公开(公告)号：JP2017027829A

公开(公告)日：2017-02-02

申请号：JP2015146549

申请日：2015-07-24

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 圓山 百代 ,  福田 宗行 ,  数見 秀之 ,  浜田 宏一 ,  谷本 明佳

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/265 ,  H01J37/226 ,  H01J2237/049 ,  H01J2237/103 ,  H01J2237/2801

Abstract: 【課題】焦点深度の向上および分解能の維持・向上の両立が可能な荷電粒子線装置を提供する。 【解決手段】荷電粒子源101と、変形照明絞り103と、レンズ106と、演算部112と、記憶部111とを備え、荷電粒子源101から発生した荷電粒子線102を変形照明絞り103を介して試料108に照射し発生する信号を検出して画像を取得する荷電粒子線装置において、演算部112は荷電粒子線102のビームプロファイルを推定するビーム演算処理部120と、推定されたビームプロファイルを用いて画像を鮮鋭化する鮮鋭化処理部121とを備える。 【選択図】図1

Abstract translation: 甲同时实现改善焦深的和分辨率的维护和提供带电粒子射线装置尽可能的改进。 和带电粒子源101，经修饰的照明光阑103，透镜106，计算单元112，存储单元111，通过改性照明光阑103从带电粒子源101产生的带电粒子束102 在获取由照射样品108碲，算术单元112和波束处理单元120用于估计带电粒子束102，所估计的光束轮廓的光束轮廓所产生的信号的图像所检测到的带电粒子线装置 使用和锐化处理单元121，以使图像聚焦。 1点域