公开(公告)号：CN118369746A

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202280080240.X

申请日：2022-11-18

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 清水进二 ,  增井达哉 ,  出羽裕一 ,  宫胁美和

IPC: H01L21/304 ,  B05C5/00 ,  B05C11/00 ,  B05C11/08 ,  B05C11/10

Abstract: 本发明提供一种可更高精度地检测与护具相关的异常的技术。本发明的基板处理装置具备：基板保持部，其保持基板；液体喷嘴，其向由基板保持部保持的基板供给处理液；筒状的护具，其包围基板保持部，承接自基板的周缘飞散的处理液；护具升降机构，其使护具升降；相机(70)，其设置于比基板保持部更靠斜上方的位置，拍摄包含护具的拍摄区域并生成拍摄图像；及控制部(9)，其将使护具移动至规定高度位置的控制信号输出至护具升降机构，并基于拍摄图像，判定有无与护具的位置或形状相关的异常。

公开(公告)号：CN112490167A

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：CN202010805951.1

申请日：2020-08-12

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 角间央章 ,  沖田有史 ,  犹原英司 ,  增井达哉 ,  出羽裕一

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种提高对移动的喷嘴的位置检测精度的基板处理装置。基板处理装置具有用于拍摄喷嘴并输出喷嘴的图像数据的拍摄部，用于根据图像数据检测喷嘴的位置的位置检测部。位置检测部在停止区域中，通过使用基准图像数据对图像数据进行匹配处理，从而检测喷嘴的位置，在移动区域中，将在停止区域检测到的喷嘴的位置作为基准，通过在连续的图像数据之间进行循轨处理来检测喷嘴的位置。