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公开(公告)号：CN101501239A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780030031.X
申请日：2007-09-28
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/042 , B05C1/0834 , B41F31/002 , B41F31/15 , C23C14/562
Abstract: 抑制油墨凝结效率的降低及相对印刷辊的油墨转印精度的下降，并且实现油墨凝结辊的结构简单化及组装作业性能提高。本发明的卷绕式真空成膜装置的掩模形成单元(20)具有将形成掩模图案(25)的油墨保持在外周的油墨凝结辊(31)、在薄膜(12)的成膜面上将油墨作为掩模图案(25)进行转印的印刷辊(33)、及配置在油墨凝结辊(31)和印刷辊(33)之间并从油墨凝结辊(31)向印刷辊(33)转印油墨的转印辊(32)，并且具备冷却油墨凝结辊(31)的冷却机构、及使转印辊相对于油墨凝结辊(31)、印刷辊(33)在轴方向上周期性摆动的摆动机构。
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公开(公告)号：CN101501237A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780030016.5
申请日：2007-11-16
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/562
Abstract: 高效保持清洁单元对罐辊的清洁机能，进行高质量的成膜处理。本发明中，在向基膜(12)进行成膜前，使清洁单元(30)与冷却用罐辊(14)接触，一边使罐辊(14)在非冷却状态下转动一边进行清洁，可以防止清洁单元(30)的过冷却，阻止已除去的灰尘的脱离，能够高效进行清洁单元(30)对罐辊(14)的除尘处理。另外，在完成清洁后，解除清洁单元(30)与罐辊(14)的接触状态，可防止成膜时的罐辊(14)的冷却操作对清洁单元(30)进行冷却，从罐辊(14)的周面除去的灰尘不会脱离而被保持着。
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公开(公告)号：CN101484830A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200780024816.6
申请日：2007-06-07
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C28/00 , G02B5/0808
Abstract: 本发明提供实现简化工序和缩短作业时间的反射镜的制造装置及其制造方法。构成成膜装置(1)，把反射膜成膜用的金属蒸发源(22)、着色膜成膜用的色素蒸发源(23)、保护膜成膜用的等离子聚合源(电极)(24)配置在一个真空处理室(5)内。另外，通过在共同的真空处理室(5)内进行反射膜的形成工序、着色膜的形成工序和保护膜的形成工序，在实现简化工序的同时缩短作业时间。
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公开(公告)号：CN101563739B
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN200780047391.0
申请日：2007-12-19
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01F41/026 , H01F1/0577 , H01F7/02 , H01F41/0293
Abstract: 本发明提供一种永磁铁的制造方法，在Dy或Tb附着到烧结磁铁（S）表面之前，不必进行清洁该烧结磁铁表面的工序，即可使Dy或Tb扩散到其晶界相中，以提高永磁铁的生产效率。其方法为：将铁-硼-稀土类系的烧结磁铁（S）配置到处理室（20）内并加热到规定温度的同时，使配置在相同或其他处理室内的至少含Dy及Tb中的一种的氢化物构成的蒸发材料（V）蒸发，使该蒸发的蒸发材料附着到烧结磁铁表面，使该附着蒸发材料的Dy、Tb金属原子扩散到烧结磁铁的晶界相中。
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公开(公告)号：CN101517669B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200780034225.7
申请日：2007-09-10
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01F7/0221 , C23C14/18 , C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/5806 , H01F1/0577 , H01F41/0293
Abstract: 本发明提供一种具有更高磁特性的永磁铁，以规定形状在铁-硼-稀土系烧结磁铁表面形成Dy、Tb膜，并使其向晶界相扩散。一种永磁铁的制造方法，包括：成膜工序，使至少含有Dy及Tb中的一种金属蒸发材料蒸发，使该蒸发的金属原子附着到该烧结磁铁表面；扩散工序，通过实施热处理，使附着在表面上的前述金属原子扩散到烧结磁铁的晶界相中；前述金属蒸发材料至少含Nd、Pr中的一种。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101512036B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN200780033699.X
申请日：2007-09-10
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/24 , H01F41/0293
Abstract: 本发明提供一种真空蒸气处理装置，其适于实施在处理室内形成金属蒸气气氛、该金属蒸气气氛中的金属附着到被处理物的表面，并且使附着到被处理物表面的金属原子扩散到其晶界内的处理。其具有处理炉11，设置在该处理炉内的至少一个处理箱，以及设置在处理炉内围绕该处理箱周围的加热手段2。当在处理箱内配置了被处理物S与金属蒸发材料V的状态下将其收容到处理炉中后，设置将处理炉和处理箱减压到规定压力并保持的真空排气手段，在减压状态下使加热手段动作，将被处理物加热到规定温度的过程中，一边升温一边使金属蒸发材料蒸发，并将该蒸发的金属原子提供到被处理物表面。
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公开(公告)号：CN101501242B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200780029292.X
申请日：2007-07-26
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/042 , B05C1/0821 , B05C1/083 , B05C1/0834 , C23C14/562 , H01G13/00 , H01G13/006
Abstract: 提供一种能够容易且迅速进行印刷辊与支承辊之间按压力调整的卷绕式真空成膜装置。本发明中，通过包含有印刷辊(33)及转印辊(32)的掩模形成单元(20)相对于真空室(11)的相对移动而进行印刷辊(33)与支承辊(21)之间的按压力调整，所以不需要个别调整印刷辊(33)及转印辊(32)，实现单元单位的按压力调整，从而可以实现结构的简单化和作业的简易化、高精度化，并缩短作业时间。
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公开(公告)号：CN101563737A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200780047143.6
申请日：2007-12-19
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01F1/0577 , H01F41/0293
Abstract: 能够以高生产效率及低成本制造出永磁铁，其使Dy、Tb附着到规定形状的铁—硼—稀土类系的烧结磁铁表面，并扩散到其晶界相中后形成。在处理室内配置铁—硼—稀土类系的烧结磁铁，加热到规定温度的同时，使配置在同一或另一处理室内的至少含有Dy及Tb中的一种的氟化物构成的蒸发材料V蒸发，使该蒸发的蒸发材料附着到烧结磁铁表面，使该附着的蒸发材料的Dy、Tb的金属原子在烧结磁铁表面上形成由蒸发材料构成的薄膜之前扩散到烧结磁铁的晶界相中。
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公开(公告)号：CN101517669A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200780034225.7
申请日：2007-09-10
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01F7/0221 , C23C14/18 , C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/5806 , H01F1/0577 , H01F41/0293
Abstract: 本发明提供一种具有更高磁特性的永磁铁，以规定形状在铁－硼－稀土系烧结磁铁表面形成Dy、Tb膜，并使其向晶界相扩散。一种永磁铁的制造方法，包括：成膜工序，使至少含有Dy及Tb中的一种金属蒸发材料蒸发，使该蒸发的金属原子附着到该烧结磁铁表面；扩散工序，通过实施热处理，使附着在表面上的前述金属原子扩散到烧结磁铁的晶界相中；前述金属蒸发材料至少含Nd、Pr中的一种。
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公开(公告)号：CN101512036A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200780033699.X
申请日：2007-09-10
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/24 , H01F41/0293
Abstract: 本发明提供一种真空蒸气处理装置，其适于实施在处理室内形成金属蒸气气氛、该金属蒸气气氛中的金属附着到被处理物的表面，并且使附着到被处理物表面的金属原子扩散到其晶界内的处理。其具有处理炉11，设置在该处理炉内的至少一个处理箱，以及设置在处理炉内围绕该处理箱周围的加热手段2。当在处理箱内配置了被处理物S与金属蒸发材料V的状态下将其收容到处理炉中后，设置将处理炉和处理箱减压到规定压力并保持的真空排气手段，在减压状态下使加热手段动作，将被处理物加热到规定温度的过程中，一边升温一边使金属蒸发材料蒸发，并将该蒸发的金属原子提供到被处理物表面。
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