-
公开(公告)号：CN101501242B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200780029292.X
申请日：2007-07-26
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/042 , B05C1/0821 , B05C1/083 , B05C1/0834 , C23C14/562 , H01G13/00 , H01G13/006
Abstract: 提供一种能够容易且迅速进行印刷辊与支承辊之间按压力调整的卷绕式真空成膜装置。本发明中，通过包含有印刷辊(33)及转印辊(32)的掩模形成单元(20)相对于真空室(11)的相对移动而进行印刷辊(33)与支承辊(21)之间的按压力调整，所以不需要个别调整印刷辊(33)及转印辊(32)，实现单元单位的按压力调整，从而可以实现结构的简单化和作业的简易化、高精度化，并缩短作业时间。
-
公开(公告)号：CN101484608A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200780023547.1
申请日：2007-06-07
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/562 , C23C14/02 , C23C14/5826
Abstract: 本发明提供一种能够在不降低生产效率的情况下抑制薄膜上产生受热影响区域的卷绕式真空蒸镀装置。本发明涉及的卷绕式真空蒸镀装置(10)包括放卷辊(13)、卷绕从放卷辊(13)放出的薄膜(12)的卷绕辊(15)、配置在放卷辊(13)和卷绕辊(15)之间紧贴薄膜(12)以便对该薄膜进行冷却的冷却辊(14)、与冷却辊(14)相向配置将蒸镀材料蒸镀于薄膜(12)上的蒸发源(16)以及配置在放卷辊(13)和蒸发源(16)之间向行走的薄膜(12)照射电子束的电子束照射器(21)；电子束照射器(21)具有通过通电加热放出电子的丝极(31)和向该丝极(31)供应直流电流的直流发生机构。
-
公开(公告)号：CN104040023A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201380005648.1
申请日：2013-01-15
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 杨一新 , 三桥善之 , 饭岛正行 , 若松贞次 , 斋藤和彦 , 藤井智晴 , 吉元刚 , 细矢东豪 , 广野贵启 , 林信博 , 角谷宣昭 , 砂川直纪 , 多田勋 , 平野裕之
CPC classification number: C23C16/52 , B05D1/34 , B05D1/62 , C23C14/12 , C23C14/562 , C23C16/4405
Abstract: 提供对薄层状的成膜对象物体持续成膜，并且能够在使成膜空间与清洗气体气氛分离的状态下清洗放出装置的成膜装置。具有：清洗室(20a～20d)，其构成为若打开闸门(22a～22d)则连接于成膜空间(16)，若关闭闸门(22a～22d)则与成膜空间(16)分离，并且对内部空间放出清洗气体；移动单元(28a～28d)，其使放出装置(13a～13d)在清洗室(20a～20d)内的清洗位置与和清洗位置相比距圆筒部件(12)近的成膜位置之间移动；以及控制装置(18)，其使放出装置(13a～13d)移动至成膜位置时放出原料气体，在使其移动至清洗位置时关闭闸门(22a～22d)并使清洗室(20a～20d)内充满清洗气体。
-
公开(公告)号：CN104040023B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201380005648.1
申请日：2013-01-15
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 杨一新 , 三桥善之 , 饭岛正行 , 若松贞次 , 斋藤和彦 , 藤井智晴 , 吉元刚 , 细矢东豪 , 广野贵启 , 林信博 , 角谷宣昭 , 砂川直纪 , 多田勋 , 平野裕之
CPC classification number: C23C16/52 , B05D1/34 , B05D1/62 , C23C14/12 , C23C14/562 , C23C16/4405
Abstract: 提供对薄层状的成膜对象物体持续成膜，并且能够在使成膜空间与清洗气体气氛分离的状态下清洗放出装置的成膜装置。具有：清洗室(20a～20d)，其构成为若打开闸门(22a～22d)则连接于成膜空间(16)，若关闭闸门(22a～22d)则与成膜空间(16)分离，并且对内部空间放出清洗气体；移动单元(28a～28d)，其使放出装置(13a～13d)在清洗室(20a～20d)内的清洗位置与和清洗位置相比距圆筒部件(12)近的成膜位置之间移动；以及控制装置(18)，其使放出装置(13a～13d)移动至成膜位置时放出原料气体，在使其移动至清洗位置时关闭闸门(22a～22d)并使清洗室(20a～20d)内充满清洗气体。
-
公开(公告)号：CN103180484A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201180050821.0
申请日：2011-10-14
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/56
CPC classification number: C23C14/3407 , C23C14/3464 , C23C14/562 , H01J37/32458 , H01J37/32743 , H01J37/32752 , H01J37/32761 , H01J37/32788 , H01J2237/3325
Abstract: 提供一种真空成膜装置，为便于运输等而将真空处理室和真空辅助室分开设置，易于在安装现场组装且可维护性好。相连设置有真空处理室（1）、向真空处理室传送片状基材的上游侧的真空辅助室（2）以及卷取回收片状基材的下游侧的真空辅助室（3），所述真空处理室（1）具有卷有长的片状基材（S）的一部分的滚筒（15）、配置在该滚筒的下方且从上游侧传送来片状基材的多个辊（16c）、以及处理单元（4）。上述真空处理室及真空辅助室构成为在设置于地面的架台上载置基板，将下面开口的箱体从其下面侧设置在该基板上。多个辊一体构成为辊单元，设置为在真空处理室内可在滚筒的下方空间内自由取放。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101501239B
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：CN200780030031.X
申请日：2007-09-28
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/042 , B05C1/0834 , B41F31/002 , B41F31/15 , C23C14/562
Abstract: 抑制油墨凝结效率的降低及相对印刷辊的油墨转印精度的下降，并且实现油墨凝结辊的结构简单化及组装作业性能提高。本发明的卷绕式真空成膜装置的掩模形成单元(20)具有将形成掩模图案(25)的油墨保持在外周的油墨凝结辊(31)、在薄膜(12)的成膜面上将油墨作为掩模图案(25)进行转印的印刷辊(33)、及配置在油墨凝结辊(31)和印刷辊(33)之间并从油墨凝结辊(31)向印刷辊(33)转印油墨的转印辊(32)，并且具备冷却油墨凝结辊(31)的冷却机构、及使转印辊相对于油墨凝结辊(31)、印刷辊(33)在轴方向上周期性摆动的摆动机构。
-
公开(公告)号：CN101501242A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780029292.X
申请日：2007-07-26
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/042 , B05C1/0821 , B05C1/083 , B05C1/0834 , C23C14/562 , H01G13/00 , H01G13/006
Abstract: 提供一种能够容易且迅速进行印刷辊与支承辊之间按压力调整的卷绕式真空成膜装置。本发明中，通过包含有印刷辊(33)及转印辊(32)的掩模形成单元(20)相对于真空室(11)的相对移动而进行印刷辊(33)与支承辊(21)之间的按压力调整，所以不需要个别调整印刷辊(33)及转印辊(32)，实现单元单位的按压力调整，从而可以实现结构的简单化和作业的简易化、高精度化，并缩短作业时间。
-
公开(公告)号：CN101910453B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN200880122797.5
申请日：2008-12-12
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34 , C23C16/44 , C23C16/50 , H01L21/285
CPC classification number: C23C14/56 , C23C16/4412 , C23C16/54
Abstract: 本发明的目的在于提供一种成膜装置及成膜方法，以实现缩短在冷凝负荷较大时的排气系统的排气时间，从而提高生产性。为达到上述目的，本发明的对多个基材同时进行成膜处理的成膜装置包括：支承单元(50)，其具有支承部(55)，该支承部(55)对多个基材(2)进行支承，使其位于旋转轴的周围且可自由旋转；真空腔(10)，其具有处理室(14)，该处理室收装上述支承单元，且该支承单元可在该处理室中自由旋转；成膜源(57、60)，其配置在上述真空腔(10)的内部；低温排气部(21)，其具有低温冷凝源，该低温冷凝源配置在上述真空腔(10)的上表面且与上部支承部件(52)相对；以及辅泵(22)。
-
公开(公告)号：CN101484608B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200780023547.1
申请日：2007-06-07
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/562 , C23C14/02 , C23C14/5826
Abstract: 本发明提供一种能够在不降低生产效率的情况下抑制薄膜上产生受热影响区域的卷绕式真空蒸镀装置。本发明涉及的卷绕式真空蒸镀装置(10)包括放卷辊(13)、卷绕从放卷辊(13)放出的薄膜(12)的卷绕辊(15)、配置在放卷辊(13)和卷绕辊(15)之间紧贴薄膜(12)以便对该薄膜进行冷却的冷却辊(14)、与冷却辊(14)相向配置将蒸镀材料蒸镀于薄膜(12)上的蒸发源(16)以及配置在放卷辊(13)和蒸发源(16)之间向行走的薄膜(12)照射电子束的电子束照射器(21)；电子束照射器(21)具有通过通电加热放出电子的丝极(31)和向该丝极(31)供应直流电流的直流发生机构。
-
公开(公告)号：CN1969057A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200680000343.1
申请日：2006-02-14
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/56
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/54 , C23C14/562
Abstract: 本发明提供一种卷取式真空成膜装置，该卷取式真空成膜装置能够抑制绝缘性的原料薄膜的热变形，以高速成膜金属膜，谋求提高生产性，进而，能够提高薄膜的除电效果。其中，具有电子束照射器(21)、辅助辊(18)、直流偏压电源(22)、除电单元(23)，该电子束照射器(21)被配置在卷放辊(13)和蒸发源(16)之间，向原料薄膜(12)照射荷电粒子；该辅助辊(18)被配置在冷却用筒式辊(14)和卷取辊(15)之间，并与原料薄膜(12)的成膜面接触，对该原料薄膜(12)的行进进行引导；该直流偏压电源(22)对筒式辊(14)和辅助辊(18)之间施加直流电压；该除电单元(23)配置在筒式辊(14)和卷取辊(15)之间，对原料薄膜(12)进行除电，该除电单元(23)由一方的电极接地的直流二极放电型等离子发生源构成。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
19
records
(took 0.03 seconds)
