带有正交误差补偿的角速率传感器

    公开(公告)号:CN104237562A

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201410286313.8

    申请日:2014-06-24

    Inventor: 林毅桢

    Abstract: 一种角速率传感器包括衬底、柔性地耦合于所述衬底的驱动质量块以及悬浮于所述衬底上并通过柔性的支撑元件柔性地耦合于所述驱动质量块的感测质量块。电极结构机械地耦合于所述驱动质量块但是与所述驱动质量块电隔离并且与所述衬底间隔开,以便不接触所述衬底。所述电极结构被配置为:当传感器受到一角速率时,产生指示所述感测质量块相对于所述电极结构的移动的信号。当角速率传感器经历正交误差时,所述驱动质量块、所述感测质量块和所述电极结构相对于所述感测轴一起移动。由于所述感测质量块和所述电极结构响应于正交误差一起运动,所述感测质量块和所述电极结构之间有很小的相对运动,使得正交误差被大大消除。

    具有差分电容输出的压力传感器

    公开(公告)号:CN103674412A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310388997.8

    申请日:2013-08-30

    CPC classification number: G01L9/0072 B60C23/0408 G01L9/12

    Abstract: 本发明公开了一种具有差分电容输出的压力传感器。提供了一种MEMS压力传感器装置(200,400,500,600),其不仅可以提供关于外部压力的线性输出,而且提供差分电容输出以便改进信号振幅水平。这些优势通过使用旋转检测质量(250,420,520)被提供,其中该旋转检测质量从配置在旋转检测质量两端的电极生成电容输出(283,293)。可以然后通过使用从旋转检测质量末端生成的电容之间的差来生成传感器输出。这种配置的附加好处是,与传统MEMS压力传感器相比,差分电容输出相对于外部压力改变以更加线性的方式改变。

    回转盘陀螺仪
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103033177A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201210369230.6

    申请日:2012-09-27

    Inventor: 林毅桢

    CPC classification number: G01C19/5712

    Abstract: 回转盘陀螺仪(20)包括驱动质量块(28)和感测质量块(32)。感测质量块(32)包括位于旋转轴(40)附近的切除区域(46,48)。位于切除区域(46,48)中的扭转弹簧(38)将感测质量块(32)连接到驱动质量块(28)。扭转弹簧(38)使得感测质量块(32)能够响应于陀螺仪(20)的角速度来围绕旋转轴(40)旋转。弹簧锚定结构(30)也位于切除区域(46,48)中,并且柔性地将驱动质量块(28)耦合到衬底(22)。另外,驱动系统(68)驻留在切除区域(46,48)中,并且致动驱动质量块(28)以便以振荡运动来移动。在双轴配置中,陀螺仪(20)进一步包括围绕盘形驱动质量块(28)的矩形第二感测质量块(36)。

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