公开(公告)号：JP5427344B2

公开(公告)日：2014-02-26

申请号：JP2007136872

申请日：2007-05-23

Applicant: 株式会社渡辺商行 ,  昌之 都田

Inventor： 昌之 都田 ,  昌樹 楠原 ,  優 梅田 ,  満 深川

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/448

CPC classification number: C23C16/407 ,  C23C16/4486

Abstract: Because an evaporating apparatus for use in an MOCVD film deposition system has a structure in which a plurality of gas passages brings in a gas from the upper direction, the apparatus has a difficulty to position a jet nozzle, and the apparatus is incapable of accurately controlling the pressure and flow rate of a carrier gas mixed with a raw material solution to be issued into an evaporating unit, and it is thus difficult to highly accurately control the composition of MOCVD films. A plurality of gas passages is arranged on a flat, disk-shaped plate. With this configuration, the accurate positioning of the jet nozzle can be made easier, and the composition of MOCVD films can be controlled highly accurately.

Abstract translation: 由于用于MOCVD膜沉积系统的蒸发装置具有多个气体通道从上方引入气体的结构，所以该装置难以定位喷嘴，并且该装置不能精确地控制 与要发放到蒸发单元中的原料溶液混合的载气的压力和流速，因此难以高精度地控制MOCVD膜的组成。 多个气体通道设置在平坦的盘形板上。 利用这种结构，可以使喷嘴的精确定位变得更容易，并且可以高精度地控制MOCVD膜的组成。

公开(公告)号：JP4504491B2

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：JP37520699

申请日：1999-12-28

Applicant: 株式会社Adeka ,  株式会社渡辺商行

Inventor： 桂子 三瓶 ,  啓史 上原 ,  忠洋 仲田 ,  修一 多田 ,  仁一 尾見 ,  邦夫 杉山 ,  博 森田 ,  昌樹 楠原 ,  弘行 渡部

IPC: C03B20/00 ,  C01B33/18

CPC classification number: C03B19/1065

公开(公告)号：JP4493742B2

公开(公告)日：2010-06-30

申请号：JP28911198

申请日：1998-10-12

Applicant: 株式会社渡辺商行

Inventor： 昌樹 楠原 ,  道雄 谷貝 ,  正之 辻村 ,  昌之 都田

IPC: B65G49/07 ,  B65G51/03 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

公开(公告)号：JP4406178B2

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：JP2001203688

申请日：2001-07-04

Applicant: 隆 杉野 ,  株式会社渡辺商行

Inventor： 隆 杉野 ,  優 梅田 ,  昌樹 楠原

IPC: C23C16/38 ,  H01L21/318 ,  C23C16/36 ,  C23C16/452 ,  C23C16/509 ,  H01L21/31 ,  H01L21/314 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522

CPC classification number: H01L21/318 ,  C23C16/36 ,  C23C16/452 ,  C23C16/509

公开(公告)号：JP4312475B2

公开(公告)日：2009-08-12

申请号：JP2003059240

申请日：2003-03-05

Applicant: 株式会社渡辺商行

Inventor： 昌樹 楠原 ,  貴裕 畠中 ,  政司 稲光

IPC: B25J15/08 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

公开(公告)号：JP4312437B2

公开(公告)日：2009-08-12

申请号：JP2002264691

申请日：2002-09-10

Applicant: 隆 杉野 ,  株式会社渡辺商行

Inventor： 隆 杉野 ,  優 梅田 ,  昌樹 楠原

IPC: C23C16/38 ,  H01L21/314 ,  C23C16/56

公开(公告)号：JP4312331B2

公开(公告)日：2009-08-12

申请号：JP2000020872

申请日：2000-01-28

Applicant: 隆 杉野 ,  株式会社渡辺商行

Inventor： 隆 杉野 ,  優 梅田 ,  昌樹 楠原

IPC: H01J1/304 ,  H01J1/30

公开(公告)号：JP3987465B2

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：JP2003189112

申请日：2003-06-30

Applicant: 株式会社渡辺商行 ,  昌之 都田

Inventor： 内澤　　修 ,  幹夫 土井 ,  康平 山本 ,  優 梅田 ,  昌樹 楠原 ,  満 深川 ,  俊勝 目黒 ,  洋一 菅野 ,  昌之 都田

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/31

公开(公告)号：JP3529062B2

公开(公告)日：2004-05-24

申请号：JP3990095

申请日：1995-02-28

Applicant: 株式会社渡辺商行

Inventor： 昌樹 楠原

IPC: G03F1/54 ,  H01L21/027 ,  G03F1/08

公开(公告)号：JP5542103B2

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：JP2011173287

申请日：2011-08-08

Applicant: 株式会社渡辺商行 ,  昌之 都田

Inventor： 昌之 都田 ,  昌樹 楠原 ,  幹夫 土井 ,  優 梅田 ,  満 深川 ,  洋一 菅野 ,  内澤　　修 ,  康平 山本 ,  俊勝 目黒

IPC: H01L21/31 ,  C23C16/448