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公开(公告)号：CN102545061B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201210017845.2
申请日：2012-01-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种大功率太赫兹量子级联的激光器的制备方法。根据本发明的方法，先基于蒙特卡洛模拟法来模拟多个不同参数下的预定结构的有源区的电传输及输出增益特性，以获得优化的一组参数；随后再基于所获得的一组参数来制备包含所述预定结构的有源区的太赫兹量子级联的激光器。本发明采用了基于蒙特卡洛模拟法所获取的参数来制备大功率太赫兹量子级联的激光器，使得所制备出的激光器因参数的优化而具有大激射光功率输出。
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公开(公告)号：CN102346071A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201010244022.4
申请日：2010-08-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J3/45
Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波段纳秒时间分辨傅立叶变换光谱仪，包括：迈克尔逊干涉仪；位于迈克尔逊干涉仪输入端的样品室；位于迈克尔逊干涉仪输出端的THz量子阱光子探测器；THz源和调制信号模块、锁相放大器以及控制计算机。锁相放大器与THz量子阱光子探测器相连；控制计算机与锁相放大器相连，并且还与迈克尔逊干涉仪的动镜相连，控制动镜位置实现动镜的定步长移动；THz源和调制信号模块将带有扰动信号的THz激光发射到样品室，并将扰动信号发送至锁相放大器，经锁相放大器放大后发送给控制计算机。本发明用THz量子阱光子探测器代替DTGS-PE和Si热释电探测器，大大提高了傅立叶变换光谱仪在THz波段的时间分辨率。
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公开(公告)号：CN102169016A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110001200.5
申请日：2011-01-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种连续激射型太赫兹量子级联激光器的功率测量装置及方法，该装置包括光源部分、光路部分和探测部分；光源部分包括冷头、安装于冷头内的热沉、安装于热沉上的太赫兹量子级联激光器、安装于冷头上用以使太赫兹光射出的聚乙烯窗片；光路部分包括第一离轴抛物镜和第二离轴抛物镜；第一离轴抛物镜收集经聚乙烯窗片射出的太赫兹光；第二离轴抛物镜接收经第一离轴抛物镜反射的太赫兹光；探测部分包括热探测器和示波器；热探测器接收第二离轴抛物镜反射的太赫兹光，并产生相应的电压信号；示波器对电压信号进行提取和显示获得电压信号幅度。本发明光路部分和探测部分可以在常温下进行测量，便于安装和测试。
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公开(公告)号：CN101345393B
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200710043822.8
申请日：2007-07-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 一种单面金属波导太赫兹量子级联激光器的制作方法，其首先利用气态源分子束外延设备在半绝缘的GaAs衬底依次生长GaAs缓冲层、N型GaAs下波导层、多量子阱级联有源区、加强辅助注入层、N型GaAs上接触层，然后采用光刻显影以及热蒸发的方法，制作上波导(电极)Au层，再采用光刻显影以及湿法腐蚀的方法制作出脊形结构，接着采用光刻显影以及热蒸发的方法制作下电极，然后快速热退火，并按照设计规格解理出高质量的管芯，最后完成管芯的封装。
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公开(公告)号：CN119812890A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411934188.7
申请日：2024-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S1/00
Abstract: 本发明涉及一种基于自对准刻蚀的太赫兹半导体激光器的制造方法，包括如下步骤：(1)在外延晶片上镀金属膜；(2)在外延晶片上依次旋涂底层光刻胶和顶层光刻胶；(3)形成底层光刻胶内缩的光刻胶结构；(4)制作上电极金属条；(5)形成脊条和吸收边；(6)制作下电极金属条；(7)完成前道工艺；(8)完成器件封装。本发明实现上电极金属条始终与脊条居中对齐，通过控制光刻显影参数实现调节吸收边宽度，克服了现有技术中光刻对准误差大致使脊条两侧吸收边宽度不一致的缺陷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118431877A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410438304.X
申请日：2024-04-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于法里分数的太赫兹光频梳频率锁定方法及装置。其中，光频梳频率锁定方法包括以下步骤：利用光频梳源生成光梳信号；向所述光频梳源注入射频信号；通过调节所述射频信号的注入频率和注入功率锁定所述光梳信号的重复频率，所述注入频率与锁定后的所述光梳信号的重复频率的比值为法里分数。本发明能够基于不同法里分数实现灵活地射频注入频率锁定，产生重复频率稳定和低相位噪声的太赫兹光频梳源。
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公开(公告)号：CN118232165A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410290057.3
申请日：2024-03-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种双光梳信号锁定系统及方法。其中，系统包括用来生成第一、二光梳信号的两个光频梳，以及用来将上述光梳信号进行拍频获得双光梳信号的探测激光器；所述探测激光器还用来生成本征信号，并利用所述本征信号分别对两个光梳信号进行下变频操作；经下变频操作后的光梳信号的相对载波频率分别被所述第一锁相模块和所述第二锁相模块锁定；所述系统还包括射频注入系统，用来对两个光频梳信号的重复频率分别进行锁定。本发明能够摆脱现有双光梳稳频系统对太赫兹高稳定本征信号、高速混频器、探测器的依赖，完全锁定两个光频梳的重复频率和相对载波频率，从而极大地提升双光梳信号的稳定性。
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公开(公告)号：CN116222778A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310155170.6
申请日：2023-02-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种集成型太赫兹双光梳成像系统，其中，两个自由运行的太赫兹量子级联激光器光频梳安装在同一个冷头上，共享温度和机械振动噪声，采样光频梳发出的太赫兹光经离轴抛物面镜收集并汇聚于焦点处，样品放置在焦平面上，经过样品的透射光由离轴抛物面镜收集并汇聚到本征光频梳，通过激光自探测得到多外差拍频的射频双光梳信号，样品的不同位置对应各自的双光梳谱，对所有双光梳谱综合分析可实现样品的高精度成像。本发明可以进一步减小设备体积，并确保双光梳信号的稳定性。
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公开(公告)号：CN109462140B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201811583153.8
申请日：2018-12-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种射频注入调制的片上太赫兹双频梳装置，包括太赫兹量子级联激光器和T型偏置器，所述太赫兹量子级联激光器在同一水平面上同时具有两个激光谐振腔，两个激光谐振腔分别具有各自的上电极和增益介质，并共享同一个下电极，分别独立工作；两个激光谐振腔各自的上电极分别通过不同的T型偏置器同时与不同的RF源和直流源的正极连接，两个激光谐振腔共同的下电极与各自的直流源的负极连接；其中，一个T型偏置器与RF源之间设有环形器，所述环形器通过低噪声放大器与频谱分析仪相连；所述两个激光谐振腔的相隔500‑5000μm。本发明能够稳定输出光模式，扩大输出频谱范围，实现太赫兹波段双频梳光谱。
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公开(公告)号：CN107171166B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201710532857.1
申请日：2017-07-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S1/00
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子级联激光器锁相系统及锁相方法，锁相系统包括：太赫兹光源模块，用于实现太赫兹信号的输出；太赫兹信号下变频模块，与太赫兹光源模块相连接，用于接收所述太赫兹信号并产生太赫兹信号的拍频信号；锁相模块，与太赫兹信号下变频模块相连接，用于接收所述拍频信号并产生驱动补偿信号，所述驱动补偿信号输入至太赫兹光源模块，用于实现太赫兹量子级联激光器的锁相。通过上述方案，本发明率先采用太赫兹量子阱探测器对太赫兹信号进行下变频，实现快速准确的提取混频信号；选用多模太赫兹量子级联激光器代替传统的射频倍频链太赫兹本振源，利用自身的拍频信号实现下变频显著降低了锁相技术系统构建的难度与复杂度。
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