-
公开(公告)号:CN113966548B
公开(公告)日:2025-04-11
申请号:CN202080037031.8
申请日:2020-05-21
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/677
Abstract: 搬送设备包括多个机器人和移动缓冲器。多个机器人被固定在具有减压大气的搬送室的室内并且搬送基板,该搬送室包括设置有以水平取向布置的多个处理室的侧壁。移动缓冲器能够保持基板并沿着沿处理室的布置方向的轨道移动。机器人包括第一机器人和第二机器人。第一机器人被固定到负载锁定室和最靠近负载锁定室的处理室‑即第一处理室、和第一机器人可以搬送基板的位置。第二机器人被固定在第二机器人能够与不同于第一处理室的至少一个第二处理室交换基板的位置。移动缓冲器在俯视图中在侧壁与机器人之间移动,并经过第一机器人和基板可交换的位置以及第二机器人和基板可交换的位置。
-
公开(公告)号:CN113508456A
公开(公告)日:2021-10-15
申请号:CN202080003588.X
申请日:2020-02-05
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/677
Abstract: 搬运系统具有搬运室,在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室,该搬运室在减压气氛下搬运基板。搬运室具备:固定在搬运室内,搬运基板的多个机器人;和移动式缓冲器。移动式缓冲器保持基板,在侧壁与机器人之间沿着侧壁在水平方向上移动。机器人通过与移动式缓冲器的移动进行协作而在移动式缓冲器与处理室之间进行基板的交接。
-
公开(公告)号:CN111907337A
公开(公告)日:2020-11-10
申请号:CN202010795961.1
申请日:2016-05-27
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 输送系统具备至少一个引导单元(100)和承载部件(200)。引导单元(100)具有:行驶面(121);至少一条导轨(110);以及由软磁材料构成、包含沿着输送路径排列的多个凸极的磁性部件。承载部件(200)具有:从侧方与导轨(110)相接的至少一个辊(220);与行驶面(121)相接的至少一个车轮(210);以及多个线圈,所述多个线圈被设置成在俯视观察时与磁性部件重合,根据电力的供给而产生作用于磁性部件的移动磁场,从而产生沿输送路径的推力和对磁性部件的吸引力。
-
公开(公告)号:CN102821918A
公开(公告)日:2012-12-12
申请号:CN201180015203.2
申请日:2011-03-23
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J15/08
CPC classification number: B25J15/0009
Abstract: 公开了一种容易实现灵活抓握目标抓握物体的机器人手和机器人装置,其中所述灵活抓握遵循所述目标物体的形状。所述机器人手是具有比致动器更多的数量的关节的欠致动机器人手(8),并且包括:手掌部(11);三个手指部(12),其中这三个手指部的基部连接到所述手掌部(11),并且包括多个连杆(16,17和18),所述连杆以能够弯曲的方式连接;以及形状相配机构(US),该形状相配机构位于一个手指部(12A)上,该手指部能够抓握,以使得通过向所述连杆(16,17和18)施加扭转移位而用所述手指部(12)抓握目标抓握物体(9)。
-
公开(公告)号:CN113492419B
公开(公告)日:2024-07-12
申请号:CN202110340659.1
申请日:2021-03-30
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J18/00
Abstract: 一种机器人(1)包括:关节臂(200);以及基部单元(100),其能操作地联接有关节臂(200)。基部单元(100)包括:旋转部(121);致动器(130),其安装在旋转部(121)上并被配置为使旋转部(121)绕第一轴线(Ax1)旋转;以及臂连接器(140),其附接到旋转部(121)的第一部分(P1)。关节臂(200)连接到臂连接器(140)以绕第二轴线(Ax2)摆动;以及肋(151),其横跨致动器(130)并将臂连接器(140)连接到旋转部(121)的第二部分(P2)。致动器(130)位于旋转部(121)的第一部分(P1)和第二部分(P2)之间。
-
公开(公告)号:CN117228342A
公开(公告)日:2023-12-15
申请号:CN202310681511.3
申请日:2023-06-08
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B65G54/02
Abstract: 本公开涉及一种输送系统,该输送系统包括:工件保持器,其被构造成保持工件;移动主体,其至少在重力方向上面向工件保持器,并且可在与重力方向相交的移动方向上移动;减重器,其被构造成将静态非接触力施加到工件保持器,以降低工件保持器的重量;力生成器,其设置在移动主体上以在重力方向上面向工件保持器,力生成器被构造成将可控非接触力施加到工件保持器,以便在使具有降低重量的工件保持器悬浮的同时跟随移动主体的移动;以及控制单元,其被构造成控制由力生成器产生的可控非接触力,以控制工件保持器相对于移动主体的相对位置。
-
公开(公告)号:CN115707369A
公开(公告)日:2023-02-21
申请号:CN202210967545.4
申请日:2022-08-12
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: A01D45/00 , B65G35/00 , B65G47/248 , B65G47/74 , B65G65/32
Abstract: 本发明提供蔬菜收获系统以及蔬菜收获方法,能够以卫生且不损伤的方式收获蔬菜。蔬菜收获系统(1)具有:收获机器人(15),其具备保持蔬菜(3)的叶部(3b)的手(20);以及控制器(97),其以如下方式控制收获机器人(15)的动作:利用手(20)保持并抬起蔬菜(3)的叶部(3b),使抬起的叶部(3b)的上下的朝向反转,将反转后的叶部(3b)收纳于容器(21)。
-
公开(公告)号:CN105690368A
公开(公告)日:2016-06-22
申请号:CN201510861034.4
申请日:2015-12-01
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供一种机器人,其能够实现小型化。具体而言,实施方式所涉及的机器人具备第1臂、第2臂、制动机构。第1臂设置成可围绕第1轴进行转动。第2臂可围绕第2轴进行摆动地连结于第1臂。制动机构在第1臂上设置于根端部与顶端部之间且对第2臂进行制动。另外,还具备转动驱动第2臂的第2驱动装置,在与第1臂的延伸方向正交的宽度方向上,以第2驱动装置、第2臂及制动机构的顺序进行配置。
-
公开(公告)号:CN119260788A
公开(公告)日:2025-01-07
申请号:CN202410886353.X
申请日:2024-07-03
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 一种机器人(2),其具有使第一手部(20)和第二手部(70)相互独立地旋转的手部马达(301),手部马达具有:第一输出轴(350),其固定于第一手部(20);第一定子(342),其使绕手部轴线(Ax3)的旋转磁场作用于第一输出轴(350);第二输出轴(320),其贯通第一输出轴(350)并固定于第二手部(70);第二定子(315),其使绕手部轴线(Ax3)的旋转磁场作用于第二输出轴(320);第一轴承(323、324),其保持于连杆并保持第一输出轴(350)或第二输出轴(320);及第二轴承(355、356),其保持于第二输出轴(320)并将第一输出轴(350)保持为绕手部轴线(Ax3)旋转。
-
公开(公告)号:CN119260787A
公开(公告)日:2025-01-07
申请号:CN202410886174.6
申请日:2024-07-03
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 一种机器人(2),具备:多关节臂(3),其具有支承基板(W)的手部(20)、基部(10)、将手部(20)与基部(10)连结的臂(4)、以及沿着臂(4)排列且分别绕铅垂的轴线动作来变更手部(20)相对于基部(10)的位置、姿势的多个关节(J10);以及多个马达,它们分别驱动多个关节(J10),多个马达分别是直接驱动式马达,配置于所要驱动的关节(J10)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-