公开(公告)号：CN102834764B

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201180013109.3

申请日：2011-03-09

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： H·哈德达拉 ,  B·A·萨达尼 ,  A·N·哈菲兹 ,  M·梅德哈特

IPC: G02B26/08 ,  G01B9/02 ,  G01B7/14

CPC classification number: G02B26/0841 ,  G01B7/08 ,  G01B9/02071

Abstract: 一种微机电系统(MEMS)干涉仪系统使用电容感测电路确定可移动镜的位置。静电MEMS致动器耦合至可移动镜以引起其位移。电容感测电路感测MEMS致动器的当前电容并且基于MEMS致动器的当前电容确定可移动镜的位置。

公开(公告)号：CN108474690B

公开(公告)日：2020-10-13

申请号：CN201680074302.0

申请日：2016-04-18

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： M·安瓦尔 ,  M·梅德哈特 ,  B·莫塔达 ,  A·O·埃尔沙特 ,  M·加德西夫 ,  M·纳吉 ,  B·A·萨达尼 ,  A·N·哈菲兹

IPC: G01J3/06 ,  G01B9/02 ,  G01J3/453

Abstract: 微机电系统(MEMS)装置提供干涉仪的可移动反射镜的反射镜定位的自校准。MEMS装置中的至少一个反射镜包括非平面表面。可移动反射镜被耦合到具有可变电容的MEMS致动器。MEMS装置包括电容感测电路，用于确定在可移动反射镜的多个参考位置处的所述MEMS致动器的电容，所述多个参考位置对应于由干涉仪基于所述非平坦表面产生的干涉图的中心突发和一个或多个次级突发。校准模块使用在参考位置处的致动器电容来补偿电容感测电路中的任何漂移。

公开(公告)号：CN107250033B

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN201680011162.2

申请日：2016-02-19

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： M·梅德哈特 ,  B·莫塔达 ,  Y·萨布里 ,  S·纳泽尔 ,  Y·纳达 ,  M·萨德克 ,  B·A·萨达尼

IPC: B81C1/00

Abstract: 具有两个或更多个层级的开口的荫罩实现了微光学工作台设备内的微加工结构的选择性阶梯覆盖。荫罩包括在荫罩的顶面内的第一开口和在荫罩的底面内的第二开口。第二开口与第一开口对准并且具有小于第一开口的第一宽度的第二宽度。第一开口与第二开口之间的交叠部在荫罩内形成孔，通过该孔可以发生微光学工作台设备内的微加工结构的选择性涂覆。

公开(公告)号：CN105051484B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201380074282.3

申请日：2013-02-05

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： B·莫塔达 ,  D·A·M·卡利尔 ,  B·A·萨达尼

IPC: G01B9/02 ,  G01J9/02 ,  G02B27/14 ,  G02B27/16 ,  G02B26/08 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01B9/02015 ,  G01B9/02051 ,  G01B9/02091 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/453 ,  G01J9/02 ,  G02B26/0833 ,  G02B27/14 ,  G02B27/143 ,  G02B27/16

Abstract: 一种基于空间分束的光学微机电系统(MEMS)干涉仪包括用于将输入光束空间分束成两个干涉仪光束的空间分束器和用于将两个干涉仪光束空间合束的空间合束器。提供了一种MEMS可移动镜，用于产生第一干涉仪光束和第二干涉仪光束之间的光学路径差。

公开(公告)号：CN105051484A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201380074282.3

申请日：2013-02-05

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： B·莫塔达 ,  D·A·M·卡利尔 ,  B·A·萨达尼

IPC: G01B9/02 ,  G01J9/02 ,  G02B27/14 ,  G02B27/16 ,  G02B26/08 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01B9/02015 ,  G01B9/02051 ,  G01B9/02091 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/453 ,  G01J9/02 ,  G02B26/0833 ,  G02B27/14 ,  G02B27/143 ,  G02B27/16

Abstract: 一种基于空间分束的光学微机电系统(MEMS)干涉仪包括用于将输入光束空间分束成两个干涉仪光束的空间分束器和用于将两个干涉仪光束空间合束的空间合束器。提供了一种MEMS可移动镜，用于产生第一干涉仪光束和第二干涉仪光束之间的光学路径差。

公开(公告)号：CN102834764A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201180013109.3

申请日：2011-03-09

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： H·哈德达拉 ,  B·A·萨达尼 ,  A·N·哈菲兹 ,  M·梅德哈特

IPC: G02B26/08 ,  G01B9/02 ,  G01B7/14

CPC classification number: G02B26/0841 ,  G01B7/08 ,  G01B9/02071

Abstract: 一种微机电系统(MEMS)干涉仪系统使用电容感测电路确定可移动镜的位置。静电MEMS致动器耦合至可移动镜以引起其位移。电容感测电路感测MEMS致动器的当前电容并且基于MEMS致动器的当前电容确定可移动镜的位置。