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公开(公告)号：CN105340051B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201480036932.X
申请日：2014-07-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0475 , H01J2237/103 , H01J2237/1534 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448
Abstract: 本发明的扫描电子显微镜具备：在电子束配置于上述电子源与上述物镜之间且具有相对于上述电子束的光轴而轴对称的形状的感受面的第一检测器(8)以及第二检测器(7)。上述第一检测器设置在比上述第二检测器靠试样侧，专门对通过减速电场型能量过滤器(9A)后的高能量的信号电子进行检测。若将上述物镜的试样侧的前端部(13)与上述第一检测器的感受面之间的距离设为L1，并将上述物镜的上述试样侧的前端部与上述第二检测器的感受面之间的距离设为L2，则L1/L2≤5/9。由此，扫描式电子显微镜中，当应用减速法而进行低加速观察时，能够在几百倍程度的低倍率至十万倍以上的高倍率的大倍率范围内无阴影的影响地检测信号电子。并且，能够高效率地检测与二次电子相比产生量少的(5)通过物镜时使上述电子束减速的减速机构；(56)对比文件US 2003127604 A1,2003.07.10,US 2005279937 A1,2005.12.22,
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公开(公告)号：CN101896980B
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN200880116751.2
申请日：2008-09-26
Applicant: 离子束应用股份有限公司
CPC classification number: H01J37/10 , A61L2/087 , A61L2202/122 , A61N5/1043 , A61N2005/1087 , G21K1/08 , G21K5/04 , G21K5/10 , H01J37/147 , H01J37/1474 , H01J37/3002 , H01J37/3005 , H01J37/304 , H01J37/3045 , H01J37/317 , H01J2237/103 , H01J2237/12 , H01J2237/14 , H01J2237/2602 , H01J2237/30 , H01J2237/31701 , H05G2/00
Abstract: 本发明涉及一种用于传输带电粒子束的设备(10)。该设备包括：用于在靶(3)上扫描带电粒子束的装置(12)、被布置在用于扫描的装置上游的偶极磁体(15)、布置在偶极磁体与用于扫描的装置之间的至少三个四极透镜(17)和用于根据带电粒子束的扫描角来调整所述至少三个四极透镜的场强度的装置。可以使所述设备至少单消色差。
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公开(公告)号：CN101652498A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200780052204.8
申请日：2007-04-24
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
Inventor： 中河原均
CPC classification number: H01J37/08 , C23C14/081 , C23C14/28 , H01J37/04 , H01J37/1472 , H01J37/3053 , H01J37/3178 , H01J2237/061 , H01J2237/083 , H01J2237/103 , H01J2237/152 , H01J2237/3132 , H01J2237/3146
Abstract: 通过使由会聚线圈从等离子枪提取的等离子束(25)通过下面的磁场，使得束的横断面扁平化：该磁场在与等离子束的行进方向正交的方向上延伸，并且通过由相互平行地成对相对配置的永磁体构成的磁体(27)形成。提供一种使用具有0.7≤Wi/Wt的等离子束的等离子设备，其中，相对于扁平化后的束28的宽度Wt，束强度的半值为Wi。包括至少一个在束的中心处的排斥磁场的强度更强的磁体。
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公开(公告)号：CN101652498B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200780052204.8
申请日：2007-04-24
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
Inventor： 中河原均
CPC classification number: H01J37/08 , C23C14/081 , C23C14/28 , H01J37/04 , H01J37/1472 , H01J37/3053 , H01J37/3178 , H01J2237/061 , H01J2237/083 , H01J2237/103 , H01J2237/152 , H01J2237/3132 , H01J2237/3146
Abstract: 通过使由会聚线圈从等离子枪提取的等离子束(25)通过下面的磁场，使得束的横断面扁平化：该磁场在与等离子束的行进方向正交的方向上延伸，并且通过由相互平行地成对相对配置的永磁体构成的磁体(27)形成。提供一种使用具有0.7≤Wi/Wt的等离子束的等离子生成设备，其中，相对于扁平化后的束28的宽度Wt，束强度的半值为Wi。包括至少一个在束的中心处的排斥磁场的强度更强的磁体。
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公开(公告)号：CN102067268A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980123998.1
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/05 , H01J2237/0492 , H01J2237/103 , H01J2237/1405 , H01J2237/1501 , H01J2237/1523 , H01J2237/153 , H01J2237/21 , H01J2237/24528 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明公开了一种用于在离子注入工件(228)期间磁性过滤离子束(210)的系统(200)及方法，其中从离子源(212)发射离子且加速离子使其远离离子源以形成离子束。离子束由质谱仪(214)进行质量分析，其中离子是选定的。一旦离子束进行质量分析，离子束接着通过减速器(242)被减速，且在减速的下游进一步磁性过滤离子束。磁性过滤由四极磁性能量过滤器(250)提供，其中形成磁场，用于截取离开减速器的离子束中的离子，以选择性地过滤不想要的离子和快速中性粒子(264)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101896980A
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN200880116751.2
申请日：2008-09-26
Applicant: 离子束应用股份有限公司
CPC classification number: H01J37/10 , A61L2/087 , A61L2202/122 , A61N5/1043 , A61N2005/1087 , G21K1/08 , G21K5/04 , G21K5/10 , H01J37/147 , H01J37/1474 , H01J37/3002 , H01J37/3005 , H01J37/304 , H01J37/3045 , H01J37/317 , H01J2237/103 , H01J2237/12 , H01J2237/14 , H01J2237/2602 , H01J2237/30 , H01J2237/31701 , H05G2/00
Abstract: 本发明涉及一种用于传输带电粒子束的设备(10)。该设备包括：用于在靶(3)上扫描带电粒子束的装置(12)、被布置在用于扫描的装置上游的偶极磁体(15)、布置在偶极磁体与用于扫描的装置之间的至少三个四极透镜(17)和用于根据带电粒子束的扫描角来调整所述至少三个四极透镜的场强度的装置。可以使所述设备至少单消色差。
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公开(公告)号：CN105659353A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201480058375.1
申请日：2014-10-31
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/10 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/263 , H01J2237/045 , H01J2237/103 , H01J2237/221 , H01J2237/248 , H01J2237/2602
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，提高限制视场光阑的位置调整作业中的作业性。在电子显微镜中，具备：摄影单元，其拍摄限制视场光阑插入前的观察视场作为映射图像；存储单元，其存储所述映射图像；提取单元，其拍摄所述光阑插入后的观察视场来提取所述光阑的轮廓线；绘制单元，其在所述映射图像上绘制所述轮廓线；以及显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。
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公开(公告)号：CN102067268B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN200980123998.1
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/05 , H01J2237/0492 , H01J2237/103 , H01J2237/1405 , H01J2237/1501 , H01J2237/1523 , H01J2237/153 , H01J2237/21 , H01J2237/24528 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明公开了一种用于在离子注入工件(228)期间磁性过滤离子束(210)的系统(200)及方法，其中从离子源(212)发射离子且加速离子使其远离离子源以形成离子束。离子束由质谱仪(214)进行质量分析，其中离子是选定的。一旦离子束进行质量分析，离子束接着通过减速器(242)被减速，且在减速的下游进一步磁性过滤离子束。磁性过滤由四极磁性能量过滤器(250)提供，其中形成磁场，用于截取离开减速器的离子束中的离子，以选择性地过滤不想要的离子和快速中性粒子(264)。
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公开(公告)号：CN101560643A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200910134888.7
申请日：2009-04-15
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
CPC classification number: C23C14/28 , C03C17/002 , C23C14/081 , H01J37/08 , H01J37/32009 , H01J37/3233 , H01J37/3266 , H01J2237/061 , H01J2237/083 , H01J2237/103 , H01J2237/15 , H01J2237/3146
Abstract: 本发明涉及一种等离子体产生设备、沉积设备和沉积方法，其从等离子体枪(20)发射等离子体束(25)并且之后通过布置成将等离子体束(25)夹在中间的一对相对的第一磁体(27、29)而使发射的等离子体束(25)变形。该等离子体产生设备包括布置在等离子体枪(20)和第一磁体(27、29)之间的至少一个第二磁体(11)，第二磁体包括等离子体束(25)通过的孔(12)以及从孔沿着与等离子体束(25)垂直的方向向外延伸的磁体部分，并且形成具有从孔(12)到达外部或者从外部到达孔(12)的磁力线的磁场。至少一个第二磁体(11)使发射的等离子体束集中。
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公开(公告)号：CN105659353B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201480058375.1
申请日：2014-10-31
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/10 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/263 , H01J2237/045 , H01J2237/103 , H01J2237/221 , H01J2237/248 , H01J2237/2602
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，提高限制视场光阑的位置调整作业中的作业性。在电子显微镜中，具备：摄影单元，其拍摄限制视场光阑插入前的观察视场作为映射图像；存储单元，其存储所述映射图像；提取单元，其拍摄所述光阑插入后的观察视场来提取所述光阑的轮廓线；绘制单元，其在所述映射图像上绘制所述轮廓线；以及显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。
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