公开(公告)号：CN101034069A

公开(公告)日：2007-09-12

申请号：CN200710086201.8

申请日：2007-03-09

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 冈部浩史 ,  金谷义宏 ,  松本俊彦

IPC: G01N21/95 ,  G01B11/30 ,  G06T1/00

CPC classification number: G01N21/8806

Abstract: 本发明提供一种能够提高对检查区域的端部的缺陷检查的精度的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。光源(1A、1B)以使彼此的照射区域(检查区域)的端部重叠的方式分别发出照射光(LA1、LB1)。拍摄装置(2)接收镜面反射光(LA2、LB2)而生成分别与光源(1A、1B)对应的两个图像。主控制部件(3)合成两个图像并判定有无缺陷。照射光(LA1、LB1)从相互不同的方向发射到被检查面(A)，从而使各图像中表示缺陷的区域的位置稍微错位。因此，在各图像中，即使表示缺陷的区域的面积小，但通过重叠两个图像，也能够使在合成后的图像中表示缺陷部的区域的面积变大。由此能够提高对检查区域的端部的缺陷检测的精度。

公开(公告)号：CN1841030A

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：CN200610068280.5

申请日：2006-03-27

Applicant: 欧姆龙株式会社 ,  国立大学法人北海道大学

Inventor： 冈部浩史 ,  的场贤一 ,  冈和彦

IPC: G01J3/447

CPC classification number: G01J4/04 ,  G01J3/447

Abstract: 本发明提供一种分光偏振测定法。在该沟槽分光偏振测定法中，有效消除了表示试样分光偏振特性的参数的测量误差，该误差是由于延迟器基于试样状态的各种延迟变化而引起的。关注的焦点是通过稳定透射过延迟器的光的入射方向可保持延迟器的延迟恒定；相对于该试样，该延迟器设置在光源这一侧，从而可有效消除与测量误差相关的影响，例如由于试样引起的光线方向变化。