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公开(公告)号：CN110730903A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880036736.0
申请日：2018-06-06
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种新的光谱测定技术，即使在被测定光仅存在非常短时间的情况下也能够进行测定。使被测定光(L0)与在脉冲内波长随时间连续地变化的宽波段脉冲光(L1)干涉，将对所发出的干涉光进行检测的检测器(5)的输出信号进行傅立叶转换，由此测定被测定光(L0)的每个波长的光强度。来自激光源(1)的激光(L2)通过非线性光学元件(2)而成为超连续光(L3)，通过脉冲伸长元件(3)使其脉冲伸长而生成宽波段脉冲光(L1)。
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公开(公告)号：CN102043346B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201010510483.1
申请日：2010-10-13
CPC classification number: H01J65/04 , H01J61/025
Abstract: 提供光源装置，在发光管内能以大立体角聚光光束，防止能量密度高的光束碰到发光管的壁。发光管(1)是凸型弯月形构造，作为聚光单元(31)起作用。从激光振荡部(2)放射的激光束通过聚光单元(31)在发光管(1)的内部以增大立体角的方式被聚光。由此形成高温等离子体状态，使得发光管发光。将发光管(1)的壁自身作为聚光单元，因而可增大聚光时的立体角，并且所聚光的光束不照射发光管(1)的壁，可防止发光管的加热或破损。作为聚光单元，只要是凸透镜、棒形透镜等可将光聚光的形状即可，也可使用其他，也可以设置多个聚光单元。并且，将聚光单元安装于发光管的内表面也可得到同样的效果。
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公开(公告)号：CN110730903B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201880036736.0
申请日：2018-06-06
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种新的光谱测定技术，即使在被测定光仅存在非常短时间的情况下也能够进行测定。使被测定光(L0)与在脉冲内波长随时间连续地变化的宽波段脉冲光(L1)干涉，将对所发出的干涉光进行检测的检测器(5)的输出信号进行傅立叶转换，由此测定被测定光(L0)的每个波长的光强度。来自激光源(1)的激光(L2)通过非线性光学元件(2)而成为超连续光(L3)，通过脉冲伸长元件(3)使其脉冲伸长而生成宽波段脉冲光(L1)。
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公开(公告)号：CN108604531B
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN201780011301.6
申请日：2017-01-31
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明课题是在封入有发光气体并对激光束进行会聚入射而生成等离子体的激光驱动灯中，提供一种使用石英玻璃以外的材料作为等离子体容器来防止紫外线变形的产生的构造。激光驱动灯(1)的特征在于，具备柱状的主体部(2)，并且在该主体部(2)的前方侧形成有具有所述激光束会聚的焦点的凹面反射部(5)，在该凹面反射部(5)的前表面设置有紫外光透过性的光出射窗(3)，在所述主体部(2)的中心设置有沿光轴方向贯通的激光束通过孔(6)，在所述主体部(2)的后方侧设置有供所述激光束入射的光入射窗(4)，由所述主体部(2)、所述光出射窗(3)及所述光入射窗(3)形成密闭空间(S)，在该密闭空间(S)内封入有所述发光气体。
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公开(公告)号：CN102044393A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201010522481.4
申请日：2010-10-22
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H01J61/368 , H01J9/326 , H01J61/86
Abstract: 高压放电灯及该高压放电灯的制造方法，在由玻璃和密封用金属构成的高压放电灯的密封部，提高玻璃与密封用金属的密接强度。对埋设于高压放电灯的密封部(13)的密封用金属(例如钼箔)(14)的表面照射从激光振荡器出射的脉冲宽度为1×10-9秒以下的激光而进行表面加工。由此，在钼箔的表面形成微细的表面构造，密封部(13)的玻璃与钼箔的密接强度变高。结果，即使由于点灯、熄灯的重复而密封部(13)的温度增减，也难以产生密封用金属从玻璃剥离的不良情况，能够延长灯寿命。并且，适用于具备具有由钨等构成的棒状密封用金属的密封部33的高压放电灯，也得到同样效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101713928B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN200910173460.3
申请日：2009-09-18
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70575 , G03F7/70033
Abstract: 一种曝光装置，用于制造半导体及液晶等，具备如下的光学系统：使用激光向放射紫外线等光的放电灯供给高能量的情况下，不会在放电容器上开孔，可以有效利用所产生的光。上述曝光装置具有：放射紫外线的光源；激光装置，用于向该光源射入供给能量的激光；椭圆反射镜，反射从该光源放射的紫外线；以及光学系统，使从配置在该椭圆反射镜的第1焦点上的该光源放射的光在该椭圆反射镜上反射，并经由包含准直透镜、积分透镜在内的光学元件照射被照射物，上述曝光装置的特征在于，为了从该椭圆反射镜的开口侧向该光源射入激光，在被该椭圆反射镜反射的光的光路中设置具有波长选择功能的光束分离器。
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公开(公告)号：CN102043346A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201010510483.1
申请日：2010-10-13
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H01J65/04 , H01J61/025
Abstract: 提供光源装置，在发光管内能以大立体角聚光光束，防止能量密度高的光束碰到发光管的壁。发光管(1)是凸型弯月形构造，作为聚光单元(31)起作用。从激光振荡部(2)放射的激光束通过聚光单元(31)在发光管(1)的内部以增大立体角的方式被聚光。由此形成高温等离子体状态，使得发光管发光。将发光管(1)的壁自身作为聚光单元，因而可增大聚光时的立体角，并且所聚光的光束不照射发光管(1)的壁，可防止发光管的加热或破损。作为聚光单元，只要是凸透镜、棒形透镜等可将光聚光的形状即可，也可使用其他，也可以设置多个聚光单元。并且，将聚光单元安装于发光管的内表面也可得到同样的效果。
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公开(公告)号：CN100483606C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN02154347.X
申请日：2002-11-26
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J61/02 , H05B41/288
CPC classification number: H05B41/2928 , Y02B20/208
Abstract: 本发明旨在提供可避免声共振的HID灯管的光源装置，该装置由一对电极相对设置的放电灯管和启动所述放电灯管并向所述电极供给放电电流的供电装置(Ex)连接而成，所述供电装置(Ex)设有用以调整对所述放电灯管的供电量的开关元件，并给所述开关元件的大致周期性的开关动作加入相位调制。
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公开(公告)号：CN102044393B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201010522481.4
申请日：2010-10-22
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H01J61/368 , H01J9/326 , H01J61/86
Abstract: 高压放电灯及该高压放电灯的制造方法，在由玻璃和密封用金属构成的高压放电灯的密封部，提高玻璃与密封用金属的密接强度。对埋设于高压放电灯的密封部(13)的密封用金属(例如钼箔)(14)的表面照射从激光振荡器出射的脉冲宽度为1×10-9秒以下的激光而进行表面加工。由此，在钼箔的表面形成微细的表面构造，密封部(13)的玻璃与钼箔的密接强度变高。结果，即使由于点灯、熄灯的重复而密封部(13)的温度增减，也难以产生密封用金属从玻璃剥离的不良情况，能够延长灯寿命。并且，适用于具备具有由钨等构成的棒状密封用金属的密封部33的高压放电灯，也得到同样效果。
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公开(公告)号：CN101989048A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN201010237314.5
申请日：2010-07-23
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 横田利夫
CPC classification number: H01J65/042 , G03F7/70008
Abstract: 一种光源装置，能够稳定地维持点亮开始后的高温等离子体状态从而稳定地维持发光，并抑制因发光管的加热引起的点亮寿命降低。向内部封入有发光气体的发光管(1)，从脉冲激光振荡部(21)入射脉冲式激光束，并从连续波激光振荡部(25)入射连续波激光束，以在发光管内两光束重合的方式进行聚光。在点亮开始时，由脉冲式光束形成高温等离子体状态，在形成高温等离子体状态的位置，使比脉冲式光束强度小的连续波光束重合，由此能够稳定地维持高温等离子体状态。此外，由于连续波光束强度较小，因此能够使发光管不被加热而达到长寿命。作为使光束在发光管内聚光的光学单元，可使用例如衍射光学元件(31)、凸透镜、抛物面反射镜等。
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