公开(公告)号：CN100545998C

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200480037939.X

申请日：2004-12-22

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 关本雅彦 ,  胜冈诚司 ,  大直树 ,  渡边辉行 ,  小川贵弘 ,  铃木宪一 ,  小林贤一 ,  本岛靖之 ,  加藤亮

IPC: H01L21/00

Abstract: 一种基板夹持装置，其能够符合小尺寸紧凑装置的要求，同时还确保基板在处理液中足够的浸入深度。该基板夹持装置包括：基板夹持器(84)，用于通过把基板(W)表面的边缘部分与第一密封组件(92)相接触来支撑基板(W)；及基板按压部分(85)，其相对于基板夹持器(84)降低，以便向下按压通过基板夹持器(84)所夹持的基板(W)，从而使得第一密封组件(92)与基板(W)压力接触；其中基板按压部分(85)装备有第二环形密封组件(170)，第二环形密封组件与基板夹持器(84)的环形夹持部分的上表面压力接触，从而密封基板按压部分(85)的周边区域。

公开(公告)号：CN1946486A

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200580013155.8

申请日：2005-04-27

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 胜冈诚司 ,  关本雅彦 ,  渡边辉行 ,  加藤亮 ,  横山俊夫 ,  铃木宪一 ,  小林贤一

IPC: B05C9/06 ,  B05B15/12 ,  B05C3/09 ,  B05C11/10 ,  B05C15/00 ,  C23C18/31 ,  C25D17/06 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明涉及基板处理单元，通过用一个基板处理单元进行使用不同处理液的处理，能够实现基板处理整个工艺的空间的削减及基板搬运所需的能量的削减。该基板处理单元具有：上下移动自如的基板保持部(72)，保持基板(W)；外槽(70)，包围该基板保持部(72)的周围；内槽(74)，位于基板保持部(72)的下方，配置在外槽(70)的内部，内部具有药液处理部(84)；喷射处理用盖(76)，自如地闭塞内槽(74)的上端开口部，具有分别喷雾至少2种以上的处理液的多个喷射嘴(116、118)；外槽(70)及内槽(74)具有分别的排液线路(78、92)。