐振区的中央部分之外的至少部分上，所述体声波滤波器装置的谐振区在所述压电层的激发过程中随着所述压电层变形和振动。所述密度减小层的密度小于所述上电极的其他部分的密度。

公开(公告)号：CN107769749B

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN201710703795.6

申请日：2017-08-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金泰润 ,  李泰京 ,  赵成珉 ,  尹湘基 ,  李文喆

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：支撑部，设置在基板上；层，设置在所述支撑部上，其中，气腔形成在所述基板和所述层之间；以及框架，在所述气腔内沿着所述层延伸，并与所述支撑部分开。

公开(公告)号：CN107317561B

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN201710032174.X

申请日：2017-01-13

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金泰润 ,  李泰京 ,  李文喆 ,  赵成珉 ,  尹湘基

IPC: H03H3/04 ,  H03H9/02 ,  H03H9/17

Abstract: 提供一种体声波谐振器及其制造方法，所述体声波谐振器可包括：空气腔；蚀刻停止层和蚀刻停止部，限定空气腔的下边界表面和侧边界表面；谐振部，形成在通过空气腔的上边界表面和蚀刻停止部的顶表面形成的近似平坦的表面上。蚀刻停止部的顶表面的宽度可比蚀刻停止部的底表面的宽度大。将蚀刻停止部的顶表面和蚀刻停止部的底表面连接的蚀刻停止部的侧表面可以是倾斜的。

公开(公告)号：CN111342802A

公开(公告)日：2020-06-26

申请号：CN201911255335.7

申请日：2019-12-10

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金泰润 ,  金锺云 ,  丁大勳 ,  李文喆

IPC: H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种声波谐振器，所述声波谐振器包括：谐振单元，包括压电层、设置在所述压电层的下侧上的第一电极和设置在所述压电层的上侧上的第二电极；基板，设置在所述谐振单元的下方；支撑单元，在所述基板与所述谐振单元之间形成腔；以及柱，延伸穿过所述腔，并将所述谐振单元连接到所述基板。所述谐振单元还包括设置在所述柱的上方的第一插入层。

公开(公告)号：CN106059524B

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201610040724.8

申请日：2016-01-21

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李文喆 ,  李玲揆 ,  金德焕 ,  孙尚郁 ,  金哲秀 ,  申济湜

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/10 ,  H03H9/46

Abstract: 公开了一种体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板；气腔，形成在基板上；谐振部，形成在气腔上，并包括依次层压的第一电极、压电层和第二电极，其中，气腔的截面具有短边、与短边相对的长边以及使短边和长边彼此连接的第一侧边和第二侧边，第一侧边和第二侧边倾斜，第一电极、压电层、第二电极或它们的任意组合的表面粗糙度在1nm与100nm之间。

公开(公告)号：CN108336982A

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201810039429.X

申请日：2018-01-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  金大虎 ,  金龙石 ,  韩昇勋 ,  李文喆 ,  林昶贤 ,  李成俊 ,  尹湘基 ,  金泰润 ,  孙尚郁

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05

CPC classification number: H03H9/02118 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/132 ,  H03H9/17 ,  H03H9/173 ,  H03H9/174 ,  H03H2003/021 ,  H03H2003/023

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器，包括：基板；膜层，与所述基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的部分并使所述压电层的侧部暴露于空气，其中，所述压电层包括台阶部，所述台阶部从所述压电层的所述侧部延伸并设置在所述下电极的所述平坦表面上。

公开(公告)号：CN108075740A

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201711143853.0

申请日：2017-11-17

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 尹湘基 ,  朴炯哉 ,  朴南洙 ,  金钟云 ,  李文喆

IPC: H03H3/007 ,  H03H9/02 ,  H03H9/17

CPC classification number: H03H9/17 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/081 ,  H01L41/18 ,  H01L41/29 ,  H01L41/35 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02118 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/13 ,  H03H9/173 ,  H03H2003/021

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器及制造该体声波谐振器的方法，所述体声波谐振器包括：基板，所述基板上设置有基板保护层；膜层，与所述基板一起形成腔；及谐振部，设置在所述膜层上。所述腔通过使用通过混合卤化物基气体和氧气而获得的混合气体去除牺牲层形成，并且在形成所述腔后，所述膜层和所述基板保护层中的至少一者具有170或更小的厚度差。