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公开(公告)号：CN1844901A
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200610074167.8
申请日：2006-04-07
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种缺陷检查方法以及利用该方法的缺陷检查装置，根据该方法以及装置，通过一次拍摄就能够检测出成形体表面的凹凸缺陷以及色彩缺陷。对于检查对象的工件表面，同时驱动同轴反射照明用的照明部(2A)和斜入射照明用的照明部(2B)，并在该照明下用照相机(1)进行拍摄。在照明部(2A、2B)中分别设置有发出R、G、B各色彩光的光源(21R、21G、21B)，并且，在照明部(2A)仅点亮这些三种光源中的一种，而在照明部(2B)点亮在照明部(2A)没有点亮的一种或两种光源。
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公开(公告)号：CN101034070B
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200710086202.2
申请日：2007-03-09
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G01N21/9515 , G01N21/8851
Abstract: 本发明提供一种即使在被检查面包含相互曲率不同的部位时、也能够对整个被检查面基于镜面反射光像而执行的检查的表面状态的检查方法以及表面状态检查装置。在本发明中，固定配置照相机1、可出射沿照相机1的光轴的照明光的照明装置2，并将检查对象的工件W安装在六轴机械臂(3)的前端臂部(35)而实施检查。在检查之前的准备模式中，为了将工件W的被检查面分割成多个拍摄对象区域而进行拍摄而决定工件W的位置和姿势，进而对所生成的图像决定检查对象区域。这时，以包含在被检查面中的任何部位一定会出现在一个或者两个以上图像的检查对象区域内、且任何图像的检查对象区域也会包含在镜面反射光像区域内的方式进行设定。
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公开(公告)号：CN101034070A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200710086202.2
申请日：2007-03-09
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G01N21/9515 , G01N21/8851
Abstract: 本发明提供一种即使在被检查面包含相互曲率不同的部位时、也能够对整个被检查面基于镜面反射光像而执行的检查的表面状态的检查方法以及表面状态检查装置。在本发明中，固定配置照相机1、可出射沿照相机1的光轴的照明光的照明装置2，并将检查对象的工件W安装在六轴机械臂(3)的前端臂部(35)而实施检查。在检查之前的准备模式中，为了将工件W的被检查面分割成多个拍摄对象区域而进行拍摄而决定工件W的位置和姿势，进而对所生成的图像决定检查对象区域。这时，以包含在被检查面中的任何部位一定会出现在一个或者两个以上图像的检查对象区域内、且任何图像的检查对象区域也会包含在镜面反射光像区域内的方式进行设定。
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公开(公告)号：CN101034069A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200710086201.8
申请日：2007-03-09
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G01N21/8806
Abstract: 本发明提供一种能够提高对检查区域的端部的缺陷检查的精度的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。光源(1A、1B)以使彼此的照射区域(检查区域)的端部重叠的方式分别发出照射光(LA1、LB1)。拍摄装置(2)接收镜面反射光(LA2、LB2)而生成分别与光源(1A、1B)对应的两个图像。主控制部件(3)合成两个图像并判定有无缺陷。照射光(LA1、LB1)从相互不同的方向发射到被检查面(A)，从而使各图像中表示缺陷的区域的位置稍微错位。因此，在各图像中，即使表示缺陷的区域的面积小，但通过重叠两个图像，也能够使在合成后的图像中表示缺陷部的区域的面积变大。由此能够提高对检查区域的端部的缺陷检测的精度。
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