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公开(公告)号：CN117124355A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310591697.3
申请日：2023-05-24
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 搬运机器人以及机器人系统，实现臂的小型化。搬运机器人具有多个手、多个手驱动电机和1个臂。多个手能够保持被搬运物，在1个旋转轴上分别旋转。多个手驱动电机在沿着旋转轴的方向上，以电机轴与旋转轴同心的方式排列配置，分别直接驱动多个手，电机轴与多个手分别连接。1个臂内置多个手驱动电机。
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公开(公告)号：CN113715033A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110549804.7
申请日：2021-05-20
Applicant: 株式会社安川电机
Inventor： 小宫路修
Abstract: 本发明提供搬运装置、搬运方法以及搬运系统，提高基板的搬运效率。搬运装置具备第一机器人、第二机器人以及移动式缓冲器。第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于搬运室的室内,是相对于第二处理室组搬运基板的机器人，所述第二处理室组是在与第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与第一机器人以及第二机器人进行基板的交接，在第一机器人与第二机器人之间沿着在处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。
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公开(公告)号：CN103240732A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201210592401.1
申请日：2012-12-31
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J9/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J18/04 , B25J9/043 , B25J9/104 , B25J9/1045 , B25J19/0066
Abstract: 本发明涉及一种机器人。所述机器人包括：臂，所述臂具有基端部和末端部，所述基端部借助关节部以可旋转的方式安装，输出轴安装在所述末端部中；以及驱动机构，所述驱动机构设置在所述臂内并且构造成以减小的速度来驱动所述输出轴。所述驱动机构包括：具有马达轴的马达；附接到所述马达轴的驱动带轮；附接到所述输出轴的从动带轮；至少一个中间带轮，所述中间带轮设置在所述驱动带轮和所述从动带轮之间；以及多个带，所述多个带用于通过所述中间带轮将所述驱动带轮和所述从动带轮操作地互连。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113966548B
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202080037031.8
申请日：2020-05-21
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/677
Abstract: 搬送设备包括多个机器人和移动缓冲器。多个机器人被固定在具有减压大气的搬送室的室内并且搬送基板，该搬送室包括设置有以水平取向布置的多个处理室的侧壁。移动缓冲器能够保持基板并沿着沿处理室的布置方向的轨道移动。机器人包括第一机器人和第二机器人。第一机器人被固定到负载锁定室和最靠近负载锁定室的处理室‑即第一处理室、和第一机器人可以搬送基板的位置。第二机器人被固定在第二机器人能够与不同于第一处理室的至少一个第二处理室交换基板的位置。移动缓冲器在俯视图中在侧壁与机器人之间移动，并经过第一机器人和基板可交换的位置以及第二机器人和基板可交换的位置。
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公开(公告)号：CN113508456A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202080003588.X
申请日：2020-02-05
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/677
Abstract: 搬运系统具有搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，该搬运室在减压气氛下搬运基板。搬运室具备：固定在搬运室内，搬运基板的多个机器人；和移动式缓冲器。移动式缓冲器保持基板，在侧壁与机器人之间沿着侧壁在水平方向上移动。机器人通过与移动式缓冲器的移动进行协作而在移动式缓冲器与处理室之间进行基板的交接。
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公开(公告)号：CN113715033B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN202110549804.7
申请日：2021-05-20
Applicant: 株式会社安川电机
Inventor： 小宫路修
Abstract: 本发明提供搬运装置、搬运方法以及搬运系统，提高基板的搬运效率。搬运装置具备第一机器人、第二机器人以及移动式缓冲器。第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于搬运室的室内,是相对于第二处理室组搬运基板的机器人，所述第二处理室组是在与第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与第一机器人以及第二机器人进行基板的交接，在第一机器人与第二机器人之间沿着在处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。
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公开(公告)号：CN113966548A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202080037031.8
申请日：2020-05-21
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/677
Abstract: 搬送设备包括多个机器人和移动缓冲器。多个机器人被固定在具有减压大气的搬送室的室内并且搬送基板，该搬送室包括设置有以水平取向布置的多个处理室的侧壁。移动缓冲器能够保持基板并沿着沿处理室的布置方向的轨道移动。机器人包括第一机器人和第二机器人。第一机器人被固定到负载锁定室和最靠近负载锁定室的处理室‑即第一处理室、和第一机器人可以搬送基板的位置。第二机器人被固定在第二机器人能够与不同于第一处理室的至少一个第二处理室交换基板的位置。移动缓冲器在俯视图中在侧壁与机器人之间移动，并经过第一机器人和基板可交换的位置以及第二机器人和基板可交换的位置。
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公开(公告)号：CN103240732B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201210592401.1
申请日：2012-12-31
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J9/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J18/04 , B25J9/043 , B25J9/104 , B25J9/1045 , B25J19/0066
Abstract: 本发明涉及一种机器人。所述机器人包括：臂，所述臂具有基端部和末端部，所述基端部借助关节部以可旋转的方式安装，输出轴安装在所述末端部中；以及驱动机构，所述驱动机构设置在所述臂内并且构造成以减小的速度来驱动所述输出轴。所述驱动机构包括：具有马达轴的马达；附接到所述马达轴的驱动带轮；附接到所述输出轴的从动带轮；至少一个中间带轮，所述中间带轮设置在所述驱动带轮和所述从动带轮之间；以及多个带，所述多个带用于通过所述中间带轮将所述驱动带轮和所述从动带轮操作地互连。
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