半導体装置、メンテナンス装置、及びメンテナンス方法

    公开(公告)号:JP2017169145A

    公开(公告)日:2017-09-21

    申请号:JP2016054529

    申请日:2016-03-17

    Abstract: 【課題】半導体素子の特性変動を表すパラメータを測定し、その結果に基づいて半導体素子の寿命を予測し、特性変動を制御する。 【解決手段】半導体装置100は、ポリタイプ結晶構造を有する基板に形成される半導体素子10、半導体素子のゲート電圧のオーバーシュート時間を測定する第1測定部21並びに半導体装置の閾値電圧及びオン電圧を測定する第2測定部22を含む測定部20、測定部による測定結果に基づいて半導体素子の寿命を予測する予測部30及び予測部の予測結果に基づいて半導体素子のゲートGに接続するゲート抵抗Rgの抵抗値を変更する調整部12を備える。調整部によりゲート抵抗の抵抗値を変更することで、ゲート電圧のオーバーシュート時間を調整して半導体素子を延命することができる。 【選択図】図1

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