公开(公告)号：CN101866819A

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：CN201010163326.8

申请日：2010-04-14

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 住友卓 ,  安田幸夫 ,  横田利夫

IPC: H01J65/04

CPC classification number: H01J65/04 ,  H01J61/025 ,  H01J61/18

Abstract: 本发明是一种激光驱动光源，使激光光线聚光到管球内封入的放，电介质，通过激光光线激励放电介质，生成等离子体，其目的在于遮蔽管球内生成的未被等离子体吸收而透过的激光光线，为此提供一种激光驱动光源，其具有封入有放电介质的管球，通过聚光到上述管球的激光光线在上述管球内生成等离子体，其特征在于，上述管球内设有光线遮蔽部件，遮蔽透过上述管球内生成的等离子体的激光光线。

公开(公告)号：CN101713928A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910173460.3

申请日：2009-09-18

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 住友卓 ,  芜木清幸 ,  横田利夫

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70575 ,  G03F7/70033

Abstract: 一种曝光装置，用于制造半导体及液晶等，具备如下的光学系统：使用激光向放射紫外线等光的放电灯供给高能量的情况下，不会在放电容器上开孔，可以有效利用所产生的光。上述曝光装置具有：放射紫外线的光源；激光装置，用于向该光源射入供给能量的激光；椭圆反射镜，反射从该光源放射的紫外线；以及光学系统，使从配置在该椭圆反射镜的第1焦点上的该光源放射的光在该椭圆反射镜上反射，并经由包含准直透镜、积分透镜在内的光学元件照射被照射物，上述曝光装置的特征在于，为了从该椭圆反射镜的开口侧向该光源射入激光，在被该椭圆反射镜反射的光的光路中设置具有波长选择功能的光束分离器。

公开(公告)号：CN108604531A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201780011301.6

申请日：2017-01-31

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 森和之 ,  朝山淳哉 ,  横田利夫

IPC: H01J65/04 ,  H01J61/30

Abstract: 本发明课题是在封入有发光气体并对激光束进行会聚入射而生成等离子体的激光驱动灯中，提供一种使用石英玻璃以外的材料作为等离子体容器来防止紫外线变形的产生的构造。激光驱动灯(1)的特征在于，具备柱状的主体部(2)，并且在该主体部(2)的前方侧形成有具有所述激光束会聚的焦点的凹面反射部(5)，在该凹面反射部(5)的前表面设置有紫外光透过性的光出射窗(3)，在所述主体部(2)的中心设置有沿光轴方向贯通的激光束通过孔(6)，在所述主体部(2)的后方侧设置有供所述激光束入射的光入射窗(4)，由所述主体部(2)、所述光出射窗(3)及所述光入射窗(3)形成密闭空间(S)，在该密闭空间(S)内封入有所述发光气体。

公开(公告)号：CN101866819B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201010163326.8

申请日：2010-04-14

Applicant: 优志旺电机株式会社 ,  安乃捷科技公司

Inventor： 住友卓 ,  安田幸夫 ,  横田利夫

IPC: H01J65/04

CPC classification number: H01J65/04 ,  H01J61/025 ,  H01J61/18

Abstract: 本发明是一种激光驱动光源，使激光光线聚光到管球内封入的放，电介质，通过激光光线激励放电介质，生成等离子体，其目的在于遮蔽管球内生成的未被等离子体吸收而透过的激光光线，为此提供一种激光驱动光源，其具有封入有放电介质的管球，通过聚光到上述管球的激光光线在上述管球内生成等离子体，其特征在于，上述管球内设有光线遮蔽部件，遮蔽透过上述管球内生成的等离子体的激光光线。

公开(公告)号：CN101989048B

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201010237314.5

申请日：2010-07-23

Applicant: 优志旺电机株式会社 ,  安乃捷科技公司

Inventor： 横田利夫

IPC: G03F7/20 ,  F21K99/00

CPC classification number: H01J65/042 ,  G03F7/70008

Abstract: 一种光源装置，能够稳定地维持点亮开始后的高温等离子体状态从而稳定地维持发光，并抑制因发光管的加热引起的点亮寿命降低。向内部封入有发光气体的发光管(1)，从脉冲激光振荡部(21)入射脉冲式激光束，并从连续波激光振荡部(25)入射连续波激光束，以在发光管内两光束重合的方式进行聚光。在点亮开始时，由脉冲式光束形成高温等离子体状态，在形成高温等离子体状态的位置，使比脉冲式光束强度小的连续波光束重合，由此能够稳定地维持高温等离子体状态。此外，由于连续波光束强度较小，因此能够使发光管不被加热而达到长寿命。作为使光束在发光管内聚光的光学单元，可使用例如衍射光学元件(31)、凸透镜、抛物面反射镜等。

公开(公告)号：CN1422106A

公开(公告)日：2003-06-04

申请号：CN02154347.X

申请日：2002-11-26

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 冈本昌士 ,  横田利夫

IPC: H05B41/288

CPC classification number: H05B41/2928 ,  Y02B20/208

Abstract: 本发明旨在提供可避免声共振的HID灯管的光源装置，该装置由一对电极相对设置的放电灯管和启动所述放电灯管并向所述电极供给放电电流的供电装置(Ex)连接而成，所述供电装置(Ex)设有用以调整对所述放电灯管的供电量的开关元件，并给所述开关元件的大致周期性的开关动作加入相位调制。