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公开(公告)号：TWI608303B
公开(公告)日：2017-12-11
申请号：TW102148035
申请日：2013-12-24
Applicant: ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
Inventor： 克羅柏 佩多司 奧格斯提諾司 法蘭西斯克司 , KLOMP, PETRUS AUGUSTINUS FRANCISCUS , 莫頓斯 巴斯帝安 馬西亞斯 , MERTENS, BASTIAAN MATTHIAS , 諾登布 雅努 威稜 , NOTENBOOM, ARNOUD WILLEM
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70708 , H01L21/6831 , H01L21/6833 , H01L21/6875 , H02N13/00
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