-
公开(公告)号：CN102180595B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201010625211.6
申请日：2010-12-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/2008 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/36 , C03C3/06 , C03C2201/06 , G03F1/24
Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。更具体地涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃，该玻璃在900℃热处理100小时后经历小于或等于100ppm的OH基团浓度的降低，所述玻璃适合作为EUV光刻部件。
-
公开(公告)号：CN102765871A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201210228494.X
申请日：2012-04-11
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03B20/00
CPC classification number: G03F1/24 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B2201/42 , C03B2207/64 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C4/08 , C03C2201/42 , C03C2203/42 , G03F1/50
Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及制造方法。在掺杂二氧化钛的石英玻璃的EUV反射表面上，在将反射表面的中心处的原点(O)连接到双折射测量点(A)的直线与测量点(A)处的双折射快轴之间的角度(θ)具有大于45度的平均值。由于双折射的快轴是以同心的方式分布，因此得到具有高平整度的掺杂二氧化钛的石英玻璃衬底，该衬底适用于EUV光刻中。
-
公开(公告)号：CN102583974A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110372600.7
申请日：2011-09-02
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/20 , C03B2207/62 , C03B2207/64 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/42
Abstract: 本发明涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。通过以下方法制备适合作为EUV光刻部件的所述掺杂二氧化钛的石英玻璃：通过燃烧器喷嘴供给提供硅的反应气体和提供钛的反应气体以及氢气和氧气，使反应气体氧化或火焰水解以形成合成氧化硅-二氧化钛精细颗粒，在旋转靶上沉积二氧化硅-二氧化钛精细颗粒，及同时熔化和玻璃化该沉积的颗粒以生长掺杂二氧化钛的石英玻璃锭。缩回靶以保证锭生长前沿距离燃烧器喷嘴至少250mm。
-
公开(公告)号：CN101318768A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810098674.4
申请日：2008-06-06
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03B19/1423 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1453 , C03B2201/20 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , G03F7/0002
Abstract: 本发明为用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃。在纳米压印光刻法中，在波长365nm具有最高为10％的内部透射率分布的掺杂二氧化钛的石英玻璃适合作为纳米压印模具使用。
-
-
-
Search Results
14
records
(took 0.035 seconds)
