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公开(公告)号：CN103029988A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210363945.0
申请日：2012-09-26
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供机械手和基板搬送装置，能够高效地对基板进行除电。为了解决上述课题，构成机械手和具备所述机械手的基板搬送装置，所述机械手具备多个叉、作为产生部的静电除去装置和作为喷出部的喷出孔。上述多个叉用于载置基板。上述静电除去装置设于上述叉的内部，用于产生离子化的气体。上述喷出孔用于将由上述静电除去装置产生的离子化的气体喷出。
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公开(公告)号：CN102189543A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201010162632.X
申请日：2010-04-16
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供工业用机器人。其可在无尘室内使用，且能够缩短生产节拍时间。该工业用机器人具有：载置工件的手(8)；以及臂(2)，其使手(8)从所述工件的规定位置进行取出以及供给，通过支承部件(10)将所述臂(2)与上下移动机构(11)连接，在所述上下移动机构(11)的下部设有台座(13)，在所述台座(13)进行旋转的基台(14)上具有摆式止动器(17)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN202805205U
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201220487667.5
申请日：2012-09-21
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J15/08 , H01L21/677
Abstract: 本实用新型提供防止高温环境下的劣化的机器人手以及机器人。机器人手和机器人构成为：具备由纤维强化塑料形成的叉，并且所述叉具有通过在外表面被覆聚酰亚胺而形成的被覆层。另外，被覆层例如通过使包含聚酰亚胺的膜材料即聚酰亚胺膜以呈螺旋状的方式卷绕而形成，所述被覆层也可以仅形成在叉的外周面的一部分。
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公开(公告)号：CN202807879U
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201220496568.3
申请日：2012-09-26
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本实用新型提供机械手和基板搬送装置，能够高效地对基板进行除电。为了解决上述课题，构成机械手和具备所述机械手的基板搬送装置，所述机械手具备多个叉、作为产生部的静电除去装置和作为喷出部的喷出孔。上述多个叉用于载置基板。上述静电除去装置设于上述叉的内部，用于产生离子化的气体。上述喷出孔用于将由上述静电除去装置产生的离子化的气体喷出。
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