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公开(公告)号：CN112490167B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202010805951.1
申请日：2020-08-12
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种提高对移动的喷嘴的位置检测精度的基板处理装置。基板处理装置具有用于拍摄喷嘴并输出喷嘴的图像数据的拍摄部，用于根据图像数据检测喷嘴的位置的位置检测部。位置检测部在停止区域中，通过使用基准图像数据对图像数据进行匹配处理，从而检测喷嘴的位置，在移动区域中，将在停止区域检测到的喷嘴的位置作为基准，通过在连续的图像数据之间进行循轨处理来检测喷嘴的位置。
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公开(公告)号：CN115769344A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202180043923.3
申请日：2021-06-04
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304 , H01L21/027 , H01L21/306 , B05C11/00 , B05C11/10
Abstract: 一种用于基板处理监视的设定信息的设定方法，具备：设置制程工序(S12)，对使基板处理装置内的第一监视对象物移动的移动机构进行控制，使所述第一监视对象物移动至第一停止位置；设置拍摄工序，与设置制程工序(S12)并行地执行，并由照相机对第一监视对象物进行拍摄；以及设定工序(S16)，基于在设置拍摄工序中由照相机取得并包含停止于第一停止位置的第一监视对象物的第一图像数据和表示第一监视对象物的至少一部分的第一参照图像数据，检测第一图像数据内的第一监视对象物的位置，并将该位置设定为与所述第一停止位置相关的适当位置。
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公开(公告)号：CN118830061A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202380025906.6
申请日：2023-01-31
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304 , B05C11/00 , B05C11/08 , H01L21/027 , H01L21/306
Abstract: 本发明提供一种能够抑制液滴的影响而以更高的精度对监视对象物进行监视的技术。基板处理装置具有腔室(10)、基板保持部(20)、喷嘴(30)、摄像头(70)以及控制部(9)。基板保持部(20)在腔室(10)内保持基板(W)。喷嘴(30)朝向由基板保持部(20)保持的基板(W)喷出处理液。摄像头(70)拍摄包括腔室(10)内的监视对象物的拍摄区域，生成拍摄图像数据。在拍摄图像数据包含有液滴时，控制部(9)使用拍摄图像数据中去除了表示液滴的液滴区域的至少一部分的区域，对监视对象物进行监视。
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公开(公告)号：CN115668451A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180038150.X
申请日：2021-05-12
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/027 , B05C11/00 , B05C11/08 , B05C11/10 , H01L21/304 , H01L21/306
Abstract: 本发明提供可根据更适当的图像数据来进行对多个监视对象分别进行监视处理的技术。本发明的基板处理方法具备：保持步骤，将基板搬入腔室的内部并将基板加以保持；供给步骤，在腔室的内部对基板供给流体；拍摄步骤(S12)，由照相机对腔室的内部按序地进行拍摄来获取图像数据；条件设定步骤(S11)，从腔室内的多个监视对象候补中确定监视对象，并根据监视对象来变更图像条件；及监视步骤(S13)，根据具有与监视对象对应的图像条件的图像数据，进行对监视对象的监视处理。
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公开(公告)号：CN112509940B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202010840506.9
申请日：2020-08-19
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种不需要基准图像也能够判定基板是否被正常地保持的基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具有：保持部，用于保持基板；拍摄部，用于在包括被保持的基板的外缘部的拍摄范围内对基板的多个部位进行拍摄，并且输出基板的多个图像数据；提取部，用于从多个图像数据之间的差分图像提取基板的外缘部；以及判定部，用于基于差分图像中的基板的外缘部，判定基板的保持状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116666260A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310044723.0
申请日：2023-01-30
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种即使在处理槽内贮存有处理液也能够以更高精度监视处理槽的内部的技术。基板处理装置(100)使多个基板(W)浸渍在处理液内来一并处理多个基板(W)。基板处理装置(100)具备处理槽(10)以及摄像头(30)。处理槽(10)贮存处理液。摄像头(30)与处理槽(10)相比设在铅垂上方，拍摄处理槽(10)的内部生成多个拍摄图像数据。控制部(90)基于多个拍摄图像数据的累计生成使在处理液的液面产生的摇晃的亮度分布平滑化的平滑图像数据，基于该平滑图像数据监视处理槽(10)的内部。
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公开(公告)号：CN116642902A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202211677587.0
申请日：2022-12-26
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 提供一种用户能够容易识别异常种类的基板检测装置、基板处理装置及基板检测方法。基板检测装置(102)具备照明部(60)、摄像头(50)、报知部(70)和控制部(103)。照明部(60)向包含插入于多个保持槽中的多个基板(W)在内的拍摄区域照射照明光，多个保持槽包含于基板保持部并沿着规定的排列方向排列。摄像头(50)对拍摄区域进行拍摄而生成拍摄图像数据。控制部(103)进行检测处理，即基于拍摄图像数据检测多个基板(W)中的某一个基板(W)斜着插入的斜插异常、以及在多个保持槽中的某一个保持槽中插入了两个以上基板(W)的多插异常中的至少某一方，并使报知部(70)报知所检测出的异常。
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公开(公告)号：CN115668461A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180040992.9
申请日：2021-05-28
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304
Abstract: 在第一吐出工序中，对设于供给管的阀输出开信号，从喷嘴(30)的前端向基板(W)的主面吐出处理液。在移动工序中，在对阀输出闭信号的时间点以后，使喷嘴(30)移动。在拍摄工序中，至少在对阀输出闭信号的时间点以后使摄像机依次拍摄，取得多个图像数据。在设定工序中，检测多个图像数据的每一个中的喷嘴(30)的位置，追踪喷嘴(30)的位置变化，在比喷嘴(30)的前端靠下侧设定判定区域(R11)。在漏液监视步骤中，基于多个图像数据的每一个中的判定区域(R11)内的像素，监视从喷嘴(30)的前端落下的处理液的有无。
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公开(公告)号：CN115655096A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202210786506.4
申请日：2022-07-04
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明涉及状态检测装置以及状态检测方法，在抑制检测精度的降低的同时检测卡盘销的开闭状态。状态检测装置具有：至少1个卡盘销，其用于保持基板；拍摄部，其拍摄卡盘销，将获得的至少1个图像作为对象图像；匹配坐标计算部，其利用对象图像和表示卡盘销的至少1个图像即基准图像进行匹配处理，计算匹配坐标，所述匹配坐标是表示图像间的匹配分数最高的情况下的基准图像在对象图像中的位置的坐标；检测部，其根据匹配坐标，检测卡盘销的开闭状态。
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公开(公告)号：CN112509940A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202010840506.9
申请日：2020-08-19
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种不需要基准图像也能够判定基板是否被正常地保持的基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具有：保持部，用于保持基板；拍摄部，用于在包括被保持的基板的外缘部的拍摄范围内对基板的多个部位进行拍摄，并且输出基板的多个图像数据；提取部，用于从多个图像数据之间的差分图像提取基板的外缘部；以及判定部，用于基于差分图像中的基板的外缘部，判定基板的保持状态。
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