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公开(公告)号：CN104237562A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410286313.8
申请日：2014-06-24
Applicant: 飞思卡尔半导体公司
Inventor： 林毅桢
Abstract: 一种角速率传感器包括衬底、柔性地耦合于所述衬底的驱动质量块以及悬浮于所述衬底上并通过柔性的支撑元件柔性地耦合于所述驱动质量块的感测质量块。电极结构机械地耦合于所述驱动质量块但是与所述驱动质量块电隔离并且与所述衬底间隔开，以便不接触所述衬底。所述电极结构被配置为：当传感器受到一角速率时，产生指示所述感测质量块相对于所述电极结构的移动的信号。当角速率传感器经历正交误差时，所述驱动质量块、所述感测质量块和所述电极结构相对于所述感测轴一起移动。由于所述感测质量块和所述电极结构响应于正交误差一起运动，所述感测质量块和所述电极结构之间有很小的相对运动，使得正交误差被大大消除。
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公开(公告)号：CN103852073A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201310624947.5
申请日：2013-11-28
Applicant: 飞思卡尔半导体公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5733 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/0136 , B81B2203/0163 , G01C19/5621 , G01C19/5656 , G01C19/5712 , G01C19/5747
Abstract: 一种用于微机电系统（MEMS）设备的弹簧。MEMS设备（20）包括衬底（28）和被配置为在基本平行于所述衬底的（28）的表面（50）的平面（24）中经受振荡运动的驱动质量块（30）。传感器（20）还包括驱动弹簧（56），其中每一个都包括了主横梁（70）和耦合于所述主横梁（70）的一端（74）的弯曲横梁（72）。所述弯曲横梁（72）被锚定到所述驱动质量块（30）或所述衬底（28）。所述弯曲横梁（72）展示小于所述主横梁（70）的宽度（88）的宽度（90）。响应于振荡驱动运动，所述弯曲横梁（72）弯曲使得所述主横梁（70）在所述平面（24）中围绕枢转点（96）旋转。因此，所述驱动质量块（30）的平面外运动被减少，从而抑制了正交误差。
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公开(公告)号：CN103674412A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310388997.8
申请日：2013-08-30
Applicant: 飞思卡尔半导体公司
Inventor： 安德鲁·C·麦克耐尔 , 林毅桢
IPC: G01L17/00
CPC classification number: G01L9/0072 , B60C23/0408 , G01L9/12
Abstract: 本发明公开了一种具有差分电容输出的压力传感器。提供了一种MEMS压力传感器装置(200,400,500,600)，其不仅可以提供关于外部压力的线性输出，而且提供差分电容输出以便改进信号振幅水平。这些优势通过使用旋转检测质量(250,420,520)被提供，其中该旋转检测质量从配置在旋转检测质量两端的电极生成电容输出(283,293)。可以然后通过使用从旋转检测质量末端生成的电容之间的差来生成传感器输出。这种配置的附加好处是，与传统MEMS压力传感器相比，差分电容输出相对于外部压力改变以更加线性的方式改变。
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公开(公告)号：CN103033177A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210369230.6
申请日：2012-09-27
Applicant: 飞思卡尔半导体公司
Inventor： 林毅桢
IPC: G01C19/5712
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 回转盘陀螺仪（20）包括驱动质量块（28）和感测质量块（32）。感测质量块（32）包括位于旋转轴（40）附近的切除区域（46，48）。位于切除区域（46，48）中的扭转弹簧（38）将感测质量块（32）连接到驱动质量块（28）。扭转弹簧（38）使得感测质量块（32）能够响应于陀螺仪（20）的角速度来围绕旋转轴（40）旋转。弹簧锚定结构（30）也位于切除区域（46，48）中，并且柔性地将驱动质量块（28）耦合到衬底（22）。另外，驱动系统（68）驻留在切除区域（46，48）中，并且致动驱动质量块（28）以便以振荡运动来移动。在双轴配置中，陀螺仪（20）进一步包括围绕盘形驱动质量块（28）的矩形第二感测质量块（36）。
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