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公开(公告)号：CN112490167B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202010805951.1
申请日：2020-08-12
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种提高对移动的喷嘴的位置检测精度的基板处理装置。基板处理装置具有用于拍摄喷嘴并输出喷嘴的图像数据的拍摄部，用于根据图像数据检测喷嘴的位置的位置检测部。位置检测部在停止区域中，通过使用基准图像数据对图像数据进行匹配处理，从而检测喷嘴的位置，在移动区域中，将在停止区域检测到的喷嘴的位置作为基准，通过在连续的图像数据之间进行循轨处理来检测喷嘴的位置。
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公开(公告)号：CN115769344A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202180043923.3
申请日：2021-06-04
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304 , H01L21/027 , H01L21/306 , B05C11/00 , B05C11/10
Abstract: 一种用于基板处理监视的设定信息的设定方法，具备：设置制程工序(S12)，对使基板处理装置内的第一监视对象物移动的移动机构进行控制，使所述第一监视对象物移动至第一停止位置；设置拍摄工序，与设置制程工序(S12)并行地执行，并由照相机对第一监视对象物进行拍摄；以及设定工序(S16)，基于在设置拍摄工序中由照相机取得并包含停止于第一停止位置的第一监视对象物的第一图像数据和表示第一监视对象物的至少一部分的第一参照图像数据，检测第一图像数据内的第一监视对象物的位置，并将该位置设定为与所述第一停止位置相关的适当位置。
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公开(公告)号：CN112639391B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN201980056745.0
申请日：2019-07-24
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: G01B11/00 , H01L21/304
Abstract: 差异运算部(92)计算基准图像(80)中的各卡盘销(26)的位置与对象图像(82)中的各卡盘销(26)的位置之间的差异。判定区域设定部(932)在对象图像(82)中设定用于检测喷嘴(30)的位置的判定区域(DR)。此时，判定区域设定部(932)根据作为标识部的各卡盘销(26)之间的位置差异，对基准图像(80)中设定的基准判定区域(SDR)的位置进行修正，从而在对象图像(82)中设定判定区域(DR)。
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公开(公告)号：CN112640054A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201980054879.9
申请日：2019-07-04
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304 , B05D1/36 , B05D1/40 , B05D3/00 , H01L21/027 , H01L21/306
Abstract: 基板处理方法具有第一工序至第六工序。保持基板(第一工序)。开始利用相机进行拍摄，从而生成拍摄图像(第二工序)。开始从第一喷嘴向基板喷出处理液(第三工序)。停止从第一喷嘴喷出处理液，开始从第二喷嘴喷出处理液(第四工序)。基于针对拍摄图像的图像处理，求出从第二喷嘴喷出处理液的开始时刻与从第一喷嘴喷出处理液的停止时刻之间的时间差(第五工序)。在判定为时间差在规定范围外时，以使时间差处于规定范围内的方式调整开始时刻及停止时刻中的至少任一者(第六工序)。
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公开(公告)号：CN112601617A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201980055179.1
申请日：2019-08-21
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: B05D3/00 , B05D1/40 , H01L21/027 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种可生成与吐出喷嘴的吐出状态相应的教师数据的教师数据生成方法。生成教师数据的方法，包括：保持步骤、处理液吐出步骤、摄像步骤及教师数据生成步骤。在保持步骤中，将基板大致水平地保持于基板保持机构。在处理液吐出步骤中，自吐出喷嘴向基板的主表面吐出处理液。在摄像步骤中，利用相机在包含处理液吐出步骤的至少一部分期间内，对以包含吐出喷嘴、及处理液吐出步骤中所吐出的处理液的至少一部分的方式被调整的摄像区域进行摄像，取得多个图像数据。在教师数据生成步骤中，针对多个图像数据中的至少一个，将与该图像数据中所映现的处理液吐出状态相应的标签赋予至该图像数据，生成教师数据。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119108315A
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202411293554.5
申请日：2019-07-04
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 基板处理方法具有第一工序至第六工序。保持基板(第一工序)。开始利用相机进行拍摄，从而生成拍摄图像(第二工序)。开始从第一喷嘴向基板喷出处理液(第三工序)。停止从第一喷嘴喷出处理液，开始从第二喷嘴喷出处理液(第四工序)。基于针对拍摄图像的图像处理，求出从第二喷嘴喷出处理液的开始时刻与从第一喷嘴喷出处理液的停止时刻之间的时间差(第五工序)。在判定为时间差在规定范围外时，以使时间差处于规定范围内的方式调整开始时刻及停止时刻中的至少任一者(第六工序)。
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公开(公告)号：CN115668461A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180040992.9
申请日：2021-05-28
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304
Abstract: 在第一吐出工序中，对设于供给管的阀输出开信号，从喷嘴(30)的前端向基板(W)的主面吐出处理液。在移动工序中，在对阀输出闭信号的时间点以后，使喷嘴(30)移动。在拍摄工序中，至少在对阀输出闭信号的时间点以后使摄像机依次拍摄，取得多个图像数据。在设定工序中，检测多个图像数据的每一个中的喷嘴(30)的位置，追踪喷嘴(30)的位置变化，在比喷嘴(30)的前端靠下侧设定判定区域(R11)。在漏液监视步骤中，基于多个图像数据的每一个中的判定区域(R11)内的像素，监视从喷嘴(30)的前端落下的处理液的有无。
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公开(公告)号：CN115655096A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202210786506.4
申请日：2022-07-04
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明涉及状态检测装置以及状态检测方法，在抑制检测精度的降低的同时检测卡盘销的开闭状态。状态检测装置具有：至少1个卡盘销，其用于保持基板；拍摄部，其拍摄卡盘销，将获得的至少1个图像作为对象图像；匹配坐标计算部，其利用对象图像和表示卡盘销的至少1个图像即基准图像进行匹配处理，计算匹配坐标，所述匹配坐标是表示图像间的匹配分数最高的情况下的基准图像在对象图像中的位置的坐标；检测部，其根据匹配坐标，检测卡盘销的开闭状态。
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公开(公告)号：CN112789709A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201980065636.5
申请日：2019-09-25
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304 , B05C11/08 , H01L21/027
Abstract: 提供一种能够监视喷出到基板的端部的液柱状的处理液的着落位置的基板处理方法。基板处理方法具有保持工序、旋转工序、上升工序、斜面处理工序、拍摄工序以及监视工序。在保持工序中，使基板保持部保持基板。在旋转工序中，使基板保持部旋转来使基板旋转。在上升工序中，使包围基板保持部的外周的杯构件上升，使杯构件的上端位于比基板的上表面高的上端位置。在斜面处理工序中，从位于比该上端位置低的位置的喷嘴的喷出口向基板的上表面的端部喷出处理液。在拍摄工序中，使相机对从基板的上方的拍摄位置观察的拍摄区域进行拍摄，获得拍摄图像，在该拍摄区域中包括从喷嘴喷出的处理液以及映现在基板的上表面的喷出液的镜像。在监视工序中，基于拍摄图像中的处理液与该镜像，监视处理液的着落位置。
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公开(公告)号：CN112509940A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202010840506.9
申请日：2020-08-19
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种不需要基准图像也能够判定基板是否被正常地保持的基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具有：保持部，用于保持基板；拍摄部，用于在包括被保持的基板的外缘部的拍摄范围内对基板的多个部位进行拍摄，并且输出基板的多个图像数据；提取部，用于从多个图像数据之间的差分图像提取基板的外缘部；以及判定部，用于基于差分图像中的基板的外缘部，判定基板的保持状态。
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