公开(公告)号：CN103941539A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201410030505.2

申请日：2014-01-22

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利 ,  上田哲司 ,  江崎正信

IPC: G03F1/24 ,  C03B20/00

Abstract: 本发明涉及EUV光刻部件、制备方法和掺杂二氧化钛的石英玻璃。具体地，本发明涉及一种由掺杂二氧化钛的石英玻璃制成的部件，其中在垂直于EUV反射表面的表面中条纹具有至少150毫米的曲率半径。该部件没有暴露的条纹并且具有高的平整度，在EUV光刻中是有用的。

公开(公告)号：CN102765871B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201210228494.X

申请日：2012-04-11

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利 ,  上田哲司 ,  江崎正信

IPC: C03B20/00

CPC classification number: G03F1/24 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1423 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/64 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C4/08 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/42 ,  G03F1/50

Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及制造方法。在掺杂二氧化钛的石英玻璃的EUV反射表面上，在将反射表面的中心处的原点(O)连接到双折射测量点(A)的直线与测量点(A)处的双折射快轴之间的角度(θ)具有大于45度的平均值。由于双折射的快轴是以同心的方式分布，因此得到具有高平整度的掺杂二氧化钛的石英玻璃衬底，该衬底适用于EUV光刻中。

公开(公告)号：CN102180595A

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN201010625211.6

申请日：2010-12-24

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利 ,  上田哲司 ,  江崎正信

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/2008 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/36 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/06 ,  G03F1/24

Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。更具体地涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃，该玻璃在900℃热处理100小时后经历小于或等于100ppm的OH基团浓度的降低，所述玻璃适合作为EUV光刻部件。

公开(公告)号：CN103941539B

公开(公告)日：2020-01-17

申请号：CN201410030505.2

申请日：2014-01-22

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利 ,  上田哲司 ,  江崎正信

IPC: G03F1/24 ,  C03B20/00

Abstract: 本发明涉及EUV光刻部件、制备方法和掺杂二氧化钛的石英玻璃。具体地，本发明涉及一种由掺杂二氧化钛的石英玻璃制成的部件，其中在垂直于EUV反射表面的表面中条纹具有至少150毫米的曲率半径。该部件没有暴露的条纹并且具有高的平整度，在EUV光刻中是有用的。

公开(公告)号：CN102180595B

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201010625211.6

申请日：2010-12-24

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利 ,  上田哲司 ,  江崎正信

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/2008 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/36 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/06 ,  G03F1/24

Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。更具体地涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃，该玻璃在900℃热处理100小时后经历小于或等于100ppm的OH基团浓度的降低，所述玻璃适合作为EUV光刻部件。

公开(公告)号：CN102765871A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201210228494.X

申请日：2012-04-11

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利 ,  上田哲司 ,  江崎正信

IPC: C03B20/00

CPC classification number: G03F1/24 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1423 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/64 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C4/08 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/42 ,  G03F1/50

Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及制造方法。在掺杂二氧化钛的石英玻璃的EUV反射表面上，在将反射表面的中心处的原点(O)连接到双折射测量点(A)的直线与测量点(A)处的双折射快轴之间的角度(θ)具有大于45度的平均值。由于双折射的快轴是以同心的方式分布，因此得到具有高平整度的掺杂二氧化钛的石英玻璃衬底，该衬底适用于EUV光刻中。