位移测量装置、测量系统及位移测量方法

    公开(公告)号:CN109557545B

    公开(公告)日:2023-07-07

    申请号:CN201810151188.8

    申请日:2018-02-13

    Abstract: 本发明获得一种能够精度良好地测量到测量对象面的距离的位移测量装置、测量系统及位移测量方法。本发明的位移测量装置包括:投光部,产生光;传感器头,对测量对象物照射光,且接收所照射的光中在测量对象物的测量对象面反射的光;以及控制部,基于传感器头所接收的光,算出表示与测量对象面之间的距离的值。控制部是以所算出的值包含在预先设定的数值范围内为条件,将所算出的值作为表示到测量对象面的距离的值进行处理,且基于所算出的值,重新设定数值范围。

    测量系统、控制装置及测量方法

    公开(公告)号:CN108627118B

    公开(公告)日:2020-06-23

    申请号:CN201711370635.0

    申请日:2017-12-18

    Abstract: 本发明提供一种测量系统、控制装置及测量方法,能够高精度地生成表示测量对象的形状的信息。驱动装置将表示测量对象的位置的信息、与来自计时器的时刻信息相关联,并作为第1信息而输出,所述来自计时器的时刻信息表示获取表示所述位置的信息的时机。测量装置将通过对测量对象进行测量而获取的测量信息、与表示获取所述测量信息的时机的来自计时器的时刻信息相关联,并作为第2信息而输出。测量系统包括信息生成部件,所述信息生成部件基于一个或多个第1信息,算出与第2信息中所含的时刻信息相关联的位置,并且基于与共用的时刻信息相关联的、所算出的位置与测量信息的组合,生成表示测量对象的形状的信息。

    表面状态的检查方法以及表面状态检查装置

    公开(公告)号:CN101034070A

    公开(公告)日:2007-09-12

    申请号:CN200710086202.2

    申请日:2007-03-09

    CPC classification number: G01N21/9515 G01N21/8851

    Abstract: 本发明提供一种即使在被检查面包含相互曲率不同的部位时、也能够对整个被检查面基于镜面反射光像而执行的检查的表面状态的检查方法以及表面状态检查装置。在本发明中,固定配置照相机1、可出射沿照相机1的光轴的照明光的照明装置2,并将检查对象的工件W安装在六轴机械臂(3)的前端臂部(35)而实施检查。在检查之前的准备模式中,为了将工件W的被检查面分割成多个拍摄对象区域而进行拍摄而决定工件W的位置和姿势,进而对所生成的图像决定检查对象区域。这时,以包含在被检查面中的任何部位一定会出现在一个或者两个以上图像的检查对象区域内、且任何图像的检查对象区域也会包含在镜面反射光像区域内的方式进行设定。

    缺陷检查装置缺陷检查方法

    公开(公告)号:CN101034069A

    公开(公告)日:2007-09-12

    申请号:CN200710086201.8

    申请日:2007-03-09

    CPC classification number: G01N21/8806

    Abstract: 本发明提供一种能够提高对检查区域的端部的缺陷检查的精度的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。光源(1A、1B)以使彼此的照射区域(检查区域)的端部重叠的方式分别发出照射光(LA1、LB1)。拍摄装置(2)接收镜面反射光(LA2、LB2)而生成分别与光源(1A、1B)对应的两个图像。主控制部件(3)合成两个图像并判定有无缺陷。照射光(LA1、LB1)从相互不同的方向发射到被检查面(A),从而使各图像中表示缺陷的区域的位置稍微错位。因此,在各图像中,即使表示缺陷的区域的面积小,但通过重叠两个图像,也能够使在合成后的图像中表示缺陷部的区域的面积变大。由此能够提高对检查区域的端部的缺陷检测的精度。

    位移传感器以及状态监视方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116888428A

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN202280016918.8

    申请日:2022-01-17

    Abstract: 本发明提供能够适当地判定异常类别的位移传感器以及状态监视方法。位移传感器(10)具有:投光部(110),其向检查区域投射光;受光部(120),其接收由检查区域反射后的光,并输出受光波形;存储部(140),其预先存储异常类别信息,所述异常类别信息是将受光波形所包含的多个特征信息与根据该多个特征信息预测的多个异常类别进行对应而得到的;特征信息提取部(131),其基于由受光部输出的受光波形,提取至少两种以上的特征信息;异常类别判定部(132),其基于提取的至少两种以上的特征信息,判定预先存储于存储部的异常类别信息的多个异常类别中的、至少一种以上的异常类别;以及输出部(133),其输出判定的异常类别。

    测量系统、控制装置及测量方法

    公开(公告)号:CN108627118A

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201711370635.0

    申请日:2017-12-18

    Abstract: 本发明提供一种测量系统、控制装置及测量方法,能够高精度地生成表示测量对象的形状的信息。驱动装置将表示测量对象的位置的信息、与来自计时器的时刻信息相关联,并作为第1信息而输出,所述来自计时器的时刻信息表示获取表示所述位置的信息的时机。测量装置将通过对测量对象进行测量而获取的测量信息、与表示获取所述测量信息的时机的来自计时器的时刻信息相关联,并作为第2信息而输出。测量系统包括信息生成部件,所述信息生成部件基于一个或多个第1信息,算出与第2信息中所含的时刻信息相关联的位置,并且基于与共用的时刻信息相关联的、所算出的位置与测量信息的组合,生成表示测量对象的形状的信息。

    表面状态的检查方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101034070B

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN200710086202.2

    申请日:2007-03-09

    CPC classification number: G01N21/9515 G01N21/8851

    Abstract: 本发明提供一种即使在被检查面包含相互曲率不同的部位时、也能够对整个被检查面基于镜面反射光像而执行的检查的表面状态的检查方法以及表面状态检查装置。在本发明中,固定配置照相机1、可出射沿照相机1的光轴的照明光的照明装置2,并将检查对象的工件W安装在六轴机械臂(3)的前端臂部(35)而实施检查。在检查之前的准备模式中,为了将工件W的被检查面分割成多个拍摄对象区域而进行拍摄而决定工件W的位置和姿势,进而对所生成的图像决定检查对象区域。这时,以包含在被检查面中的任何部位一定会出现在一个或者两个以上图像的检查对象区域内、且任何图像的检查对象区域也会包含在镜面反射光像区域内的方式进行设定。

    光学测量装置以及光学测量方法

    公开(公告)号:CN112654834A

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN201980058003.1

    申请日:2019-10-21

    Abstract: 本发明自受光量分布信号获得测定波形信号。光学测量装置100包括:光源10,向对象物TA发出光;受光部40,以多个像素各自可检测受光量的方式构成,且获得每个像素的受光量分布信号;获取部51,基于不存在对象物TA时的受光量分布信号,自利用对象物TA所反射的反射光的受光量分布信号获取测量波形信号MS;以及调整部53,在反射光的受光量分布信号的一部分受光量为规定值以上时,以获取测量波形信号MS的方式,调整对于反射光的受光量分布信号的感度参数。

    光学计测装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107588726B

    公开(公告)日:2019-12-03

    申请号:CN201710472648.2

    申请日:2017-06-20

    Abstract: 光学计测装置(3)具有:接口部(31),其构成为接收从主装置(1)以固定的通信周期发送到工业网络(2)的同步信号,并且与同步信号同步地输出光学计测装置(3)的测定结果(测定值)和同步监视信号;以及计测部(32),其构成为以相对于通信周期独立的测定周期执行光学测定而生成测定结果,并且生成同步监视信号。计测部(32)与开始测定后接口部(31)接收同步信号同步地,将同步监视信号设定为接通状态,在从接口部(31)输出测定结果的情况下,与接口部(31)接收同步信号同步地,将同步监视信号设定为断开状态。

    位移测量装置、测量系统及位移测量方法

    公开(公告)号:CN109557545A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201810151188.8

    申请日:2018-02-13

    Abstract: 本发明获得一种能够精度良好地测量到测量对象面的距离的位移测量装置、测量系统及位移测量方法。本发明的位移测量装置包括:投光部,产生光;传感器头,对测量对象物照射光,且接收所照射的光中在测量对象物的测量对象面反射的光;以及控制部,基于传感器头所接收的光,算出表示与测量对象面之间的距离的值。控制部是以所算出的值包含在预先设定的数值范围内为条件,将所算出的值作为表示到测量对象面的距离的值进行处理,且基于所算出的值,重新设定数值范围。

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