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公开(公告)号:CN117835794A
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN202311269427.7
申请日:2023-09-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H10N30/853 , H10N30/093
Abstract: 本发明提供一种能够抑制漏电流的产生的压电基板、压电元件以及压电元件应用器件。本发明的压电基板的特征在于,具备:基体;电极,其被成膜于所述基体上;压电体层,其被成膜于电极上,并包括钾、钠和铌,通过傅里叶变换红外光谱法来测量压电体层的表面时的峰2的积分强度IR2除以峰1的积分强度IR1而得到的值IR2/IR1小于0.086,其中,峰1为475~700cm‑1波数处检测到的峰中的最强峰的面积强度,峰2为1200~1645cm‑1波数处检测到的峰的面积强度之和。
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公开(公告)号:CN116890533A
公开(公告)日:2023-10-17
申请号:CN202310318683.4
申请日:2023-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及液滴喷出头、打印机。提供即便在高频驱动时也能够抑制异常喷出的液滴喷出头。一种液滴喷出头,具备:喷嘴板,具有喷嘴;压力室形成基板,具有压力室;振动板;以及压电元件,包含钾、钠以及铌,并形成在振动板上。压电元件具有第一电极及第二电极和位于第一电极与第二电极之间的压电体层。压电体层、第一电极及第二电极的厚度的合计比振动板的厚度大。将绝对值25V的电压作为使振动板向压力室的容积膨胀的方向位移的电压施加到压电元件时的振动板的位移量的绝对值为将绝对值25V的电压作为使振动板向压力室的容积收缩的方向位移的电压施加到压电元件时的振动板的位移量的绝对值的2倍以上。
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公开(公告)号:CN116782744A
公开(公告)日:2023-09-19
申请号:CN202310237641.8
申请日:2023-03-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种对压电体层中的裂纹的产生进行抑制的压电元件。该压电元件(44)具备:紧贴层(445),其被形成在振动板(36)上,并包含钛;下部电极(441),其被形成在紧贴层(445)上;扩散抑制层(447),其被形成在下部电极(441)上,并包含铱;种子层(442),其被形成在扩散抑制层(447)上,并包含铋;压电体层(443),其被形成在种子层(442)上,并包含钾、钠、铌;上部电极(444),其被形成在压电体层(443)上。
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公开(公告)号:CN116568117A
公开(公告)日:2023-08-08
申请号:CN202310126009.6
申请日:2023-02-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种可以提升电气特性的压电元件、液滴喷出头、致动器以及振子。压电元件(44)具备:第一电极(441),其被形成在基板(36)上;种子层(442),其被形成在第一电极(441)上;压电体膜(443),其被形成在种子层(442)上,并含有钾、钠以及铌;第二电极(444),其被形成在压电体膜(443)上,压电体膜(443)含有锂以及一种以上的第一过渡元素,种子层(442)含有铋,当将压电体膜(443)在层叠方向上进行二等分,并将第二电极(444)侧设为第一区域(443f)且将第一电极(441)侧设为第二区域(443s)时,第一区域(443f)和第二区域(443s)的分界(s2)处的由二次离子质谱测量而得到的铋强度为,压电体膜(443)的由二次离子质谱测量而得到的最大铋强度的五百分之一以下。
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公开(公告)号:CN114523766A
公开(公告)日:2022-05-24
申请号:CN202111254397.3
申请日:2021-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 北田和也
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种抑制喷出性能或耐久性能的下降的液体喷出头以及致动器。本发明的液体喷出头具有:压力室基板,其具有在第一方向上排列的多个压力室;振动板,其被配置在与压力室基板相比靠与第一方向交叉的第二方向上;第一电极,其被配置在与振动板相比靠第二方向上;压电体层,其被配置在与第一电极相比靠第二方向上;第二电极,其被配置在与第一电极相比靠第二方向上,在所述液体喷出头中,压电体层具有在第一方向上不与第一电极重叠的第一区域、和在第一方向上与第一电极重叠的第二区域,在通过X射线衍射法来对压电体层进行了解析时,第一区域向第一面方位优先取向,第二区域向第一面方位优先取向。
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公开(公告)号:CN108656749A
公开(公告)日:2018-10-16
申请号:CN201810159615.7
申请日:2018-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/083 , H01L41/18
Abstract: 本发明提供一种具有由向(100)面结晶取向的KNN构成的压电体层的压电元件以及压电元件应用装置。压电元件具有:基板;第一电极,其被形成在基板上;压电体层,其被形成在第一电极上,且为包含钾、钠、以及铌的多个压电体膜层叠而成的层叠体;第二电极,其被形成在压电体层上,压电体层中的钠浓度在多个压电体膜中的第一压电体膜的第一电极的附近处具有作为钠浓度的极大值的Na极大值,且从Na极大值起越靠近第二电极则越向钠浓度减少的方向倾斜,并且在第一压电体膜与被形成在其正上方的第二压电体膜的边界的附近处具有作为钠浓度的极小值的Na极小值。
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公开(公告)号:CN107004758A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201480084053.4
申请日:2014-12-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , C04B35/00 , H01L41/39
CPC classification number: C04B35/468 , C04B35/00 , C04B35/453 , C04B35/475 , C04B2235/32 , C04B2235/3236 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/39
Abstract: 压电材料含有:第一成分,其在单独组成中为菱面体晶,居里温度为Tc1,且由具有钙钛矿型构造的非铅系的复合氧化物构成;第二成分,其在单独组成中为菱面晶以外的结晶,居里温度Tc2比上述Tc1低,且由具有钙钛矿型构造的非铅系的复合氧化物构成;以及第三成分,其在单独组成中为与上述第二成分相同的上述菱面体晶以外的结晶,居里温度Tc3为上述Tc1以上,具有钙钛矿型构造,且由与上述第二成分不同的非铅系的复合氧化物构成,在将上述第三成分相对于上述第二成分和上述第三成分的合计的摩尔比设为α,α×Tc3+(1‑α)×Tc2=Tc4的情况下,|Tc4‑Tc2|为50℃以下。
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公开(公告)号:CN104249561B
公开(公告)日:2016-04-20
申请号:CN201410119238.6
申请日:2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/183 , B41J2/055 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , C04B35/4682 , C04B35/495 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3236 , C04B2235/3244 , C04B2235/3249 , C04B2235/3255 , C04B2235/3262 , C04B2235/3274 , C04B2235/3293 , C04B2235/3298 , C04B2235/441 , C04B2235/768 , C04B2237/76 , C04B2237/765 , G01H11/08 , H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H02N2/001 , H02N2/186
Abstract: 提供压电材料以及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置,其减少环境负担,在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高,居里温度也高。含有:第1成分,由为菱面体晶且居里温度Tc1的钙钛矿型结构复合氧化物构成;第2成分,由为菱面体晶以外的晶体且居里温度Tc2的钙钛矿型结构复合氧化物构成;第3成分,由为菱面体晶但与上述第1成分不同且居里温度Tc3的钙钛矿型结构复合氧化物构成,Tc2比Tc1高,Tc3为Tc2以上,(0.1×Tc1+0.9×Tc2)的值为280℃以下。
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公开(公告)号:CN102205721B
公开(公告)日:2014-09-03
申请号:CN201110061759.7
申请日:2011-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045 , B41J2/135 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , C04B35/2633 , C04B35/2641 , C04B2235/3215 , C04B2235/3227 , C04B2235/3236 , C04B2235/3262 , C04B2235/3298 , C04B2235/441 , H01L41/0973 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供具有相对介电常数高且对环境负担小的压电材料的液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。液体喷射头具备:压力发生室,其与喷嘴开口连通;和压电元件,其具备压电体层和设置于所述压电体层的电极,所述压电体层是具有含有铁锰酸铋镧和钛酸钡的钙钛矿构造的复合氧化物,所述钛酸钡相对于所述铁锰酸铋镧和所述钛酸钡的总量的摩尔比为0.09~0.29。
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公开(公告)号:CN116803689A
公开(公告)日:2023-09-26
申请号:CN202310272694.3
申请日:2023-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种考虑压电体层的特性和液滴喷出头的使用条件而实现良好的画质以及长寿命的液滴喷出头以及液滴喷出装置。该液滴喷出头具备:喷嘴,其将液体作为液滴而喷出;压力室形成基板,其形成有与喷嘴连通的压力室;压电元件,其具有第一电极、第二电极以及以包括钾(K)、钠(Na)和铌的钙钛矿型复合氧化物为主要成分的压电体层;振动板,其形成压力室的壁面的一部分,并且通过压电元件的驱动而进行振动。压电元件的驱动频率f[Hz]、压电元件的压电常数d31[m/v]、压电体层中的钠的摩尔分数相对于钾的摩尔分数和钠的摩尔分数的总计值的比率x、以及液体的在25℃下的粘度μ[Pa·s]满足式(1)所示的关系。
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