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公开(公告)号：CN112775933B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202011244865.4
申请日：2020-11-10
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J9/00 , B25J9/04 , B25J11/00 , B25J13/00 , H01L21/687
Abstract: 机器人系统、机器人的控制方法、半导体制造系统。在确保臂的伸长的同时使回转半径小型化。机器人具有：水平多关节型的第一臂(17)，其具备被设置成能够绕回转轴线(AX0)旋转的第一基部连杆、第一中间连杆和保持工件的第一手部(21)，第一臂使第一手部沿着以回转轴线为中心的第一径向(D1)移动；水平多关节型的第二臂(19)，其具备被设置成能够与第一基部连杆独立地绕回转轴线旋转的第二基部连杆、第二中间连杆和保持工件的第二手部(23)，第二臂使第二手部沿第二径向(D2)移动，第二径向与第一径向之间绕回转轴线具有规定的角度；及回转装置(24)，其使第一臂及第二臂在保持绕回转轴线的周向的位置关系的状态下在周向上一起回转。
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公开(公告)号：CN113966548A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202080037031.8
申请日：2020-05-21
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/677
Abstract: 搬送设备包括多个机器人和移动缓冲器。多个机器人被固定在具有减压大气的搬送室的室内并且搬送基板，该搬送室包括设置有以水平取向布置的多个处理室的侧壁。移动缓冲器能够保持基板并沿着沿处理室的布置方向的轨道移动。机器人包括第一机器人和第二机器人。第一机器人被固定到负载锁定室和最靠近负载锁定室的处理室‑即第一处理室、和第一机器人可以搬送基板的位置。第二机器人被固定在第二机器人能够与不同于第一处理室的至少一个第二处理室交换基板的位置。移动缓冲器在俯视图中在侧壁与机器人之间移动，并经过第一机器人和基板可交换的位置以及第二机器人和基板可交换的位置。
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公开(公告)号：CN113492419A
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN202110340659.1
申请日：2021-03-30
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J18/00
Abstract: 一种机器人(1)包括：关节臂(200)；以及基部单元(100)，其能操作地联接有关节臂(200)。基部单元(100)包括：旋转部(121)；致动器(130)，其安装在旋转部(121)上并被配置为使旋转部(121)绕第一轴线(Ax1)旋转；以及臂连接器(140)，其附接到旋转部(121)的第一部分(P1)。关节臂(200)连接到臂连接器(140)以绕第二轴线(Ax2)摆动；以及肋(151)，其横跨致动器(130)并将臂连接器(140)连接到旋转部(121)的第二部分(P2)。致动器(130)位于旋转部(121)的第一部分(P1)和第二部分(P2)之间。
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公开(公告)号：CN103917338B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201180074670.2
申请日：2011-11-09
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J15/08
CPC classification number: B25J15/08 , B25J9/1065 , B25J15/0009 , B25J15/022 , B25J15/086 , B25J15/10 , Y10S901/32 , Y10S901/39
Abstract: 本发明提供欠驱动的机器人手和机器人。机器人手包括：框架；以及设置在框架上并对把持对象物进行把持的手指单元(22)，手指单元(22)具有：斯科特-拉塞尔机构(SRM)，其由摆动杠杆部件(SL)和转换连杆部件(41)构成，所述转换连杆部件(41)通过位于中间部的连接部以能够旋转的方式连接在所述摆动杠杆部件的另一端部；第一平行连杆机构，其至少由所述摆动杠杆部件(SL)和通用连杆部件(CL)构成，所述通用连杆部件(CL)以能够旋转的方式连接在所述连接部上；以及第二平行连杆机构，其由所述通用连杆部件(CL)、所述转换连杆部件(41)、前端部连杆部件(42)和对置转换连杆部件(41f)构成。
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公开(公告)号：CN119260786A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202410885995.8
申请日：2024-07-03
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 机器人(2)具备手部(20)和分别驱动多个关节(J10)的多个致动器(40)，多个致动器(40)分别具有：主体(110、210、340)，其在所要驱动的关节(J10)中固定于多关节臂(3)的一个连杆；以及输出轴(120、220、350)，其沿着轴线从主体(110、210、340)突出并固定于多关节臂(3)的另一个连杆，且绕轴线旋转，多关节臂(3)与多个致动器(40)分别对应地还具有密封构件(140、240、370)，其以能够与主体(110、210、340)分体地拆卸的状态安装于一个连杆，将一个连杆与输出轴(120、220、350)之间密封。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116568618A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202180082283.7
申请日：2021-11-16
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B65G54/02
Abstract: 基板搬运系统(1)具备：线性搬运装置(2)，其沿着搬运线(TL)搬运基板(W)；机器人，其从线性搬运装置(2)接收基板(W)而搬入处理单元(PU)，并从处理单元(PU)搬出基板(W)而交接给线性搬运装置(2)，线性搬运装置(2)具备：移动基部(50)(第一移动体)，其沿着搬运线(TL)移动；浮起单元(10)(第二移动体)，其支承基板(W)；以及非接触力产生部(70)，其以使浮起单元(10)相对于移动基部(50)浮起的同时使浮起单元(10)追随移动基部(50)的移动的方式，使非接触力从移动基部(50)作用于浮起单元(10)。
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公开(公告)号：CN112775933A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202011244865.4
申请日：2020-11-10
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J9/00 , B25J9/04 , B25J11/00 , B25J13/00 , H01L21/687
Abstract: 机器人系统、机器人的控制方法、半导体制造系统。在确保臂的伸长的同时使回转半径小型化。机器人具有：水平多关节型的第一臂(17)，其具备被设置成能够绕回转轴线(AX0)旋转的第一基部连杆、第一中间连杆和保持工件的第一手部(21)，第一臂使第一手部沿着以回转轴线为中心的第一径向(D1)移动；水平多关节型的第二臂(19)，其具备被设置成能够与第一基部连杆独立地绕回转轴线旋转的第二基部连杆、第二中间连杆和保持工件的第二手部(23)，第二臂使第二手部沿第二径向(D2)移动，第二径向与第一径向之间绕回转轴线具有规定的角度；及回转装置(24)，其使第一臂及第二臂在保持绕回转轴线的周向的位置关系的状态下在周向上一起回转。
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公开(公告)号：CN103917338A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201180074670.2
申请日：2011-11-09
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J15/08
CPC classification number: B25J15/08 , B25J9/1065 , B25J15/0009 , B25J15/022 , B25J15/086 , B25J15/10 , Y10S901/32 , Y10S901/39
Abstract: 本发明提供欠驱动的机器人手和机器人。机器人手包括：框架；以及设置在框架上并对把持对象物进行把持的手指单元(22)，手指单元(22)具有：斯科特-拉塞尔机构(SRM)，其由摆动杠杆部件(SL)和转换连杆部件(41)构成，所述转换连杆部件(41)通过位于中间部的连接部以能够旋转的方式连接在所述摆动杠杆部件的另一端部；第一平行连杆机构，其至少由所述摆动杠杆部件(SL)和通用连杆部件(CL)构成，所述通用连杆部件(CL)以能够旋转的方式连接在所述连接部上；以及第二平行连杆机构，其由所述通用连杆部件(CL)、所述转换连杆部件(41)、前端部连杆部件(42)和对置转换连杆部件(41f)构成。
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公开(公告)号：CN119275166A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202410885998.1
申请日：2024-07-03
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/687 , H01L21/677
Abstract: 本公开涉及机器人以及基板输送装置。机器人(2)具备多关节臂(3)及凸缘(30)，多关节臂具有：手部(20)，其支承基板(W)；基部(10)；臂(4)，其将手部与基部连结；以及多个关节(J10)，它们沿着臂排列，分别绕铅垂的轴线动作来变更手部相对于基部的位置、姿势，凸缘(30)以将基部与臂及手部之间分隔开的方式扩展并封堵收纳多关节臂(3)的至少一部分的腔室(90)的开口(OP1)，凸缘(30)具有长边方向，在凸缘(30)的长边方向上，多个关节(J10)中的距基部(10)最近的关节(J10)的轴线在凸缘(30)的一端(31)与凸缘(30)的中心(32)之间位于靠近一端(31)的位置。
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公开(公告)号：CN107614314B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201680031086.1
申请日：2016-05-27
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 输送系统具备至少一个引导单元(100)和承载部件(200)。引导单元(100)具有：行驶面(121)；至少一条导轨(110)；以及由软磁材料构成、包含沿着输送路径排列的多个凸极的磁性部件。承载部件(200)具有：从侧方与导轨(110)相接的至少一个辊(220)；与行驶面(121)相接的至少一个车轮(210)；以及多个线圈，所述多个线圈被设置成在俯视观察时与磁性部件重合，根据电力的供给而产生作用于磁性部件的移动磁场，从而产生沿输送路径的推力和对磁性部件的吸引力。
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