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公开(公告)号：JP2020132469A
公开(公告)日：2020-08-31
申请号：JP2019027719
申请日：2019-02-19
Applicant: 東ソ−・エスジ−エム株式会社
Abstract: 【課題】見掛け密度が低い不透明層を有し、多層石英ガラス板の熱伝導率も低く、その結果、加熱炉からの輻射や伝導による熱を十分に遮断できる多層構造石英ガラス材を提供する。 【解決手段】透明石英ガラス層、不透明石英ガラス層及び透明石英ガラス層をこの順に有する多層石英ガラス材において、不透明石英ガラス層の見掛け密度が、2.0g/cm 3 以下である、多層構造石英ガラス材。第1の透明石英ガラス板と第2の透明石英ガラス板とを対向する面が所定間隔で略平行になるように成型用鋳型内に支持し、 第1の透明石英ガラス板と第2の透明石英ガラス板との間の空間にシリカ粉末および窒化ケイ素粉末の混合粉末である不透明層用の原料粉末を充填し、 第1の透明石英ガラス板と第2の透明石英ガラス板の外側から対向する向きに荷重を掛けつつ電気炉内で加熱して原料粉末を溶融および発泡させ、その後に冷却して多層構造石英ガラス材を製造する方法。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP2019182691A
公开(公告)日：2019-10-24
申请号：JP2018072674
申请日：2018-04-04
Applicant: 東ソ−・エスジ−エム株式会社
Abstract: 【課題】赤外領域の透過率が高く、屈折率分布の均質性に優れた石英ガラスインゴットであって、大型インゴットを製造することができる方法を提供。上記大型インゴットを熱処理し、光学特性に優れた大口径製品を得るための成型方法を提供する。 【解決手段】OH基濃度が100ppm以下であり、かつ金属不純物の濃度が各金属について1ppm以下である合成シリカ粉末をプラズマ火炎中で熔融し、熔融状態で堆積させて石英ガラスインゴットを得ることを含む石英ガラスインゴットの製造方法。この方法により石英ガラスインゴットを調製し、得られた石英ガラスインゴットを鋳型を用いて加熱変形させて石英ガラス製品を得る、石英ガラス製品の製造方法。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2019073421A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：JP2017202335
申请日：2017-10-19
Applicant: 東ソ−・エスジ−エム株式会社
IPC: C03C4/08 , H01L21/3065 , C03C3/095
Abstract: 【課題】プラズマを用いる半導体製造装置または液晶製造装置の部材として、充分な耐久性及び遮熱性(熱線に対する遮断性)を有する石英ガラスを提供する。 【解決手段】Si、Al及びYを含有する酸化物からなる非晶質ガラスであって、明度(L*)が90%以上である、非晶質ガラス。 【選択図】なし
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2018138499A
公开(公告)日：2018-09-06
申请号：JP2017033349
申请日：2017-02-24
Applicant: 東ソ−・エスジ−エム株式会社 , 国立大学法人福井大学
Abstract: 【課題】高温でのNH 3 ガス含有雰囲気で熱処理を要することなく紫外線吸収性を有する石英ガラス物品を製造できる新たな方法及び新たな紫外線吸収性を有する石英ガラス物品を提供すること。 【解決手段】熔融石英ガラス物品の少なくとも一部に放射線を照射することで、放射線を照射した部位の紫外線吸収性を高めることを含む、紫外線吸収性を有する石英ガラス物品の製造方法。アルミニウム含有量が30ppm以下であり、アルミニウム以外の金属不純物の含有量が20ppm以下であり、かつアルミニウム及びアルミニウム以外の金属不純物の合計含有量が50ppm以下である熔融石英ガラス物品であって、前記物品の少なくとも一部に、厚さ10mmにおける波長220nmの紫外光の透過率が10%未満である紫外線吸収性を有する構造欠陥部位を有する、紫外線吸収性を有する石英ガラス物品。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP6833487B2
公开(公告)日：2021-02-24
申请号：JP2016238182
申请日：2016-12-08
Applicant: 東ソ−・エスジ−エム株式会社
IPC: C03B20/00
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公开(公告)号：JP2019038708A
公开(公告)日：2019-03-14
申请号：JP2017159943
申请日：2017-08-23
Applicant: 東ソ−・エスジ−エム株式会社
IPC: C03B11/00
Abstract: 【課題】(1)成形型の応力緩和方法、(2)成形体のシール性、及び(3)成形体の寸法精度と面精度に関する課題を解決する、新たな石英ガラス用成形型及び石英ガラス成形体の製造方法を提供する。 【解決手段】底部及び側壁部を有し、石英ガラスを成形するための空間を有する成形型であって、前記成形型の底部及び側壁部は、外側から、それぞれC/Cコンポジットからなる第一層、カーボン製クッション材からなる第二層、及び黒鉛製成形断熱材からなる第三層を有し、前記第三層が前記石英ガラスを成形するための空間を形成する。底部及び側壁部を有し、石英ガラスを成形するための空間を有する上記成形型を用いて石英ガラスを成形する方法。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018138500A
公开(公告)日：2018-09-06
申请号：JP2017033350
申请日：2017-02-24
Applicant: 東ソ−・エスジ−エム株式会社 , 国立大学法人福井大学
Abstract: 【課題】OH基の拡散を抑制する効果がある石英ガラスを提供する。 【解決手段】酸素欠乏欠陥を有し、その欠陥による吸収により、光路長10mmでの250nmの透過率が70%以下であり、かつOH基含有量が20ppm以下である石英ガラス材料。多孔質シリカ体(スート体)を水素ガス雰囲気下で加熱処理する工程、及び 水素ガス雰囲気で処理したスート体を、加熱処理して透明ガラス化する工程を含む、上記石英ガラスの製造方法。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP5825722B2
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：JP2013215033
申请日：2013-10-15
Applicant: 東ソー株式会社 , 東ソ−・エスジ−エム株式会社
CPC classification number: C03C4/0085 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03C3/06 , C03C4/10 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03C2201/23 , C03C2201/50 , C03C2201/54 , Y02P40/57
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