二氧化硅容器及其制造方法

    公开(公告)号:CN102301041A

    公开(公告)日:2011-12-28

    申请号:CN201080006326.5

    申请日:2010-10-19

    Abstract: 本发明是一种二氧化硅容器的制造方法,所述制造方法先制作Li、Na、K的合计浓度在50wt.ppm以下的基体形成用原料粉及含有Ca、Sr、Ba合计为50~2000wt.ppm的内层形成用粉,然后在模框内形成基体的暂时成形体,并在其内表面上形成内层的暂时成形体,而在以超过10vol.%的比率含有氢或氦或这些气体的混合气体的气体气氛中,通过放电加热熔融法来从基体和内层的暂时成形体的内侧进行加热,而将基体的暂时成形体的外周部分作成烧结体,并且将基体的暂时成形体的内周部分和内层的暂时成形体作成熔融玻璃体,由此来制造一种二氧化硅容器,所述二氧化硅容器具有:基体,其在外周部分含有气泡;及内层,其被形成在该基体的内表面上,并由透明二氧化硅玻璃所构成。由此,提供一种二氧化硅容器的制造方法及这样的二氧化硅容器,该二氧化硅容器的制造方法,能够以低成本来制造出具有高尺寸精确度及高耐热性的二氧化硅容器。

    二氧化硅容器及其制造方法

    公开(公告)号:CN102197002A

    公开(公告)日:2011-09-21

    申请号:CN201080003082.5

    申请日:2010-06-01

    CPC classification number: C03B19/09 C03B19/095 Y02P40/57

    Abstract: 本发明涉及一种二氧化硅容器的制造方法,用以制造具备二氧化硅基体而构成的二氧化硅容器,该二氧化硅基体具有旋转对称性。该制造方法包含:暂时成形的工序,其一边使具有减压用孔的碳制外模框旋转,一边导入基体用原料粉至外模框的内壁,将该基体用原料粉暂时成形为规定形状;及形成二氧化硅基体的工序,其一边从二氧化硅基体的暂时成形体的内周侧供给还原性气体,该还原性气体含有超过10体积%比率的H2气体,一边从二氧化硅基体的暂时成形体的外周侧来进行减压而脱气,并通过使用碳电极而实行的放电加热熔融法,从二氧化硅基体的暂时成形体的内侧进行加热来将二氧化硅基体的暂时成形体的外周部分作成烧结体,并将内侧部分作成熔融玻璃体。

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