公开(公告)号：CN105103030B

公开(公告)日：2018-07-06

申请号：CN201480013316.2

申请日：2014-01-28

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： M·梅德哈特 ,  B·莫塔达 ,  A·O·埃尔沙特 ,  M·纳吉 ,  M·加德西夫 ,  B·A·萨达尼 ,  A·N·哈菲兹

IPC: G02B26/06 ,  G01J3/06 ,  G01J3/453 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01J3/06 ,  G01B9/02071 ,  G01J3/4535 ,  G01N2021/3595 ,  G02B26/06 ,  G02B26/0841

Abstract: 一种微机电系统(MEMS)干涉仪提供了可移动反射镜的反射镜定位的自校准。可移动反射镜被耦合至具有可变电容的MEMS致动器。MEMS干涉仪包括用于确定在可移动反射镜的两个或更多个已知位置处的MEMS致动器的电容的电容感测电路和用于使用在已知位置处的致动器电容来补偿电容感测电路中的任何漂移的校准模块。

公开(公告)号：CN105103030A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480013316.2

申请日：2014-01-28

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： M·梅德哈特 ,  B·莫塔达 ,  A·O·埃尔沙特 ,  M·纳吉 ,  M·加德西夫 ,  B·A·萨达尼 ,  A·N·哈菲兹

IPC: G02B26/06 ,  G01J3/06 ,  G01J3/453 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01J3/06 ,  G01B9/02071 ,  G01J3/4535 ,  G01N2021/3595 ,  G02B26/06 ,  G02B26/0841

Abstract: 一种微机电系统(MEMS)干涉仪提供了可移动反射镜的反射镜定位的自校准。可移动反射镜被耦合至具有可变电容的MEMS致动器。MEMS干涉仪包括用于确定在可移动反射镜的两个或更多个已知位置处的MEMS致动器的电容的电容感测电路和用于使用在已知位置处的致动器电容来补偿电容感测电路中的任何漂移的校准模块。

公开(公告)号：CN108474690A

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201680074302.0

申请日：2016-04-18

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： M·安瓦尔 ,  M·梅德哈特 ,  B·莫塔达 ,  A·O·埃尔沙特 ,  M·加德西夫 ,  M·纳吉 ,  B·A·萨达尼 ,  A·N·哈菲兹

IPC: G01J3/06 ,  G01B9/02 ,  G01J3/453

Abstract: 微机电系统(MEMS)装置提供干涉仪的可移动反射镜的反射镜定位的自校准。MEMS装置中的至少一个反射镜包括非平面表面。可移动反射镜被耦合到具有可变电容的MEMS致动器。MEMS装置包括电容感测电路，用于确定在可移动反射镜的多个参考位置处的所述MEMS致动器的电容，所述多个参考位置对应于由干涉仪基于所述非平坦表面产生的干涉图的中心突发和一个或多个次级突发。校准模块使用在参考位置处的致动器电容来补偿电容感测电路中的任何漂移。

公开(公告)号：CN108474690B

公开(公告)日：2020-10-13

申请号：CN201680074302.0

申请日：2016-04-18

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： M·安瓦尔 ,  M·梅德哈特 ,  B·莫塔达 ,  A·O·埃尔沙特 ,  M·加德西夫 ,  M·纳吉 ,  B·A·萨达尼 ,  A·N·哈菲兹

IPC: G01J3/06 ,  G01B9/02 ,  G01J3/453

Abstract: 微机电系统(MEMS)装置提供干涉仪的可移动反射镜的反射镜定位的自校准。MEMS装置中的至少一个反射镜包括非平面表面。可移动反射镜被耦合到具有可变电容的MEMS致动器。MEMS装置包括电容感测电路，用于确定在可移动反射镜的多个参考位置处的所述MEMS致动器的电容，所述多个参考位置对应于由干涉仪基于所述非平坦表面产生的干涉图的中心突发和一个或多个次级突发。校准模块使用在参考位置处的致动器电容来补偿电容感测电路中的任何漂移。