公开(公告)号：CN110223934B

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN201910129817.1

申请日：2019-02-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 野野部宏司 ,  三谷隆 ,  小泉龙也 ,  大石邦夫

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明公开了调度器、衬底处理装置及衬底输送方法。其技术问题在于，减少用于衬底输送调度的计算量及计算时间。为此，提供一种调度器，其内置于衬底处理装置的控制部内，并计算衬底输送调度，衬底处理装置具备进行衬底的处理的多个衬底处理部、输送上述衬底的输送部、以及控制上述输送部和上述衬底处理部的上述控制部。该调度器具有：建模部，其使用图网络理论将衬底处理装置的处理条件、处理时间及制约条件建模为节点及边，创建图网络，计算到节点的最长路径长；和计算部，其基于最长路径长计算衬底输送调度。

公开(公告)号：CN108695211A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810301919.2

申请日：2018-04-04

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 藤方淳平 ,  荒木裕二 ,  佐藤天星 ,  小泉龙也

IPC: H01L21/67 ,  C23C14/04

CPC classification number: H01L21/67276 ,  C25D3/12 ,  C25D17/001 ,  C25D17/02 ,  C25D17/10 ,  C25D21/06 ,  C25D21/10 ,  C25D21/12 ,  G05B19/058 ,  G05B23/0283 ,  G05B2219/2602 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67086 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/67242 ,  C23C14/04 ,  H01L21/67253

Abstract: 本发明提供半导体制造装置、故障预知方法、存储介质及管理系统，能够提高半导体制造装置的故障预知精度。半导体制造装置具备：第一装置；一个或多个传感器，检测表示第一装置的状态的物理量；第一算出电路，根据所检测出的物理量算出第一装置的一个或多个特征量；以及故障预知电路，将由第一算出电路算出的一个或多个特征量与直至第一装置发生故障为止的一个或多个特征量的经时变化的多个模型数据进行比较，决定多个模型数据中的与所算出的一个或多个特征量的差为最小的模型数据，根据在该模型数据中与所算出的一个或多个特征量的差成为最小的时刻与故障时刻的差算出故障预测时间，在故障预测时间小于规定的阈值的情况下，停止新的基板的接收。

公开(公告)号：CN108693844B

公开(公告)日：2020-09-18

申请号：CN201810291332.8

申请日：2018-03-30

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 藤木雅之 ,  青山英治 ,  小泉龙也

IPC: G05B19/418

Abstract: 在半导体制造装置中，提供能够简单理解怎样达到了某种状况、例如故障的动画。提供一种计算机程序，在一个以上计算机执行控制与半导体制造装置相关的显示的方法，包含如下步骤：反复获取半导体制造装置所包含的一个以上的设备的状态；每获取一次一个以上的设备的状态时，至少将表示状态的图像显示在显示器上，由此提供表示半导体制造装置的动作的第一动画；将所获取的一个以上的设备的状态和与状态相关的时刻存储于存储器；接收切换显示模式的输入；在收到切换显示模式的输入后，至少将分别表示存储于存储器的、与包含基准时刻的一个以上的时刻相关的一个以上的设备的状态的一个以上的图像逐一显示在显示器上，由此提供半导体制造装置的第二动画。

公开(公告)号：CN110223934A

公开(公告)日：2019-09-10

申请号：CN201910129817.1

申请日：2019-02-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 野野部宏司 ,  三谷隆 ,  小泉龙也 ,  大石邦夫

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明公开了调度器、衬底处理装置及衬底输送方法。其技术问题在于，减少用于衬底输送调度的计算量及计算时间。为此，提供一种调度器，其内置于衬底处理装置的控制部内，并计算衬底输送调度，衬底处理装置具备进行衬底的处理的多个衬底处理部、输送上述衬底的输送部、以及控制上述输送部和上述衬底处理部的上述控制部。该调度器具有：建模部，其使用图网络理论将衬底处理装置的处理条件、处理时间及制约条件建模为节点及边，创建图网络，计算到节点的最长路径长；和计算部，其基于最长路径长计算衬底输送调度。

公开(公告)号：CN108570704A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810204615.4

申请日：2018-03-13

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小泉龙也 ,  下山正 ,  长井瑞树

IPC: C25D19/00 ,  C25D21/12 ,  C23C18/16

CPC classification number: C25D21/14 ,  C25D3/38 ,  C25D17/001 ,  C25D17/02 ,  C25D17/06 ,  C25D21/12 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6723 ,  C25D17/00 ,  C23C18/1632 ,  C23C18/1675

Abstract: 本发明提供镀覆方法、记录介质、镀覆装置以及镀覆系统。镀覆方法能够在基板的镀覆中在运输机、镀覆槽等发生故障的情况下拯救基板。在镀覆方法中，由运输机(40)将多个基板分别输送至多个镀覆槽(25)，使多个基板浸渍于多个镀覆槽(25)内的镀覆液，对多个基板进行镀覆，对在运输机(40)或后处理槽发生故障进行检测，由保存液置换多个镀覆槽(25)内的镀覆液，使多个基板浸渍于保存液中。

公开(公告)号：CN108335997A

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201810040900.7

申请日：2018-01-16

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 野野部宏司 ,  三谷隆 ,  小泉龙也 ,  大石邦夫

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: G05B19/4155 ,  G05B19/41865 ,  G05B2219/32252 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/6723 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/26 ,  Y02P90/28 ,  H01L21/67739

Abstract: 一种调度器，内装于具备进行基板的处理的多个基板处理部、对所述基板进行搬运的搬运部、对所述搬运部与所述基板处理部进行控制的控制部的基板处理装置的所述控制部，并计算基板搬运行程表，该调度器具有：模型化部，该模型化部使用网络图理论而将基板处理装置的处理条件、处理时间以及制约条件模型化为点以及边，生成网络图并进行到各点的最长路径长度的计算；以及计算部，该计算部基于最长路径长度而计算所述基板搬运行程表。该调度器能够削减用于基板搬运行程表的计算量以及计算时间。