卷绕式真空成膜装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101501239B

    公开(公告)日:2012-03-07

    申请号:CN200780030031.X

    申请日:2007-09-28

    Abstract: 抑制油墨凝结效率的降低及相对印刷辊的油墨转印精度的下降,并且实现油墨凝结辊的结构简单化及组装作业性能提高。本发明的卷绕式真空成膜装置的掩模形成单元(20)具有将形成掩模图案(25)的油墨保持在外周的油墨凝结辊(31)、在薄膜(12)的成膜面上将油墨作为掩模图案(25)进行转印的印刷辊(33)、及配置在油墨凝结辊(31)和印刷辊(33)之间并从油墨凝结辊(31)向印刷辊(33)转印油墨的转印辊(32),并且具备冷却油墨凝结辊(31)的冷却机构、及使转印辊相对于油墨凝结辊(31)、印刷辊(33)在轴方向上周期性摆动的摆动机构。

    薄膜传送装置和卷绕式真空成膜方法

    公开(公告)号:CN101680083B

    公开(公告)日:2012-01-25

    申请号:CN200880015976.9

    申请日:2008-04-18

    CPC classification number: C23C14/562 B65H27/00 B65H2701/1315

    Abstract: 本发明提供一种薄膜传送装置和卷绕式真空成膜方法,其不仅实现了保护基膜的成膜区域的目的,还实现了可使基膜能够平稳地传送的目的。本发明中的卷绕式真空成膜装置(10)包括引导单元(20),引导单元(20)包括导向辊(17A)和辅助辊(18),导向辊(17A)具有用来支承基膜(F)的两个侧缘部的一对环形导向部(17b),辅助辊(18)与导向辊(17A)以互相面对的方式设置,由辅助辊(18)将基膜(F)的两个侧缘部压向一对导向部(17b),由此可以避免基膜(F)的成膜区域(Fc)接触到引导单元(20)的导向辊(17A)和辅助辊(18)的各个辊表面,因而可以实现保护成膜区域(Fc)的目的。

    卷绕式真空成膜方法及卷绕式真空成膜装置

    公开(公告)号:CN101501237B

    公开(公告)日:2011-04-13

    申请号:CN200780030016.5

    申请日:2007-11-16

    CPC classification number: C23C14/564 C23C14/562

    Abstract: 高效保持清洁单元对罐辊的清洁机能,进行高质量的成膜处理。本发明中,在向基膜(12)进行成膜前,使清洁单元(30)与冷却用罐辊(14)接触,一边使罐辊(14)在非冷却状态下转动一边进行清洁,可以防止清洁单元(30)的过冷却,阻止已除去的灰尘的脱离,能够高效进行清洁单元(30)对罐辊(14)的除尘处理。另外,在完成清洁后,解除清洁单元(30)与罐辊(14)的接触状态,可防止成膜时的罐辊(14)的冷却操作对清洁单元(30)进行冷却,从罐辊(14)的周面除去的灰尘不会脱离而被保持着。

    卷绕式真空成膜装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101946022B

    公开(公告)日:2012-10-24

    申请号:CN200880126755.9

    申请日:2008-04-14

    CPC classification number: C23C14/562 C23C14/541

    Abstract: 本发明提供一种卷绕式真空成膜装置,其技术既不需增大装置,还可防止因从去除电荷机构中泄漏出来的带电粒子而引起的基材的热变形。本发明中的卷绕式真空成膜(蒸镀)装置(10)包括电荷捕捉部件(25),其设置在冷却用筒式辊(14)和去除电荷机构(23)之间,用以捕捉从去除电荷机构(23)朝向筒式辊(14)移动的带电粒子。有了上述电荷捕捉部件就可阻止从去除电荷机构(23)中泄漏出来的带电粒子到达筒式辊(14),从而遏制供给筒式辊(14)的用来使之贴紧基材的偏压电势产生变动,可靠地保持了对基材(12)的静电引力。因此,该卷绕式真空成膜装置能可靠地保持基材(12)和筒式辊(14)之间的贴合力,从而可防止基材(12)产生热变形。

    卷取式真空成膜装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100562602C

    公开(公告)日:2009-11-25

    申请号:CN200680000343.1

    申请日:2006-02-14

    CPC classification number: C23C14/042 C23C14/54 C23C14/562

    Abstract: 本发明提供一种卷取式真空成膜装置,该卷取式真空成膜装置能够抑制绝缘性的原料薄膜的热变形,以高速成膜金属膜,谋求提高生产性,进而,能够提高薄膜的除电效果。其中,具有电子束照射器(21)、辅助辊(18)、直流偏压电源(22)、除电单元(23),该电子束照射器(21)被配置在卷放辊(13)和蒸发源(16)之间,向原料薄膜(12)照射荷电粒子;该辅助辊(18)被配置在冷却用筒式辊(14)和卷取辊(15)之间,并与原料薄膜(12)的成膜面接触,对该原料薄膜(12)的行进进行引导;该直流偏压电源(22)对筒式辊(14)和辅助辊(18)之间施加直流电压;该除电单元(23)配置在筒式辊(14)和卷取辊(15)之间,对原料薄膜(12)进行除电,该除电单元(23)由一方的电极接地的直流二极放电型等离子发生源构成。

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