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公开(公告)号：CN114542682A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202210208179.4
申请日：2022-03-04
Applicant: 中北大学
IPC: F16H37/12 , F16H57/08 , F16H57/023 , F16H57/035 , F03G5/02 , H02K7/18 , H02K7/116
Abstract: 本申请涉及人体动能采集技术领域，具体提供了一种基于人体关节摆动的能量采集装置。该装置包括发电机、第一齿轮组、第二齿轮组、轴、皮带、换向连接器、第一结构外壳、第二结构外壳、第一齿轮、第二齿轮，发电机、第一齿轮组、第二齿轮组、轴、皮带、第一齿轮、第二齿轮均设置在第一结构外壳内，换向连接器与第二结构外壳固定连接，换向连接器与第一齿轮组可转动连接，发电机固定在第一结构外壳的一端，第一齿轮与发电机的转轴固定连接，第一齿轮组固定在第一结构外壳的另一端，第二齿轮组通过轴与第一齿轮组固定连接，第二齿轮与第二齿轮组固定连接，第一齿轮和第二齿轮通过皮带传动连接。
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公开(公告)号：CN114068753A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111373062.3
申请日：2021-11-18
Applicant: 中北大学
IPC: H01L31/105 , H01L31/0236 , H01L31/028 , H01L31/0352 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种基于微纳米复合结构的黑硅紫外PIN型光电传感器，由硅衬底、设置在硅衬底正面的黑硅结构、位于硅衬底正面的P型掺杂区、位于硅衬底背面的N型掺杂区、覆盖在黑硅结构上的氧化铝薄膜以及设置在硅衬底和黑硅结构上的金电极构成，所述黑硅结构由微米结构和纳米结构复合而成；所述微米结构经MEMS工艺光刻成相应图形，再通过Bosch刻蚀形成；所述纳米结构为在微米结构的基础上采用光刻工艺形成相应图形，再通过等离子体浸没刻蚀形成。本发明将光电传感器的探测范围扩展到近紫外光范围，使得在保证光电传感器低反射率的同时又具有理想的量子效率和响应速度。
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公开(公告)号：CN106218838A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610573834.0
申请日：2016-07-21
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及海洋湍流观测技术，具体是一种基于MEMS技术的全海深湍流混合矩阵型剖面观测系统。本发明解决了现有海洋湍流观测技术无法实现全海深同步多采样点立体观测的问题。基于MEMS技术的全海深湍流混合矩阵型剖面观测系统，包括母弹观测系统和子弹观测系统；所述母弹观测系统包括母弹壳体、母弹整流罩、提拉锁、姿态稳定束、通信模块、母弹传感模块、母弹运行监测模块、母弹数据存储模块、母弹微控单元、母弹电池、母弹电磁抛载机构、母弹配重、水深监测模块、机械臂；所述子弹观测系统包括子弹壳体、子弹整流罩、导航定位模块、子弹传感模块、子弹运行监测模块、子弹数据存储模块、子弹微控单元、子弹电池。本发明适用于海洋湍流观测。
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公开(公告)号：CN117928762B
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202410117189.6
申请日：2024-01-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01K7/18
Abstract: 本发明涉及温度传感器领域，具体涉及一种无黏附层的高附着力铂薄膜温度传感器及其制备方法，该铂薄膜温度传感器从下往上依次包括氧化铝陶瓷基底、铂薄膜层、二氧化硅保护层；该结构不包含黏附层，通过改进磁控溅射工艺和离子束刻蚀工艺参数，增强了铂薄膜层和基底之间的黏附性，提高了温度传感器的探测精度，同时减少了工艺制备流程，提高制备效率；而在引线封装中，其使用热压焊技术和玻璃浆料绝缘处理，提高了焊接引线的成功率，有效减少噪声干扰。另外，本发明通过多段冷却刻蚀工艺解决了离子束刻蚀过程中光刻胶碳化问题。
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公开(公告)号：CN113507676B
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202110927946.2
申请日：2021-08-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请涉及硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置，具体而言，涉及麦克风装置领域；本申请提供的硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构，结构包括：衬底、第一电极层、压电材料层和第二电极层；由于该第一电极层、压电材料层和第二电极层的形状均为“T”形结构，且该“T”形结构的第一电极层的短端与开口空腔结构的开口位置的边缘连接，使得该第一电极层、压电材料层和第二电极层形成了悬臂梁结构，悬臂梁结构可以在声音的振动的作用下，进行振动，进而使得压电材料层上的电荷发生转移，则使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变，即该麦克风结构的输出发生改变，通过对输出电信号进行检测，可以得到更为准确的声音信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118495452A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410428432.6
申请日：2024-04-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及海洋温度和盐度测量技术领域，具体涉及一种微型化温盐集成芯片，包括硅基衬底、以及设置在硅基衬底上的温度传感结构及电导率传感结构，所述的温度传感结构采用蛇形环绕铂丝结构，通过四根引线构成四线制测量方式；所述的电导率传感结构采用七电极电导率传感结构，包括依次布置的一号电极、二号电极、三号电极、四号电极、五号电极、六号电极及七号电极，每根电极的长度均为5cm，且相邻两电极之间的间距为0.3mm。本发明能够快速响应，实现实时快速测量海水的盐度；整体芯片在毫米级，具有精度高、响应快、一致性好、稳定性好、体积小、功耗低、易集成、成本低、可大批量生产等诸多优势。
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公开(公告)号：CN113507676A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202110927946.2
申请日：2021-08-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请涉及硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置，具体而言，涉及麦克风装置领域；本申请提供的硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构，结构包括：衬底、第一电极层、压电材料层和第二电极层；由于该第一电极层、压电材料层和第二电极层的形状均为“T”形结构，且该“T”形结构的第一电极层的短端与开口空腔结构的开口位置的边缘连接，使得该第一电极层、压电材料层和第二电极层形成了悬臂梁结构，悬臂梁结构可以在声音的振动的作用下，进行振动，进而使得压电材料层上的电荷发生转移，则使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变，即该麦克风结构的输出发生改变，通过对输出电信号进行检测，可以得到更为准确的声音信号。
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公开(公告)号：CN106218838B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201610573834.0
申请日：2016-07-21
Abstract: 本发明涉及海洋湍流观测技术，具体是一种基于MEMS技术的全海深湍流混合矩阵型剖面观测系统。本发明解决了现有海洋湍流观测技术无法实现全海深同步多采样点立体观测的问题。基于MEMS技术的全海深湍流混合矩阵型剖面观测系统，包括母弹观测系统和子弹观测系统；所述母弹观测系统包括母弹壳体、母弹整流罩、提拉锁、姿态稳定束、通信模块、母弹传感模块、母弹运行监测模块、母弹数据存储模块、母弹微控单元、母弹电池、母弹电磁抛载机构、母弹配重、水深监测模块、机械臂；所述子弹观测系统包括子弹壳体、子弹整流罩、导航定位模块、子弹传感模块、子弹运行监测模块、子弹数据存储模块、子弹微控单元、子弹电池。本发明适用于海洋湍流观测。
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公开(公告)号：CN105356790B
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201510781913.6
申请日：2015-11-16
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及对机械能的能量采集技术，具体为一种摩擦‑压电‑磁电复合式三维空间多自由度微能源采集器，由外至内依次包含电磁感应线圈、外球壳、缓冲层、压电层、摩擦层、内球壳和磁铁球。各线圈之间采用串联方式连接；外球壳与压电层之间隔有缓冲层，目的在于增大压电的形变量，进而提高其发电能力；摩擦单元中的正性材料与负性材料相间排列，所有正性材料连接在一起，所有负性材料连接在一起，正性材料与负性材料之间的电荷转移通过运动单元在二者间的滚动实现。利用运动单元在空心球壳内的三维空间滚动，从而实现对具有多自由度的运动形式进行机械能采集；通过将具有互补工作模式的压电、磁电、摩擦三种发电单元集成，实现对机械能的高效采集。
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公开(公告)号：CN113596690B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202110927935.4
申请日：2021-08-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及新型压电式MEMS麦克风的结构及装置，主要涉及麦克风领域。本申请涉及的新型压电式MEMS麦克风的结构，该第一电极层、压电结构层和第二电极层可以在声音信号的作用下，进行振动，使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变，即该麦克风结构的输出电信号发生改变，通过对输出电信号进行检测，可以得到准确的声音信号。利用集成在薄膜硅材表面的压电材料进行能量转换。当薄膜受到气流压迫式，薄膜进行形变并带动压电材质产生形变，压电材质产在物理特性改善时产生电信号进行输出。即本申请通过增加边缘与中心孔隙，使得本申请的麦克风检测声音信号的灵敏度得到提高，进而使得该麦克风输出的与声音相关的电压信号更准确稳定。
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