半导体装置的制造方法
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109075088A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201780028064.4

    申请日:2017-04-10

    Abstract: 本发明公开一种半导体装置的制造方法,所述半导体装置为具备具有连接部的半导体芯片和具有连接部的配线电路基板、且各自的连接部相互电连接的半导体装置,或为具备具有连接部的多个半导体芯片且各自的连接部相互电连接的半导体装置。连接部由金属构成。上述方法具备:(a)第一工序,将半导体芯片和配线电路基板、或将半导体芯片彼此以中间隔着半导体用粘接剂的状态,在低于连接部的金属的熔点的温度下,按照各自的连接部相互接触的方式压接,获得临时连接体;(b)第二工序,使用密封用树脂将临时连接体的至少一部分密封,获得密封临时连接体;以及(c)第三工序,将密封临时连接体以大于或等于连接部的金属的熔点的温度加热,获得密封连接体。

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