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公开(公告)号:CN116803688A
公开(公告)日:2023-09-26
申请号:CN202310268905.6
申请日:2023-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种考虑压电体层的特性和多通过记录中的通过数而实现良好的画质及长寿命的液滴喷出头以及液滴喷出装置。将n设为2以上的整数时,执行使一个主扫描线上的点的记录通过n次主扫描来完成的多通过记录的液滴喷出头具备:多个喷嘴,其将液体作为液滴喷出;压力室形成基板,其形成与喷嘴连通的压力室;压电元件,其具有第一电极、第二电极及以包含K、Na和Nb的钙钛矿型复合氧化物为主要成分的压电体层;振动板,其形成压力室的壁面的一部分且通过压电元件的驱动而进行振动。多通过记录中的通过数n、压电元件的压电常数d31[m/v]及压电体层内的Na的摩尔分数相对于K和Na的摩尔分数的总计值的比率x满足式(1)所示的关系。
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公开(公告)号:CN112721450B
公开(公告)日:2022-06-14
申请号:CN202011144790.2
申请日:2020-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , B41J2/01 , H01L41/09 , H01L41/047 , H01L41/18
Abstract: 本发明提供一种不使用镍酸镧作为取向控制层便能够控制包含钾、钠以及铌的压电体层的取向的压电元件、液体喷出头以及打印机。压电元件包括被设置在基体上的第一电极、被设置在所述第一电极上且包括包含钾、钠以及铌的钙钛矿结构的复合氧化物的压电体层、以及被设置在所述压电体层上的第二电极,所述第一电极是铂层,所述第一电极是(111)择优取向,所述第一电极的平均结晶粒径是200nm以上。
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公开(公告)号:CN106025059B
公开(公告)日:2020-03-31
申请号:CN201610173462.2
申请日:2016-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/083 , B41J2/14 , B41J2/16
Abstract: 本发明提供一种相对于施加电压的位移的线性度优异且位移特性优异的压电元件、压电元件应用器件以及压电元件的制造方法。一种压电元件,具备:第一电极(60),其形成在基板(10)上;压电体层(70),其形成在上述第一电极(60)上,并且包含由下述公式(1)表示的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物;以及第二电极(80),其形成在上述压电体层(70)上,在上述第一电极与上述压电体层之间具备种子层(65),该种子层包含含有K以及Nb的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物,上述压电体层由在(110)面优先取向的多晶构成,(KX,Na1﹣X)NbO3…(1)。
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公开(公告)号:CN109037431A
公开(公告)日:2018-12-18
申请号:CN201810463082.1
申请日:2018-05-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 北田和也
IPC: H01L41/083 , B41J2/14
CPC classification number: H01L41/0478 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/042 , H01L41/08 , H01L41/0815 , H01L41/1873 , H01L41/318 , H01L41/319 , H01L41/083 , B41J2/14201
Abstract: 本发明提供一种具有铌酸钾钠(KNN)系压电体层且具有优异的泄漏特性的压电元件以及压电元件应用器件。压电元件(300)具备:第一电极(60);第二电极(80);以及压电体层(70),其被设置于所述第一电极(60)和所述第二电极(80)之间,并由包含选自钾、钠、铋以及铌所形成的群组中的至少一方的钙钛矿型氧化物组成,并且压电元件(300)包含:第一钙钛矿层(171),其被设置于所述压电体层(70)和所述第一电极(60)侧之间,并且由与压电体层(70)的组成不同的钙钛矿型氧化物组成;以及第二钙钛矿层(172),其被设置于所述压电体层(70)和所述第二电极(80)侧之间,并且由与压电体层(70)的组成不同的钙钛矿型氧化物组成。
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公开(公告)号:CN108428785A
公开(公告)日:2018-08-21
申请号:CN201711268261.1
申请日:2017-12-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , C04B35/495 , C04B35/622 , C04B41/88
CPC classification number: H01L41/1873 , B41J2/14201 , H01L41/0805 , H01L41/09
Abstract: 本发明提供一种提高了压电特性的压电元件、以及压电元件应用装置。所述压电元件为,具备第一电极(60)、第二电极(80)、和被设置于所述第一电极(60)与所述第二电极(80)之间的、由包括钾、钠、铌的钙钛矿型的复合氧化物构成的薄膜的压电体层(70)的压电元件(300),所述压电体层(70)在由θ-2θ测量所得到的X射线衍射图案中,在2θ为45°~47°的范围内存在因(002)以及(200)而得到的峰值,所述峰值的高角度侧的峰值位置为46.0°≤2θ≤46.5°,且高角度侧的峰值与低角度侧的峰值的2θ之差大于0.60°。
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公开(公告)号:CN107112412A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201480084297.2
申请日:2014-12-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , C04B35/00 , H01L41/39
CPC classification number: H01L41/187 , C04B35/462 , C04B35/4682 , C04B35/475 , C04B35/495 , C04B35/62218 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3244 , C04B2235/3251 , C04B2235/3255 , C04B2235/3262 , C04B2235/3268 , C04B2235/3272 , C04B2235/3274 , C04B2235/3293 , C04B2235/3298 , C04B2235/44 , C04B2235/449 , C04B2235/76 , C04B2235/768 , H01L41/0474 , H01L41/39
Abstract: 一种压电材料,含有第1成分、第2成分和第3成分,其中,第1成分在单独组成时为菱方晶系,居里温度为Tc1且由具有钙钛矿型结构的非铅系的复合氧化物构成,第2成分在单独组成时为菱方晶系以外的晶体,居里温度Tc2比上述Tc1高且由具有钙钛矿型结构的非铅系的复合氧化物构成,第3成分在单独组成时为菱方晶系,居里温度Tc3为上述Tc2以上,由具有钙钛矿型结构且与上述第1成分不同的非铅系的复合氧化物构成,将上述第3成分相对于上述第1成分和上述第3成分的合计的摩尔比设为α,α×Tc3+(1-α)×Tc1=Tc4时,|Tc4-Tc2|为50℃以下。
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公开(公告)号:CN106206932A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201610191452.1
申请日:2016-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187
CPC classification number: H01L41/18 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , H01L41/047 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/317 , H01L41/318
Abstract: 本发明的目的在于使用铌酸钾钠系压电材料的压电元件和压电元件应用设备中,实现压电体层的晶体取向性的提高、实现各种特性的提高等。压电元件(300)具备:在基板上形成的第1电极(60);在上述第1电极(60)上形成的由含有钾(K)、钠(Na)、铌(Nb)和锰(Mn)的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物构成的压电体层(70);以及在上述压电体层上形成的第2电极(80),其中,上述锰包含2价锰(Mn2+)、3价锰(Mn3+)和4价锰(Mn4+),上述2价锰相对于上述3价锰和上述4价锰之和的摩尔比(Mn2+/Mn3++Mn4+)为0.31以上。
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公开(公告)号:CN102189798B
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:CN201110060933.6
申请日:2011-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14032 , H01L41/0973 , H01L41/1875
Abstract: 本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置和压电元件。本发明提供包含由铋系复合氧化物形成的压电体的耐电压良好的致动器以及液体喷射头。本发明的液体喷射头具备压电致动器,该压电致动器含有用薄膜法形成的压电体和对所述压电体施加电压的电极,其中,所述压电体含有钛酸锌酸铋镧和钛酸铅的固溶体,所述压电体中,所述钛酸锌酸铋镧对所述钛酸铅的摩尔比(钛酸锌酸铋镧/钛酸铅)为0.39以上且0.61以下。
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公开(公告)号:CN102189798A
公开(公告)日:2011-09-21
申请号:CN201110060933.6
申请日:2011-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14032 , H01L41/0973 , H01L41/1875
Abstract: 本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置和压电元件。本发明提供包含由铋系复合氧化物形成的压电体的耐电压良好的致动器以及液体喷射头。本发明的液体喷射头具备压电致动器,该压电致动器含有用薄膜法形成的压电体和对所述压电体施加电压的电极,其中,所述压电体含有钛酸锌酸铋镧和钛酸铅的固溶体,所述压电体中,所述钛酸锌酸铋镧对所述钛酸铅的摩尔比(钛酸锌酸铋镧/钛酸铅)为0.39以上且0.61以下。
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